公开(公告)号：CN106163745A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201480075325.4

申请日：2014-12-19

申请人： 格拉比特公司

发明人： 哈沙·普拉拉德 ,  埃里克·罗伯特·温格 ,  博比·尼尔·罗伊 ,  苏珊·吉姆 ,  帕特里克·A·伯尔内斯

IPC分类号： B25J15/06

CPC分类号： B25J15/0085 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00

摘要： 自动化制造通常需要可靠的工具来在制造过程中获取或移动物品。一种电粘附夹持器利用电粘附表面来从过程中的一个步骤到另一步骤获取和移动物品。电粘附表面可包括电极，所述电极配置用于在对电极施加电压时引起与附近物体的静电吸引。本文所描述的系统还采用耦合至电粘附夹持表面的承重框架。这些电粘附系统的组件在构造上可配置成模块化的，以便简化构造和维护。一些组件可以是一次性的，或者与其他组件相比需要更频繁的维修。模块化装配件和组件构造简化了维护，并且减少了总体操作成本。

公开(公告)号：CN105196094A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201510535576.2

申请日：2011-05-24

申请人： 恩特格林斯公司 ,  维瑞安半导体设备联合公司

发明人： 理查德·A·库克 ,  戴尔·K·史东 ,  卢德米拉·史东 ,  朱立安·布雷克 ,  大卫·苏罗纳

IPC分类号： B23Q3/152 ,  H01L21/683

CPC分类号： H02N13/00 ,  B05D5/12 ,  B23Q3/152 ,  C04B37/005 ,  C04B37/008 ,  C04B2237/06 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/083 ,  C04B2237/086 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/368 ,  C23F1/00 ,  H01L21/6833

摘要： 根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方1011欧姆之一表面电阻率。

公开(公告)号：CN104797979A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380059623.X

申请日：2013-12-05

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： P·克洛普 ,  B·梅尔藤斯 ,  A·诺特布姆

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

摘要： 一种静电夹具(12)包括电极(2)、位于电极上的阻性材料(6)的层、以及位于阻性材料上的电介质(8)的层，其中静电夹具进一步包括从电介质的层突出的突节(10)。

公开(公告)号：CN104718609A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380038283.2

申请日：2013-07-11

申请人： 通快机床两合公司

发明人： W·蒂尔 ,  A·海因茨

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H02N13/00

摘要： 本发明涉及一种用于保持工件(31)的电粘附抓取器(20)，包括具有多线匝的第一螺旋形电极(1)和具有多线匝的第二螺旋形电极(2)，其中，两个螺旋形电极(1、2)至少部分双线地设置，其特征在于，电粘附抓取器(20)具有二极管构件(6)，螺旋形电极(1、2)通过该二极管构件相互连接，其中，两个螺旋形电极(1、2)通过二极管构件(6)串联连接的部分的总体具有不消失的电感。本发明提出一种电粘附抓取器，其中，能够以简单方式检验抓取器占用。

公开(公告)号：CN104506975A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410610368.X

申请日：2008-11-20

申请人： 奥迪欧彼塞尔斯有限公司

发明人： Y·科恩 ,  D·勒温 ,  S·卡普兰 ,  A·斯罗敏 ,  M·本西蒙

IPC分类号： H04R1/00 ,  H04R1/40 ,  H04R3/12 ,  H02N13/00

CPC分类号： H04R1/005 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18 ,  H02N13/00 ,  H04R1/403 ,  H04R3/007 ,  H04R3/12 ,  H04R2201/403 ,  H04R2203/12 ,  H04R2460/03 ,  Y10T29/49005

摘要： 本申请涉及一种数字扬声器装置。在一些实施例中，提供一种用于生成物理效应的致动系统，该系统包括至少一个转移元件阵列，其中每个转移元件响应于第一力和第二力各自的作用被迫沿其各自的轴各自朝着第一极限位置和第二极限位置来回交替移动；以及控制器，该控制器操作以使用第一力和第二力来可选择地将所述转移元件的至少一个子集各自锁定到第一极限位置和第二极限位置。

公开(公告)号：CN104428883A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201280061122.0

