光图像计测装置
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1670508A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510055319.5

    申请日:2005-03-15

    摘要: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可有效地求得由干涉光的背景光所构成的外差信号的直流成分。光图像计测装置包括干涉光学系统,将来自光源的光束以分光器分割成信号光和参照光,并利用频率位移器使参照光的频率进行位移,且使经过被测定物体的信号光和被镜反射的参照光重叠,生成干涉光;分光器,用于将干涉光分割为干涉光(L1、L2、L3);遮光器(31、32、33),为将各干涉光(L1、L2、L3)的强度以一定的周期进行调变的强度调变装置;CCD(21、22、23),接受强度调变的各干涉光,并输出电器信号;以及信号处理部,根据输出的电信号,计算对应于干涉光的背景光的直流成分的强度。

    用于激光光学地检测试样表面运动的方法和设备

    公开(公告)号:CN104854433B

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201380065428.8

    申请日:2013-10-30

    发明人: B·J·赖廷格

    IPC分类号: G01H9/00 G01B9/02

    摘要: 本发明涉及一种用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,第一基准射线(10)与对准试样(1)的并且由该试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加。附加地,基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加。在此,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。有光折变/电光元件(4、5)射出的管线转换为电信号,这些电信号在信号分析处理之前彼此相减。另外,列出用于实施所述方法的配置组件。

    光学测量装置和光学层析方法

    公开(公告)号:CN104414621B

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201410072077.X

    申请日:2014-02-28

    IPC分类号: A61B5/00

    摘要: 本发明提供一种抑制层间串扰和散斑等因光学干涉引起的噪声的小型且价廉的光学测量装置和光学层析方法。光学测量装置包括:出射激光的光源;在驱动上述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元;使上述激光分束为信号光和参考光的光分束元件;使上述信号光会聚照射在测量对象上的物镜;使上述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元;调整上述信号光与上述参考光之间的光程差的光程差调整单元;使被上述测量对象反射或散射的信号光与上述参考光合束,生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统;和检测上述干涉光的光检测器。

    通过光学相干断层成像术测量对象的内部尺寸的系统和方法

    公开(公告)号:CN103491855B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201180070052.0

    申请日:2011-02-15

    摘要: 提供了一种用于光学地测量样本对象(10)的内部尺寸的系统(OCT12?OCT12'''),例如测量眼睛(20)的内部尺寸的系统,所述对象包括内部界面(14、14'、14''),在该内部界面(14、14'、14'')处折射率发生变化以使入射光的一部分被反射回和/或散射回并能够通过光学相干断层成像术(OCT)被检测,所述系统包括:至少一个被配置为测量所述对象(10)的第一部分体积(17)中的内部尺寸的第一OCT设备(OCT1),其特点是结合有至少一个被配置为测量同一所述对象(10)的第二部分体积(19)中的内部尺寸的第二OCT设备(OCT2),其中,所述第二部分体积(19)至少部分地不同于所述第一部分体积(17)。所述第一OCT设备和所述第二OCT设备(OCT1、OCT2)可共用空间上至少部分重叠的第一样本臂和第二样本臂(SA1、SA2),所述第一样本臂和第二样本臂(SA1、SA2)可分别具有不同的焦距(f1、f2)并通过公共光学透镜系统(L12)通向所述对象,且可共用公共光源(LS12)。在单次测量操作中,通过光学相干断层成像术(OCT),以不同的空间分辨率对所述对象的第一部分体积(17)中的内部尺寸和同一所述对象(10)的第二部分体积(19)中的内部尺寸进行测量。

    光测量装置
    29.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103961056B

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201310573943.9

    申请日:2013-11-15

    IPC分类号: A61B3/14

    摘要: 提供一种不需要进行反射镜的扫描、且不使用波长扫描型光源和分光器而能够获取测定对象的像的小型且廉价的光测量装置。将从光源(401)出射的激光分支为第1光束和第2光束,将第1光束作为信号光通过透镜(406)向测定对象(409)聚光照射,将第2光束不向测定对象照射而作为参照光在反射镜(411)上反射,将通过测定对象反射或散射的信号光与参照光合波后入射到干涉光学系统(412),生成相位关系互不相同的三个以上的干涉光并由光检测器(417、422)进行检测,由信号处理部(424)运算检测信号。在测定时至少在光轴方向上扫描透镜(406)的第1光束的聚光位置。

    一种双频激光位移和角度干涉仪

    公开(公告)号:CN103697807B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201310687001.3

    申请日:2013-12-13

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: G01B9/02

    摘要: 一种双频激光位移和角度干涉仪,包括由左向右依次设置的稳频双频激光器、部分反射分光镜、干涉组件、倍程组件和靶镜组件,还包括第一光电转换单元、第二光电转换单元、第三光电转换单元以及与其连接的相位测量模块;干涉组件包括自上而下设置的第一角锥棱镜、第一四分之一波片、非偏振分光棱镜和第一偏振分光棱镜;倍程组件包括自上而下设置的第二角锥棱镜、第二偏振分光棱镜和反射镜;靶镜组件包括角锥棱镜夹持底座及粘接在其内的第三角锥棱镜和第四角锥棱镜;本发明通过增加干涉组件A部分,解决了没有位移信息的问题;通过改进倍程组件B部分,单个角锥棱镜的位移量为光学四细分,因此角度测量为光学四细分。位移测量为光学八细分,测量分辨率提高。