使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN111868892A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201980019945.9

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,其包括以下步骤:在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料;用遮板遮挡网部的至少一部分,然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻;以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分,其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。

    金属图案膜及其制备方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110719842A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201880036896.5

    申请日:2018-03-27

    Abstract: 本申请涉及一种金属图案膜及其制备方法,所述金属图案膜包括:基板;分别设置在所述基板的两个表面上的第一粘合促进层和第二粘合促进层;设置在所述第一粘合促进层的与邻接所述基板的表面相对的表面上的金属图案;设置在所述第一粘合促进层的设置有所述金属图案的表面上以便覆盖所述金属图案的第一粘合层;和设置在所述第二粘合促进层的与邻接所述基板的表面相对的表面上的第二粘合层,其中,所述第一粘合促进层和所述第二粘合促进层包括无机氧化物。

    使用法拉第笼的等离子体刻蚀方法

    公开(公告)号:CN111052319B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201880054020.3

    申请日:2018-10-19

    Abstract: 本说明书提供了使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法。所述等离子体蚀刻方法包括:将在其上表面上具有网部分的法拉第笼设置在等离子体蚀刻装置中的步骤;将石英基板设置在法拉第笼内部的步骤,所述石英基板在其一个表面上具有金属掩模,所述金属掩模中具有开口;以及其中使用等离子体蚀刻对石英基板进行蚀刻的图案化步骤。其中,法拉第笼的底表面包含具有比金属掩模更低的电离倾向的金属。

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