申请日：2012-11-08

申请人： 因特瓦克公司

发明人： T·佩德森 ,  H·希斯尔迈尔 ,  M·春 ,  V·普拉巴卡 ,  B·阿迪博 ,  T·布卢克

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6831 ,  H01L31/1876 ,  H02N13/00 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： 一种用于处理基板的系统具有真空外壳和定位成处理在真空外壳内部的处理区中的晶片的处理室。提供两个轨道组件，一个轨道组件在处理区的每侧上。两个卡盘阵列每个在轨道组件之一骑行上，使得每个卡盘阵列在一个轨道组件上悬臂式伸展并支撑多个卡盘。轨道组件耦合到升高机构，其将轨道放置在用于处理的较高的位置上以及放置在用于返回卡盘组件的较低的位置处用于装载新晶片。拾取头组件将晶片从输送机装载到卡盘组件上。拾取头具有从晶片的正侧拾取晶片的多个静电卡盘。在处理卡盘中的冷却通道用于产生气垫以在由拾取头输送时帮助使晶片对齐。

公开(公告)号：CN101953174B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN200880124089.5

申请日：2008-11-20

申请人： 奥迪欧彼塞尔斯有限公司

发明人： Y·科恩 ,  D·勒温 ,  S·卡普兰 ,  A·斯罗敏 ,  M·本西蒙

IPC分类号： H04R1/40 ,  H04R3/12 ,  H02K33/16 ,  H02N13/00

CPC分类号： H04R1/005 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18 ,  H02N13/00 ,  H04R1/403 ,  H04R3/007 ,  H04R3/12 ,  H04R2201/403 ,  H04R2203/12 ,  H04R2460/03 ,  Y10T29/49005

摘要： 一种用于生成物理效应的致动系统，该系统包括至少一个转移元件阵列，其中每个转移元件响应于第一力和第二力各自的作用被迫沿其各自的轴各自朝着第一极限位置和第二极限位置来回交替移动；以及控制器，该控制器操作以使用第一力和第二力来可选择地将所述转移元件的至少一个子集各自锁定到第一极限位置和第二极限位置。

公开(公告)号：CN102150233B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN200980135897.6

申请日：2009-09-08

申请人： 高美科株式会社

发明人： 崔镇植 ,  崔正德

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H02N13/00

摘要： 在静电吸盘(ESC)中包括用于吸收热应力的缓冲层，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体以及设置在所述主体上的基板。所述基板具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被暴露出来的电极。所述ESC包括端子单元，所述端子单元具有通过所述穿透孔和所述基板的插入部分与所述电极接触的端子；以及缓冲层，其设置在所述主体和所述基板中的至少一个与所述端子之间的边界区域，并吸收所述主体的热应力。因此，ESC的热应力被吸收到所述缓冲层，从而充分减少了由热应力造成的裂纹由此增加了ESC的耐久性寿命。

公开(公告)号：CN102150252B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN200980135899.5

申请日：2009-09-08

申请人： 高美科株式会社

发明人： 崔镇植 ,  崔正德

IPC分类号： H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H02N13/00

摘要： 在静电吸盘和制造该静电吸盘的方法中，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体；具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被局部暴露出来的电极的基板；具有通过所述穿透孔和所述插入部分与所述电极接触的端子以及将所述主体与所述端子电绝缘开的绝缘构件的端子单元；设置在所述主体和所述绝缘构件之间的第一边界区域处的第一缓冲层，该第一缓冲层用于吸收热应力；以及设置在所述基板和所述绝缘构件之间的第二边界区域处的第二缓冲层，该第二缓冲层防止裂纹生长。因此，热应力被吸收到所述第一缓冲层并且第二缓冲层防止了裂纹生长。

公开(公告)号：CN102132395B

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN200980133591.7

申请日：2009-08-17

申请人： 爱发科股份有限公司

发明人： 佐藤正幸 ,  冈正 ,  中村久三

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/6833

摘要： 本发明提供一种静电卡盘，其在通过使静电卡盘保持具有透光性的处理基板，对处理基板实施伴随光照射的处理时，即使由于光电效应而使吸引力降低，也能够切实地保持处理基板。静电卡盘(6)具有由电介质构成的卡盘平板(61)和设置于卡盘平板(61)的第1电极(631)和第2电极(632)，并通过对第1和第2两电极(631)、(632)间施加电压，将处理基板(S)吸附于卡盘平板(61)的表面。在卡盘平板(61)的表面的一部分，设置了由对处理基板(S)具有粘接力的粘接片等构成的基板保持部(64)。