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公开(公告)号：CN104094377A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201280062842.9
申请日：2012-10-17
申请人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32568 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H01J37/32596 , H01J37/32669 , H01J37/32807 , H01J2237/0822 , H01J2237/152 , H01J2237/327 , H05H1/48
摘要： 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。
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公开(公告)号：CN103765551A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280043726.2
申请日：2012-08-29
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H05H1/24 , H01J27/022 , H01J37/32045 , H01J37/32064
摘要： 本发明涉及一种等离子体源，所述等离子体源以漂游的方式布置在真空室处，其中，所述等离子体源包括源壳体并且在所述源壳体中设置有与所述源壳体绝缘地布置的细丝，其中，设置有用于测量源壳体与细丝之间的电位降的装置。所测量的电位降可以用于调节对细丝加热的电压。根据本发明设置相应的装置。
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公开(公告)号：CN103026452A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180035474.4
申请日：2011-06-14
申请人： 许廷格电子两合公司
发明人： U·里希特
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32018 , H01J37/32045 , H01J37/32935
摘要： 在用于熄灭气体放电室（5）中的电弧的方法中，电力被供应至气体放电室（5），在所述气体放电室（5）中利用第一方向上的电流和相反的第二方向上的电流产生气体放电，当识别出电弧时，中断供应到所述气体放电室（5）的电力，并且将在所述气体放电室（5）的供应线路（17，19）中和/或所述气体放电室（5）中的残留能量供应到能量存储器（30）。
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公开(公告)号：CN101682090B
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN200880015778.2
申请日：2008-05-09
申请人： 许廷格电子有限公司
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32091 , H01J37/32174 , H01M10/42 , H01M10/425 , H01M10/4264 , H01M10/44 , H05H1/36 , Y02E60/12
摘要： 一种电路配置(9)，所述电路配置(9)用于减少在用来连接供电单元(5)与尤其为等离子体应用的负载(2)的一根或多根引线(3.1，3.2)中或所述负载中存储的电能，所述电路配置(9)包括至少一个与所述引线(3.1，3.2)中的至少一根可操作地连接的开关装置(SS)，所述开关装置(SS)用于使能/中断向所述负载(2)的供电(5)。所述电路配置(9)还包括第一电非线性器件，与所述第一电非线性器件串联设置的能量存储器件，以及与所述能量存储器件可操作地连接的预充电电路(7；7.1；7.1’)，其用于在使能向所述负载(2)供电的同时，在所述能量存储器件中存储能量到达预定的能量水平。
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公开(公告)号：CN102605330A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210096960.3
申请日：2009-10-27
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/025 , H01J37/32055 , H01J37/32064
摘要： 一种对用于PVD方法的衬底进行预处理的方法。本发明涉及一种用于在真空处理设备中对工件进行表面处理的方法，该真空处理设备具有构成为靶的第一电极，该第一电极是电弧蒸镀源的部件，其中借助该第一电极以火花电流运行火花，通过该火花从所述靶蒸镀材料，该材料至少部分及暂时地沉积在工件上，并且该真空处理设备具有构成为工件固定装置并且与工件一起形成偏置电极的第二电极，其中借助电压源来施加偏置电压到偏置电极上，其中使得偏置电压与火花电流相协调地被施加，使得在表面上基本上纯粹不发生材料合成。
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公开(公告)号：CN101702936A
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200880019315.3
申请日：2008-06-05
申请人： 株式会社普来马特
IPC分类号： G01R31/12
CPC分类号： H05H1/26 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H05H2001/3494
摘要： 本发明提供一种电弧检测装置和使用该电弧检测装置的电弧监测方法。所述的电弧检测装置包括：连接至负载并传输电压或电流的电气信号的传输线；测量所述传输线的电流或电压的电气信号的检测器；以及对所述电气信号进行处理以便产生至少一个电弧检测信号的处理器。这里，所述电弧检测信号是对应于在所述负载中产生的电弧而产生的。
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公开(公告)号：CN1103232A
公开(公告)日：1995-05-31
申请号：CN94109323.9
申请日：1994-08-19
申请人： 里弗朗科公司
发明人： J·K·泰尔科
CPC分类号： H01J37/32055 , C10B19/00 , C22B4/005 , C22B4/08 , C22B7/001 , H01J37/32064 , H05H1/44 , Y02P10/214 , Y10S588/90
摘要： 借助等离子体的作用处理物料的一种反应器和方法。配置多个电极构件使其形成与电极间空间有关的反应区。电极间空间经过调节(例如通过预电离)，然后在整个反应区中产生一系列间歇电气放电。在最佳实施中，令反应区在远小于待处理的物料在反应区中的停留时间的时间间隔内经受按一定顺序的一系列间歇电气放电。
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