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公开(公告)号:CN102067325A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200980123940.7
申请日:2009-07-08
申请人: 三菱重工业株式会社
IPC分类号: H01L31/04
CPC分类号: H01L27/1423 , H01L31/046 , H01L31/0463 , H01L31/076 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要: 本发明提供使开路电压增加并且改善n层与背面侧透明电极层或n层与中间接触层的接触性而提高形状因子的光电转换装置及其制造方法。一种在基板(1)上具备层叠p层(41)、i层(42)和n层而成的光电转换层(3)的光电转换装置(100),在该光电转换装置(100)中,所述n层包括含氮n层(43)和在该含氮n层(43)的与所述基板(1)相反一侧的面上形成的界面处理层(44),所述含氮n层(43)以1%以上且20%以下的原子浓度含有氮原子,并且结晶化率为0以上且小于3,所述界面处理层(44)为结晶化率1以上且6以下。
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公开(公告)号:CN101981431A
公开(公告)日:2011-02-23
申请号:CN200980111369.7
申请日:2009-07-02
申请人: 三菱重工业株式会社
CPC分类号: G01N21/9501 , G01N21/3563 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01R31/2831 , H01L31/1884 , Y10T29/53126
摘要: 以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置,具备:光照射装置(3),其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射;光检测装置(2),其检测在透明导电膜反射的反射光;信息处理装置(7),其基于检测到的光的强度,算出与该波长有关的反射光的光量的评价值,使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性,由算出的所述评价值求出电阻率。
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公开(公告)号:CN101622719A
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200880006731.X
申请日:2008-02-08
申请人: 三菱重工业株式会社
IPC分类号: H01L31/04
CPC分类号: H01L31/076 , H01L31/0463 , Y02E10/548
摘要: 本发明提供一种能够以低成本获得更高性能的光电变换装置及其制造方法。具备被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层(93)的光电变换装置(90),在所述中间层(93)表面上具有等离子体抗性保护层(93A)。
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