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公开(公告)号:CN108139638B
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN201680053281.4
申请日:2016-10-24
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G02F1/1343 , G06F3/041 , H01L51/52 , H01L27/32
Abstract: 本发明涉及一种导电结构,所述导电结构包括:基板;第一金属层,其设置在所述基板上,并且由单一金属形成;第二金属层,其设置在所述第一金属层的至少一个表面上,由至少两种金属形成;以及光反射减少层,其设置在所述第二金属层上并且由半透明材料形成,其中,与没有设置所述第二金属层的情况相比,所述光反射减少层的表面对于380nm至780nm波长的光的平均光反射率降低7%至50%。
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公开(公告)号:CN111868892A
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201980019945.9
申请日:2019-06-18
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/3065 , G02B5/18 , H01J37/32 , G03F1/80 , H05H1/46
Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,其包括以下步骤:在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料;用遮板遮挡网部的至少一部分,然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻;以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分,其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。
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公开(公告)号:CN110719842A
公开(公告)日:2020-01-21
申请号:CN201880036896.5
申请日:2018-03-27
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及一种金属图案膜及其制备方法,所述金属图案膜包括:基板;分别设置在所述基板的两个表面上的第一粘合促进层和第二粘合促进层;设置在所述第一粘合促进层的与邻接所述基板的表面相对的表面上的金属图案;设置在所述第一粘合促进层的设置有所述金属图案的表面上以便覆盖所述金属图案的第一粘合层;和设置在所述第二粘合促进层的与邻接所述基板的表面相对的表面上的第二粘合层,其中,所述第一粘合促进层和所述第二粘合促进层包括无机氧化物。
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公开(公告)号:CN107371363B
公开(公告)日:2019-08-09
申请号:CN201680017412.3
申请日:2016-08-11
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G06F3/044 , B32B15/01 , C23C14/087 , C23C14/20 , G06F3/041 , G06F2203/04103 , G06F2203/04112
Abstract: 本申请涉及一种导电结构体及其制备方法。根据本申请的一个示例性实施方案的导电结构体包括:基板;设置在所述基板上的金属层;以及设置在所述金属层的至少一个表面上并且包含铜‑锰‑镍氧化物的减光反射层。
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公开(公告)号:CN107408420B
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201680018324.5
申请日:2016-03-25
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G06F3/0412 , G02B1/113 , G06F3/044 , G06F2203/04102 , G06F2203/04103 , G06F2203/04112 , H01B5/14
Abstract: 本说明书涉及一种导电结构体及其制备方法。
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公开(公告)号:CN111052319B
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN201880054020.3
申请日:2018-10-19
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/3065 , H01L21/3213 , H01J37/32
Abstract: 本说明书提供了使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法。所述等离子体蚀刻方法包括:将在其上表面上具有网部分的法拉第笼设置在等离子体蚀刻装置中的步骤;将石英基板设置在法拉第笼内部的步骤,所述石英基板在其一个表面上具有金属掩模,所述金属掩模中具有开口;以及其中使用等离子体蚀刻对石英基板进行蚀刻的图案化步骤。其中,法拉第笼的底表面包含具有比金属掩模更低的电离倾向的金属。
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公开(公告)号:CN111868296B
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN201980019524.6
申请日:2019-09-02
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明涉及一种装饰元件的制造方法以及由此制造的装饰元件,该方法包括以下步骤:在光吸收层的一个表面上沉积具有彼此间隔开的两个以上的岛部的结构的光反射层;以及使用岛部作为掩模对光吸收层进行干法蚀刻,其中,与对光吸收层进行干法蚀刻之前相比,在对光吸收层进行干法蚀刻的步骤之后装饰元件的电阻值增大了两倍以上。
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