一种空间光路的光栅尺标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN108731601B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201810940437.1

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 本发明提供一种空间光路的光栅尺标定装置,包括运动台和测量装置,所述测量装置设置于运动台上;测量装置包括一具有凹槽结构的承载台承载台,凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅,在每个平面光栅的上方设置有一读头;承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜,由上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜,承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜;测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪,第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置,第一干涉仪与第一反射镜同侧设置;测量装置还包括两第三反射镜,第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。

    一种运动台直线位移测量及偏转检测装置

    公开(公告)号:CN110449993A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201910720065.6

    申请日:2019-08-06

    Abstract: 本发明公开了一种运动台直线位移测量及偏转检测装置,所述激光干涉仪与机床活动连接,所述转接板与机床上的运动台固定连接,所述直角棱镜与所述转接板固定连接,并位于所述转接板与所述激光干涉仪之间,所述分束镜与机床固定连接,且位于所述激光干涉仪的一侧,所述PSD位置传感器与机床活动连接,并位于所述分束镜的下方。达到提高运动台直线位移测量及偏转检测装置的测量精度的目的。

    一种用于测量运动台六自由度的装置及方法

    公开(公告)号:CN108519053A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810337864.0

    申请日:2018-04-16

    Abstract: 本发明提供一种用于测量运动台六自由度的装置,包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜,第一反射镜与第二反射镜分别设置于运动台相邻的两个侧面,第三反射镜设置于第二反射镜所在侧面的下部且第三反射镜的反射面与第二反射镜的反射面呈钝角设置;还包括设置于运动台上的三个二维光栅尺测量读头;其中一个二维光栅测量读头沿第二反射镜所在侧面的边沿设置,另外两个二维光栅测量读头沿与第二反射镜面所在侧面相对的侧面的边沿设置;每个二维光栅尺测量读头对应一个平面光栅,二维光栅尺测量读头用于测量运动台与平面光栅间的相对位移。本发明满足使用激光干涉仪与平面光栅尺两套测量系统同时测量运动台六自由度的需求。

    一种基于冗余特征的外差激光干涉仪旋转倾斜误差校准的方法

    公开(公告)号:CN119756162A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202510034436.0

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明提供基于冗余特征的外差激光干涉仪的一种旋转倾斜误差校准的方法,所述方法包括:分别单独规划工作台在水平方向X或者Y方向的移动路径,选设参考测量点,在每个测量位置处,设置Rx、Ry和Rz的极大、极小值,其余自由度设置为零;根据设置的路径在参考点处执行测量,通过六自由度测量模型计算出工件台的Rz、Ry旋转倾斜角度并得到在不同测量轴之间的偏差值,然后根据泰勒展开公式建立偏差值与误差耦合系数偏差值之间的关系方程,最后解算出误差耦合系数;将更新补偿后的误差耦合系数代入模型计算出工作台的旋转倾斜度;进而达到对具有冗余特征的外差激光干涉仪的旋转倾斜姿态校准的目的。本发明可用于降低外差激光干涉仪的旋转倾斜误差。

    一种基于卡尔曼滤波器的误差校正方法

    公开(公告)号:CN118783923A

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202410931340.X

    申请日:2024-07-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波器的误差校正方法。卡尔曼滤波是以信号的一、二阶统计特性已知为前提,以均方误差极小为判据,能自动跟踪信号统计性质的非平稳变化,具有递归性质的一种算法,因此得到了广泛应用。卡尔曼滤波器则是一种均方误差最小的估计器,它给出了线性动态系统模型的最优估计。本发明的卡尔曼滤波主要用于纠正周期误差。

    基于双频激光干涉的一种可控负高压APD驱动电路设计

    公开(公告)号:CN118655954A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202410669916.X

    申请日:2024-05-28

    Abstract: 本发明提供基于双频激光干涉的一种可控负高压APD驱动电路设计的方法,所述方法为:DC/DC升压芯片对电压进行升压,二极管倍压电路对电压进行反向升压,输出负高压提供给APD正常工作,DC/DC升压芯片工作在正电压下,电流镜电路将负高压信号转换成正电压信号对DC/DC升压芯片进行负反馈控制,温度传感器实时监测APD的温度传递给FPGA芯片,FPGA芯片再将APD温度信号传递给DAC芯片,DAC芯片将数字信号转换成模拟信号用于控制DC/DC升压芯片,进而精确的实时控制APD的负高压。本发明充分发挥APD的工作性能,从而更稳定准确的获得光信号。

    一种基于数字控制状态变量滤波器的激光干涉测量信号处理装置和方法

    公开(公告)号:CN118189802A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410405017.9

    申请日:2024-04-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于数字控制状态变量滤波器的激光干涉测量信号处理装置和方法。所述装置包括:I/V转换模块1,数字控制状态变量滤波器2,自动增益控制模块3,鉴频器4,模数转换模块5,FPGA模块6,后级电路7。所述方法为:测量光信号转换为测量电信号后,通过稳定幅值、检取输入测量信号的频率、转换为数字信号并输入至FPGA,根据滤波需求计算并输出控制信号,数字控制状态变量滤波器接收控制信号并改变数模转换器的有效电阻值,从而改变状态变量滤波器的通频带,品质因数Q以及增益。本发明可用于激光干涉测量信号处理电路,可以配置为低通、带通等多种滤波器,且其通频带,品质因数Q以及增益都可独立调节,可以为不同频率、幅值的测量信号提供滤波、增益,提高了激光干涉测量信号处理电路的抗噪声性能。

    一种基于UWB定位的自动跟随露营载物车

    公开(公告)号:CN116573023A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310191300.1

    申请日:2023-03-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于UWB定位的自动跟随露营载物车,其特征是:它由中央控制单元1、超声波传感器2和红外线传感器3组成的避障模块、驱动模块4、制动模块5、警报模块6、跟随模块7、载重感应模块8、车体9以及可穿戴式人机交互界面(被跟随用户端)10组成。跟随模块搭载有三个母UWB基站,将子UWB标签安装在被跟随用户端上;避障模块采用超声波雷达与红外线传感器相结合,以多传感器信息融合的方式对露营载物车行进路径上的障碍物进行监测;载重感应模块用于防止露营载物车超过核定载重上限。本发明可适用于不同人群,用于解放人们的双手,提高生活乐趣和劳动效率,可广泛用于户外露营及日常搬运等生活场景。

    一种薄膜热电器件性能测试系统及方法

    公开(公告)号:CN116256572A

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202211497199.4

    申请日:2022-11-27

    Abstract: 本发明提供的是一种可用于薄膜热电器件的热电器件性能参数测试系统及方法,系统包括:待测薄膜热电器件1、热端上顶板2、热端上夹板3、热端下夹板5、热端支撑板固定螺母6、热端固定柱7、加热片8、热端下底板9、热端支撑板10、支撑底板11、冷端固定柱12、冷端支撑板13、半导体制冷片14、冷端下夹板15、冷端夹板固定螺母16、冷端下底板17、冷端上顶板18、冷端上夹板19、上位机控制模块20、下位机控制模块21、程控电阻箱22、电压表23及冷端支撑板固定螺母24。方法包括:1、调节所述冷端固定柱12按所述待测薄膜热电器件1尺寸进行冷端及热端固定。2、设定所述待测薄膜热电器件1的冷热端温度并进行温度控制。3、对所述程控电阻箱22进行阻值切换并记录电压值数据。4、根据阻值及电压数据计算开路电压、内阻、最大输出功率及塞贝克系数。按照尺寸本发明实现了对不同尺寸薄膜热电器件的测试并能够在上位机控制模块20准确实时显示待测器件的多种性能参数。

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