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公开(公告)号:CN102369230A
公开(公告)日:2012-03-07
申请号:CN201080014439.X
申请日:2010-03-30
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C08G59/40 , G02F1/1337
CPC classification number: C08G59/42 , C08G59/54 , C08G59/56 , C08J5/18 , C08J2367/00 , C08L63/00 , C08L67/00 , C08L2666/22
Abstract: 本发明的课题是提供在固化膜形成后显示高耐溶剂性、液晶取向性、耐热性、高透明性和高平坦化性,而且在固化膜形成时能够在可适用于滤色器的平坦化膜的生产线的二醇系溶剂、乳酸酯系溶剂中溶解的材料。作为本发明的解决课题的方法是,提供含有(A)成分、(B)成分和(C)成分的热固化膜形成用聚酯组合物:(A)成分:四羧酸二酐与二醇化合物反应而得的聚酯,(B)成分:具有2个以上环氧基的环氧化合物,(C)成分:二胺化合物与二羧酸酐反应而得的含有氨基的羧酸化合物。
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公开(公告)号:CN101809060A
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200880109757.7
申请日:2008-10-16
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C08G63/123 , C08G63/91 , C08F299/04 , C09D167/06 , G02F1/1333 , G02F1/1337
CPC classification number: C08F299/00 , C08F299/04 , C08G63/123 , C08G63/21 , G02F1/133711 , G02F2001/133519 , G02F2202/025
Abstract: 本发明提供在固化膜形成后显示高耐溶剂性、液晶取向性、高透明性和高平坦化性,而且在固化膜形成时可适用于滤色器的平坦化膜的生产线的、可溶解于二醇类溶剂的材料。本发明提供含有包含以下述式(1)所表示的结构单元的聚酯聚合物的热固化膜形成用聚酯树脂溶液、及由该热固化膜形成用聚酯树脂溶液获得的固化膜、液晶取向层和平坦化膜。(式中,A、B表示包含环结构的有机基团。)
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公开(公告)号:CN101467100A
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200780021536.X
申请日:2007-06-13
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045
Abstract: 本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物,其具有很高的灵敏度且未曝光部的膜厚减少小,在膜形成后、即使经过高温烘烤或抗蚀剂剥离液处理也能够维持高的透射率和膜厚,并且在ITO溅射时不产生裂纹,还适合各种显示器的膜材料的固化膜。本发明通过提供下述正型感光性树脂组合物和使用该组合物获得的固化膜而解决了上述课题,所述正型感光性树脂组合物,含有:(A)成分:碱溶性丙烯酸聚合物,其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种,并且,其数均分子量为2000~30000;(B)成分:在主链中具有环结构的碱溶性树脂;(C)成分:具有乙烯基醚基的化合物;(D)成分:具有封端异氰酸酯基的化合物;(E)成分:光酸发生剂;(F)溶剂。
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公开(公告)号:CN101374878A
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200780003625.1
申请日:2007-01-09
Applicant: 日产化学工业株式会社
Inventor: 畑中真
CPC classification number: C08G18/8061 , C08G18/64 , G03F7/0007 , G03F7/0392
Abstract: 本发明提供保存稳定性优异,感度高,未曝光部膜减少小,并且即使在膜形成后进行高温烘烤或进行抗蚀剂剥离液处理,也可保持高透射率,膜厚不减少的正型感光性树脂组合物,本发明还提供了使用这样的正型感光性树脂组合物得到的适合于TFT型液晶元件的阵列平坦化膜等各种显示器的膜材料的固化膜。本发明提供了一种正型感光性树脂组合物和使用该正型感光性树脂组合物得到的固化膜,所述正型感光性树脂组合物含有下述成分,即(A)成分:具有可进行热固化反应的官能团的原料聚合物通过介有含有2个以上的式(1)所示热交联基团的化学结构互相键合形成的热交联体;(B)成分:1分子中具有2个以上封闭异氰酸酯基的化合物;(C)成分:光产酸剂;(D)溶剂。
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公开(公告)号:CN101065708A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200580040348.2
申请日:2005-11-01
Applicant: 日产化学工业株式会社
Inventor: 畑中真
IPC: G03F7/11 , H01L21/027 , C08G59/40
CPC classification number: G03F7/091 , H01L21/0276
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在半导体器件制造的光刻工序中、使用能用光致抗蚀剂用显影液进行显影的防反射膜、形成光致抗蚀剂和防反射膜都为矩形形状的图形的方法。本发明通过提供下述光致抗蚀剂图形的形成方法解决了上述课题,即,一种光致抗蚀剂图形的形成方法,其包括形成可溶于光致抗蚀剂用显影液的第1防反射膜的工序;在上述第1防反射膜上形成可溶于光致抗蚀剂用显影液并且对光致抗蚀剂用显影液的溶解速度比上述第1防反射膜小的第2防反射膜的工序;在上述第2防反射膜上形成光致抗蚀剂的工序;对由上述第1防反射膜、上述第2防反射膜和上述光致抗蚀剂被覆的半导体基板进行曝光的工序;和利用光致抗蚀剂用显影液进行显影的工序。
