公开(公告)号：CN105022166A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510526032.X

申请日：2015-08-25

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 ,  哈尔滨工业大学

发明人： 张尽力 ,  熊迁 ,  卢礼华 ,  苏春洲 ,  谭宁 ,  吕海兵 ,  赵利平 ,  白清顺 ,  张扬 ,  范乃吉 ,  高东 ,  李银刚 ,  周海 ,  袁晓东

IPC分类号： G02B27/00

摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。

公开(公告)号：CN205620595U

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201620332164.9

申请日：2016-04-20

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 高东 ,  程晓锋 ,  苏春洲 ,  李银刚 ,  谭宁 ,  张扬 ,  熊迁 ,  张尽力 ,  范乃吉 ,  唐洪平

IPC分类号： G02B7/00

摘要： 本实用新型提供了一种安装光学模块的装置。所述的安装光学模块的装置中的过渡板、定位刚架、定位刚架组成一个结构件，支撑板、过渡板、安装定位板位于同一水平面上。卧式千斤顶底部带有万向轮，当其将光学模块升起时推动卧式千斤顶即可将光学模块移动至安装定位板上，调节卧式千斤顶底部的万向轮使光学模块的定位孔对准安装定位板上的定位孔，降下光学模块，移出卧式千斤顶，拆去支撑板、过渡板、定位刚架、定位刚架、手推叉车,将光学模块与安装定位板用连接螺钉固定好即完成安装。本实用新型有效地解决了狭窄空间洁净安装作业的问题，本实用新型的装置结构简单，安装快捷，具有较高的安装效率，能够满足大多数光学模块的定位安装。

公开(公告)号：CN209640729U

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201920859617.7

申请日：2019-06-06

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 高东 ,  叶朗 ,  张扬 ,  全旭松 ,  张尽力

IPC分类号： G05D1/02 ,  B25B11/00

摘要： 本实用新型公开了一种大口径光学元件装配工位平台，包括装配模块和AGV小车导航定位模块，所述装配模块包括底座、转台以及定位夹具，所述定位夹具包括定位平台以及定位框架，所述定位框架包括两块侧挡板，在所述定位平台上设置有两排定位销组，两排定位销组与两块侧挡板共同构成矩形排布，所述定位销组由沿直线分布的定位销组成；所述AGV小车导航定位模块包括安装柱以及导航支架，在所述导航支架上安装有AGV激光导航反射板和AGV有料检测传感器。采用以上技术方案，整个过程自动化程度高，无作业人员的流动，从而大大减少了粉尘的产生，提高了环境和光学元件表面的洁净度，满足光学元件制造的洁净度要求。

公开(公告)号：CN205868978U

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201620332171.9

申请日：2016-04-20

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 程晓锋 ,  郑万国 ,  袁晓东 ,  周国瑞 ,  王晓红 ,  高东 ,  贾宝申 ,  刘昊 ,  牛龙飞 ,  苗心向 ,  吕海滨

IPC分类号： B08B7/00 ,  B08B13/00

摘要： 本实用新型提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本实用新型能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。

公开(公告)号：CN203745158U

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201420120887.3

申请日：2014-03-18

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 熊迁 ,  谭宁 ,  张尽力 ,  高东 ,  苏春洲 ,  倪卫 ,  张扬 ,  李银刚 ,  范乃吉 ,  周海 ,  袁晓东

IPC分类号： G01M3/20

摘要： 本实用新型提供了一种真空检漏用自动恒压氦气袋，所述的自动恒压氦气袋包括自动恒压装置和袋体。所述的自动恒压装置包括大卷筒、小卷筒和连接板，所述的袋体通过连接耳与大卷筒上的凸台相连。本实用新型的真空检漏用自动恒压氦气袋在使用过程中能自动补偿袋体内压力损失，可以一次性均匀释放袋体内所有氦气，不需要人工加压，操作方便，氦气利用率高，能够降低环境氦气本底浓度。

公开(公告)号：CN210339521U

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201920856507.5

申请日：2019-06-06

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 高东 ,  张扬 ,  李珂之 ,  全旭松 ,  张尽力

IPC分类号： B65G47/90

摘要： 本实用新型公开了一种用于大口径光学元件转运的龙门机械手，包括龙门架底座、龙门架、升降支架、两个相互正对的抓手支撑臂以及两个相互正对的抓手。采用以上技术方案，不仅能够在四自由度上进行任意调节，大大提高了抓取的灵活性，从而实现大口径光学元件的自动转运，不再需要人工干预，从而减少粉尘的产生，提高了环境和光学元件表面的洁净度，满足光学元件制造的洁净度要求，而且利用龙门架结构，稳定可靠，负载能力强，满足在洁净度为ISO3级环境中大负载(＞150Kg)物流转运的洁净助力问题。