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公开(公告)号：CN116982759A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202311252149.4
申请日：2023-09-26
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Inventor： 孟燕子
IPC: A24F40/51 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01L9/12 , G01L9/00 , G01L19/00 , G01L19/06 , A24F40/50 , A24F40/40
Abstract: 本发明提供了一种气流传感器及气流传感器封装结构，旨在通过在气流传感器上设置有至少一个均压结构，并且均压结构与间隙层物理相隔离，以在气流传感器的背腔与气流传感器之外的空间建立连续的流动路径，并且所述气流传感器还包括穿设于所述固定电极和振动电极之间的间隙的泄气通道，所述间隙层经由所述泄气通道与所述气流传感器之外的空间相连通，不仅能够实现在非工作状态下，防止与气流传感器相连接的ASIC检测到压差信号，从而引起其它部件的误触发，还可以减少气流传感器外部空间的污染物扩散至间隙层中，从而完美解决振动电极和背极板之间的由于污染物所导致的吸膜问题，以及由此所引发的误触发、短路的问题。
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公开(公告)号：CN116982758A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202311252105.1
申请日：2023-09-26
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Inventor： 孟燕子
IPC: A24F40/51 , B81B7/00 , B81B7/02 , A24F40/50 , A24F40/40 , G01L9/12 , G01L9/00 , G01L19/00 , G01L19/06
Abstract: 本发明提供了一种气流传感器及气流传感器封装结构，其中，气流传感器包括层叠设置的基底、振动电极以及固定电极，所述基底具有在其厚度方向上贯通的背腔，旨在通过在气流传感器上设置有至少一个均压结构，并且均压结构与间隙层物理相隔离，以在气流传感器的背腔与气流传感器之外的空间建立连续的流动路径，不仅能够实现在非工作状态下，振动电极的朝向背腔的一侧表面与振动电极的远离背腔的一侧表面的压力均衡，以防止与气流传感器相连接的ASIC检测到信号，从而引起其它部件的误触发，还能够防止从均压孔进入的污染物扩散至振动电极与固定电极之间的间隙层中，降低了产品的失效率。
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公开(公告)号：CN116659711B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310938869.X
申请日：2023-07-28
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种MEMS压力传感器及电子设备。所述MEMS压力传感器包括以层叠的方式依次设置的基底、振膜以及背极板，所述背极板包括绝缘层和与所述绝缘层固定连接的导电层，所述导电层包括相互隔离的第一电极区域和第二电极区域，所述第一电极区域和所述第二电极区域分别与所述振膜构成第一电容和第二电容，在所述MEMS压力传感器处于工作状态下时，所述第一电容和所述第二电容的差值被配置为与施加在所述MEMS压力传感器上的压力呈线性关系。本申请所公开的技术方案有利于提高MEMS压力传感器的压力检测的准确性和线性度。
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公开(公告)号：CN116374942A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310667562.0
申请日：2023-06-07
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种惯性和压力传感器集成的微机电构件，包括：衬底、器件结构和盖顶结构，所述器件结构包括可动质量块、用于固定所述可动质量块的第一锚点、以及固定质量块，所述可动质量块上设置有第一镂空槽，所述固定质量块位于所述第一镂空槽内，所述固定质量块构成第一电极，在盖顶结构上设置有可动电极区域，可动电极区域构成第二电极，其中，在衬底的厚度方向上，所述第一电极和所述第二电极二者的投影交叠，以构成压力检测电容。本发明提供的技术方案实现了在不改变惯性传感器体积的基础上集成有压力传感器，能够同时进行惯性感测和压力检测。
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公开(公告)号：CN116268631A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310189204.3
申请日：2023-03-02
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Inventor： 曹斌斌