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公开(公告)号:CN101010634A
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200580029529.5
申请日:2005-08-23
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/091
Abstract: 本发明的目的在于提供形成下层防反射膜的组合物,该组合物用于形成在制造半导体器件的光刻工艺中使用的下层防反射膜,所述下层防反射膜在光致抗蚀剂的显影中使用的碱性显影液的作用下能够显影,并提供使用该形成下层防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图案的形成方法。本发明的形成下层防反射膜的组合物含有,聚酰胺酸、具有至少两个环氧基的化合物、对波长为365nm的光的摩尔吸光系数为5000~100000(1/mol·cm)的吸光性化合物、和溶剂。
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公开(公告)号:CN1904736A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610106430.7
申请日:2006-07-24
Applicant: 日产化学工业株式会社
Inventor: 畑中真
CPC classification number: G03F7/168 , G03F7/027 , G03F7/0392 , G03F7/2004 , Y10S430/128
Abstract: 本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物,其具有很高的灵敏度且未曝光部分的膜厚减少小,在膜形成后、即使经过高温烘烤或抗蚀剂剥离液处理也能够维持高的透射率,也不产生膜厚的减少,提供得到该树脂组合物的制造方法,以及适合各种显示器的膜材料的固化膜。本发明通过提供下述组合物而解决了上述课题,即,一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,含有:(A)成分:碱溶性树脂,其具有能够用于热交联反应和热固化反应的官能团,并且,其数均分子量为2000~30000;(B)成分:1分子中具有两个以上的乙烯基醚基的化合物;(C)成分:1分子中具有两个以上的封端异氰酸酯基的化合物;(D)成分:光酸发生剂;(E)溶剂。另外,提供一种正型感光性树脂组合物的制造方法,通过混合上述成分,将其在比室温高的温度下保持所需时间来进行。还提供一种固化膜,其是使用这样的正型感光性树脂组合物来得到的。
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公开(公告)号:CN107532006B
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN201680028417.6
申请日:2016-04-12
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C08L101/06 , C08K5/053 , C08K5/42 , C08L33/06 , C09D133/14 , C09D201/00 , G02B5/30
Abstract: 例如含有(A)具有由下述式(1)表示的液晶性侧链、例如由下述式(2)表示的垂直取向性基团和热交联性基团的聚合物、(B)交联剂和(C)溶剂的热固化性树脂组合物即使不使用垂直取向膜也可垂直取向,同时给予白浊(透明性)、表面粘性得到了改善的热固化膜、垂直取向相位差膜。(式中,Y1~Y4表示单键等,Y5表示苯环等,m表示0~4的整数,Y6表示氢原子、碳原子数1~18烷基等,Y2~Y6表示的取代基的总碳原子数为6~30。X表示COO基或OCO基,R表示氟原子、氰基、碳原子数1~6的烷基或碳原子数1~6的烷氧基,n表示1~10的整数,o和p表示1或2的整数。)
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公开(公告)号:CN107406713B
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201680018448.3
申请日:2016-04-01
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C09D163/00 , C08F299/02 , C08G59/16 , G03F7/11 , G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种用于在基板上形成被膜的高低差基板被覆用组合物,所述被膜对图案的填充性高、且具有能够不发生脱气、热收缩地形成涂膜的这样的平坦化性,所述高低差基板被覆用组合物含有分子内具有式(1)所示结构部分的化合物(C)和溶剂,(式(1)中,R1和R2分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~10的烷基、或碳原子数为6~40的芳基,5个R3分别独立地表示氢原子、羟基、碳原子数为1~10的烷氧基、碳原子数为1~10的烷基、硝基、或卤素原子,※表示与化合物的结合位置。)。
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公开(公告)号:CN106796373B
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN201580047882.X
申请日:2015-09-08
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G02F1/1337 , C08G59/16 , C08G59/40 , C08L63/00 , G02B5/30
Abstract: 本发明提供固化膜形成用组合物,其用于提供具有优异的垂直取向性,并且具备光学补偿膜所要求的透明性、耐溶剂性、以及与基材和聚合性液晶层的密合性,即使在树脂膜上也可以在低温短时间的烧成条件下稳定地使聚合性液晶垂直地取向的取向材。作为解决本发明课题的方法涉及:固化膜形成用组合物,其特征在于,含有(A)使具有羧基和垂直取向性基团的化合物的羧基对侧链或末端具有1个以上环氧基的聚合物的环氧基进行反应而得的聚合物、(B)交联剂、以及(C)密合促进剂和(D)具有热交联性基团的聚合物中的任一者或两者;取向材,其特征在于,是使用该组合物而获得的;相位差材,其特征在于,是使用该组合物而获得的。
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