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公开(公告)号:CN102709380A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201210130616.1
申请日:2012-04-28
申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 本发明公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件,解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽(1),在矩形底槽(1)中套接有架高的刻蚀槽(2),在骨架(11)上设置有匀水板(12),在匀水板(12)上均布有孔洞,在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口,刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管(9)的一端连通,刻蚀液下入液管(9)的另一端与入液总管(10)连通,在匀水板(12)上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊(7)、辊轮组(13)和送出辊(8),在辊轮组(13)的上方设置有刻蚀液喷淋管,在矩形底槽(1)的底部设置有动态排液管(27)。实现了自动化生产,提高了刻蚀质量。
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公开(公告)号:CN112614800A
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN202011541020.1
申请日:2020-12-23
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法,解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动,实现舌头板进入篮具进行硅片装篮,整体移出,在硅片入篮机构(4)中设置有入篮机构气缸(6)和入篮机构导轨(10),在入篮机构气缸(6)上设置有气缸滑块(7),在入篮机构导轨上设置有导轨滑块(11),在气缸滑块与导轨滑块(11)之间,设置有入篮机构支架(8),在入篮机构支架(8)的顶端设置有水平舌头板(9),在主动皮带轮(14)、左从动皮带轮(15)、右从动皮带轮(16)和张紧轮(17)之间设置有封闭的入篮传送皮带(18)。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。
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公开(公告)号:CN108847404B
公开(公告)日:2020-05-26
申请号:CN201810491626.5
申请日:2018-05-22
申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法,解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构(5)与篮具升降机构(4)之间的设备支架(1)的工作台面上设置有硅片插入传送机构(6),在硅片插入悬臂板(17)上设置有传送皮带(13),传送皮带(13)在传送电机(12)的控制下实现对硅片(18)的传送,在设备支架(1)上设置有插入活动支架控制气缸(15),插入活动支架控制气缸(15)的输出轴与硅片插入滑动板支架(14)连接在一起;在篮具升降机构(4)上分别设置有硅片入篮传感器(21)和硅片入篮到位传感器(20)。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片,提高了制绒单线生产效率。
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公开(公告)号:CN110626801A
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201910874134.9
申请日:2019-09-17
摘要: 本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构,解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时,容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关,以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置,从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致;在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构,当伺服电机往复摆动角度超过180°时,切断伺服电机电源,以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片,调整传送角度后一致性好,精度误差小。
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公开(公告)号:CN108847404A
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201810491626.5
申请日:2018-05-22
申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮系统及方法,解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构(5)与篮具升降机构(4)之间的设备支架(1)的工作台面上设置有硅片插入传送机构(6),在硅片插入悬臂板(17)上设置有传送皮带(13),传送皮带(13)在传送电机(12)的控制下实现对硅片(18)的传送,在设备支架(1)上设置有插入活动支架控制气缸(15),插入活动支架控制气缸(15)的输出轴与硅片插入滑动板支架(14)连接在一起;在篮具升降机构(4)上分别设置有硅片入篮传感器(21)和硅片入篮到位传感器(20)。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片,提高了制绒单线生产效率。
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公开(公告)号:CN104332438A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201410449597.8
申请日:2014-09-05
申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521 , H01L21/67793 , H01L31/1876
摘要: 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构,解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板(1),在底板(1)上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨(2),在硅片传送支架导轨(2)上设置有被传送轨片(4),在硅片传送支架导轨(2)的中部正下方设置有硅片传送矫正组件,在硅片传送支架导轨(2)的右端正下方的底板(1)上固定设置有伸出组件(5)。硅片传送矫正组件由L形前摆架(14)、L形后摆架(13)和旋转圆盘(17)组成,旋转圆盘(17)设置在L形前摆架(14)与L形后摆架(13)之间,两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄,逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。
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公开(公告)号:CN213936149U
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN202023148947.7
申请日:2020-12-23
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构,解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架(6)的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒(11),在硅片入篮横向皮带传送线(5)上设置有翻转后的第一组硅片(13),在刻蚀后硅片下料传送辊(2)上的翻转工位上设置有第二组硅片(14),在漏吸硅片倾斜收料盒(11)与刻蚀后硅片下料传送辊(2)上的翻转工位之间设置有漏吸硅片(12);在翻转驱动轴(8)上设置有“U”形摆杆(9),“U”形摆杆(9)的左端与翻转驱动轴(8)固定连接在一起,在“U”形摆杆(9)的右端设置有吸盘(10)。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。
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公开(公告)号:CN208336176U
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201820758706.8
申请日:2018-05-22
申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
摘要: 本实用新型公开了一种柔性基板动态定位机构,解决了现有的定位机构存在的实现机构复杂和设备成本高的问题。包括底板座(1)和矩形定位工作面板(15),在矩形定位工作面板(15)上设置有基板吸附孔,在矩形定位工作面板(15)与底板座(1)之间分别设置有定位工作面板支撑立柱(2)、横向铰链座(3)和纵向铰链座(7),在两铰链座上分别设置有气缸,气缸的输出轴通过铰链关节与矩形定位工作面板(15)连接,在定位工作面板支撑立柱(2)上也设置有铰链关节,通过两气缸的输出轴,实现矩形定位工作面板(15)的倾斜和调整;在矩形定位工作面板(15)上设置有横、纵两方向的定位板。本实用新型制作简单、定位准确、稳定可靠。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN213905329U
公开(公告)日:2021-08-06
申请号:CN202023148940.5
申请日:2020-12-23
IPC分类号: H01L21/677 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构,解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动,实现舌头板进入篮具进行硅片装篮,整体移出,在硅片入篮机构(4)中设置有入篮机构气缸(6)和入篮机构导轨(10),在入篮机构气缸(6)上设置有气缸滑块(7),在入篮机构导轨上设置有导轨滑块(11),在气缸滑块与导轨滑块(11)之间,设置有入篮机构支架(8),在入篮机构支架(8)的顶端设置有水平舌头板(9),在主动皮带轮(14)、左从动皮带轮(15)、右从动皮带轮(16)和张紧轮(17)之间设置有封闭的入篮传送皮带(18)。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。
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公开(公告)号:CN211310124U
公开(公告)日:2020-08-21
申请号:CN201921538270.2
申请日:2019-09-17
摘要: 本实用新型公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构,解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时,容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关,以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置,从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致;在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构,当伺服电机往复摆动角度超过180°时,切断伺服电机电源,以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片,调整传送角度后一致性好,精度误差小。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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