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公开(公告)号：CN117766600B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202311783594.3
申请日：2023-12-22
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18 , C23C16/515 , C23C16/56 , C23C16/02 , C23C16/22
摘要： 本发明提供了一种PECVD沉积BSG‑硼源层制备硼发射极的方法及硅片与装置系统，所述方法包括依次进行的硅片预处理、PECVD沉积和热退火处理；其中，所述PECVD沉积的温度为250‑500℃，压力为800‑3000mTorr，工艺气体包括SiH4、B2H6和N2O，稀释气体包括Ar、H2或N2中的任意一种或至少两种的组合。本发明提供的方法特别适用于大尺寸电池在大管径的PECVD设备上沉积BSG，提升了硼掺杂均匀性及掺杂浓度，降低了表面BSG层去除难度，改善了钝化效果，同时简化了工艺流程，提高了生产效率，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN114855271B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202210428945.8
申请日：2022-04-22
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本申请涉及外延生长装置，外延生长装置包括炉体，炉体设有反应腔，反应腔内分别设有水平设置的第一反应基座和第二反应基座，第一反应基座和第二反应基座沿着水平方向间隔设置。炉体还设有分别连通反应腔的第一进气部、第二进气部和出气部，第一反应基座设于第一进气部和出气部之间，第二反应基座设于第二进气部和出气部之间；反应介质能够分别通过第一进气部和第二进气部进入反应腔，并通过出气部离开反应腔。本申请提供的外延生长装置，解决了现有的外延炉的外延层产出效率过低的问题。
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公开(公告)号：CN116895713A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310745807.7
申请日：2023-06-21
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677 , H01L31/04
摘要： 本发明公开了一种电池片加工设备和电池片加工方法，所述电池片加工设备包括取片装置、第一输送装置、第一缓存装置、加工装置、第二输送装置、第二缓存装置和放片装置，取片装置用于从第一花篮中取出待加工电池片；第一输送装置设置在取片装置的一侧，用于输送待加工电池片；第一缓存装置设置在第一输送装置上，用于存储待加工电池片；加工装置设置在第一输送装置的远离取片装置的一侧，用于加工待加工电池片；第二输送装置设置在加工装置的一侧，用于输送已加工电池片；第二缓存装置设置在第二输送装置上，用于存储已加工电池片；放片装置用于将已加工电池片放入第二花篮中。本发明实施例的电池片加工设备具有花篮转运效率高等优点。
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公开(公告)号：CN221453684U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323002116.2
申请日：2023-11-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种载片舟清洗装置的外腔结构和载片舟清洗装置，属于硅片生产技术领域。载片舟清洗装置的外腔结构包括外壳，内设有真空腔，真空腔内用于放置具有反应腔的内壳；第一开口开设于外壳上且与真空腔连通，第一开口用于取放待清洗的载片舟；真空口开设于外壳上且与真空腔连通，真空口用于对真空腔抽真空；吹气口开设于外壳上且与真空腔连通，吹气口用于向真空腔通入气体；第一密封件，用于密封第一开口。本实用新型的外壳用于保护具有反应腔的内壳，清洗前，通过真空口对真空腔抽真空，便于在真空腔内维持洁净的环境；清洗完成后，通过吹气口通入气体，使真空腔内的压力与外界压力相持平，便于打开第一密封件。
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公开(公告)号：CN220474593U
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202321891266.0
申请日：2023-07-18
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/683
摘要： 本实用新型提供一种上下料装置和物料加工设备。所述上下料装置包括传送组件、检测件、废料容纳件和上下料组件，传送组件用于传送物料，检测件设在传送组件上，以用于检测传送组件上传送的物料是否为良品，并发出对应良品物料的良品信号和对应不良品物料的不良品信号，废料容纳件用于容纳不良品物料，上下料组件用于根据检测件发出的良品信号和不良品信号分别将传送组件上的物料放置在待加工位和废料容纳件，以及用于将待加工位上加工后的物料放置在传送组件上。本实用新型的上下料装置通过上下料组件能够根据检测信号将物料中的不良品在进入待加工位前剔除，以避免不良品物料进入待加工位，从而避免加工资源的浪费，并提升加工效率。