Abstract: 本申请提供一种电子烟感测组件及其制备方法、具有其的电子烟，其中电子烟感测组件包括：衬底包括在厚度方向上相对应的第一表面和第二表面，衬底上设置有贯穿第一表面的背腔，衬底中位于背腔与第二表面之间的部分构成第一电极；绝缘层覆盖在衬底的第二表面上；支撑件设置于绝缘层的远离衬底的一侧；可动电极层包括固定部以及振动部，固定部覆盖在支撑件上，振动部悬置于绝缘层的上方从而形成供振动部发生弹性形变的形变空间，振动部构成第二电极；其中，在垂直于衬底的厚度方向的平面上，第一电极以及第二电极的投影至少部分重叠，以构成可变电容，无需设置背极板，从而简化了电子烟感测组件的制备工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115902375A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211360482.2
申请日：2022-11-02
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: G01R19/25
Abstract: 本发明提供一种检测目标电流的装置，所述装置包括接口电路、负载控制电路、信号放大电路以及微控制器，所述接口电路电连接于待测电路和所述负载控制电路之间，用于将待测电路中的目标电流转送至所述负载控制电路，所述信号放大电路电连接在所述负载控制电路与所述微控制器之间，其中，所述负载控制电路包括多个负载控制子电路，所述微控制器包括分别与所述多个负载控制子电路电连接的多个所述选通端口，用于向所述多个负载控制子电路发送所述选通控制信号，以触发所述负载控制电路中的一个负载控制子电路导通。采用本发明实施例提供的技术方案，极大地提高了电流检测的准确性。
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公开(公告)号：CN115403005B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211360267.2
申请日：2022-11-02
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
IPC: H01L23/522
Abstract: 本发明提供了一种压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法，旨在通过在玻璃基板内制作贯穿所述玻璃基板厚度方向上的导电结构以及部分贯穿所述玻璃基板的空腔，然后将具有导电结构及空腔的所述玻璃基板与具有至少一个压阻以及与所述至少一个压阻对应电连接的第一焊盘的硅衬底进行键合，采用本发明实施例提供的技术方案，具有键合成本低、制作工序简单的优点，而且电性能的引出方式简单。
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公开(公告)号：CN115615587A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211637925.8
申请日：2022-12-20
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种压力传感器，包括：基底，所述基底包括容纳在所述基底的主体内部的第一空腔以及位于所述基底的所述第一空腔和所述第一表面之间的第一力敏感膜，旨在通过在所述第一空腔内设置有第一凸起部，并且在所述基底的厚度方向上，所述第一凸起部的高度小于所述第一空腔的深度，每个所述压敏电阻的投影位于所述第一空腔的投影范围内，且每个所述压敏电阻的投影与所述第一凸起部的投影不交叠。采用本发明提供的技术方案能够实现两种不同量程段的压力测试，以及封装产品尺寸的小型化。
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公开(公告)号：CN115604637A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211609323.1
申请日：2022-12-15
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司(CN)
Inventor： 姜成颖
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种MEMS麦克风和电子设备，所述MEMS麦克风包括第一声学部件，用于接收外部输入的声波信号并将声波信号转换为电容变化信号输出；第二声学部件，用于将第一声学部件输出的电容变化信号转换为电信号输出；调节电路，其包括滤波电路和开关组件，所述开关组件用于控制所述滤波电路是处于工作状态还是处于非工作状态；当所述滤波电路处于工作状态时，所述滤波电路用于滤除所述第二声学部件输出的电信号中的高频信号。本发明通过所述开关部件控制所述滤波电路处于工作状态，能够调节高频处的频率波动，以滤除不必要的频率干扰信号。
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公开(公告)号：CN115379374B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211302200.3
申请日：2022-10-24
Applicant: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种骨传导检测装置、骨传导器件及制作方法。所述骨传导检测装置包括支撑件、第一基板、第二基板以及可动组件；支撑件上设置有支撑孔，并且支撑件具有相对的第一侧与第二侧，第一侧与第一基板固定连接，第二侧与第二基板固定连接，支撑件、第一基板以及第二基板共同形成腔体；可动组件包括通过悬挂结构悬挂在支撑孔内的质量块；第二基板上设置有固定电极，固定电极与质量块形成针对目标方向加速度的检测电容；其中，目标方向与第一基板的厚度方向相平行，质量块在检测到目标方向加速度时沿平行于目标方向运动，并且悬挂结构限制质量块在非目标方向上的运动。本申请所公开的技术方案解决了现有的骨传导麦克风的灵敏度差且失效的问题。
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