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公开(公告)号：CN220065662U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202320725962.8
申请日：2023-04-04
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 本实用新型公开了一种载板和转载组件，所述载板在其厚度方向上的一侧具有承载区，所述承载区用于放置硅片，所述载板上还具有连通的第一进气口和第一出气口，所述第一出气口设于所述承载区内且用于朝向所述硅片吹气，以使所述硅片与所述载板分离。本实用新型实施例的载板使得硅片具有吸附安全性高和吸附简单等优点。
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公开(公告)号：CN220062530U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202320599013.X
申请日：2023-03-22
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型的实施例提出一种隧道窑炉的输送机构和隧道窑炉。其中，所述的输送机构包括输送机架、滚轴、驱动件和传动滚轮。所述输送机架包括输送架体、第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架沿所述输送机架的宽度方向相对设置在所述输送架体上，所述滚轴具有多个，多个所述滚轴沿所述输送机架的长度方向间隔开地设置，每个所述滚轴的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动件设置在所述滚轴上以便驱动多个所述滚轴转动；所述传动滚轮具有多个，多个所述传动滚轮套设在多个所述滚轴上。因此，根据本实用新型的实施例的隧道窑炉的输送机构具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。
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公开(公告)号：CN219886177U
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202321237491.2
申请日：2023-05-18
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/50
摘要： 本实用新型涉及光伏太阳能电池生产设备技术领域且公开了一种石墨舟组件和气相沉积设备，所述石墨舟组件包括石墨舟、封盖、电极杆和保护壳，所述石墨舟上具有电极，所述封盖设于所述石墨舟上且环绕所述电极一周设置，所述电极杆用于设在管式炉内以支撑所述石墨舟，所述电极杆上具有用于与所述电极电连接的导电部，所述保护壳设于所述电极杆上，所述保护壳具有保护腔以及与所述保护腔连通的开口，所述导电部位于所述保护腔内，所述封盖用于封堵所述开口。因此，本实用新型实施例的石墨舟组件具有镀膜均匀性好等优点。
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公开(公告)号：CN221766697U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202420287625.X
申请日：2024-02-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种扩散炉的框架结构及扩散炉，涉及扩散炉技术领域。该扩散炉的框架结构包括支撑架、隔热组件和电气安装板，支撑架包括炉体安装区域和电气元件安装区域。隔热组件设于炉体安装区域和电气元件安装区域之间，隔热组件用于隔离炉体安装区域中的热量。电气安装板设于电气元件安装区域内，且电气安装板与隔热组件间隔设置。本实用新型提供的扩散炉的框架结构，不仅通过隔热组件对炉体安装区域内的热量进行物理隔热，阻挡热量向电气元件安装区域传递；而且通过将电气安装板与隔热组件间隔设置进行空气隔热，有效降低了热量的传递速度，相对于现有技术中的扩散炉的框架结构隔热效果更好。
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公开(公告)号：CN221466551U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323649257.3
申请日：2023-12-29
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , C30B31/00
摘要： 本实用新型属于半导体制造技术领域，公开了一种舟托输送装置及扩散炉，舟托输送装置包括悬臂桨、安装架及调整机构，悬臂桨包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，悬臂桨沿其轴向的一侧形成承载部，舟托能够载放于承载部上，悬臂桨沿其轴向的另一侧固定连接于安装架，安装架能够沿悬臂桨的轴向移动，调整机构固定连接于悬臂桨和安装架之间，并被配置为调整第一悬臂梁和第二悬臂梁的位姿。本实用新型中，调整机构能够调整第一悬臂梁和第二悬臂梁的位姿，从而使得第一悬臂梁和第二悬臂梁的相对位置满足要求，进而保证舟托能够稳定地载放于悬臂桨上。
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