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公开(公告)号：CN102822938A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180019323.X
申请日：2011-01-10
申请人： 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/12 , C23C14/32
CPC分类号： C23C14/325 , H01J37/305 , H01J37/32614
摘要： 本发明涉及一种用于ARC源的靶，具有由要蒸发的材料构成的第一本体（3），该第一本体（3）基本上在平面中具有被设置用于蒸发的表面，其中平面中的该表面包围中心区域，其特征是，在中心区域中设置与第一本体（3）设计为电绝缘的、优选被构造为片状的第二本体（7），使得第二本体（7）基本上不能提供用于维持火花的电子。
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公开(公告)号：CN100355933C
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN01823097.0
申请日：2001-03-27
申请人： 特克尼克基业
发明人： 霍苏·戈伊卡特克萨·拉里尼亚加
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/325 , H01J37/32614 , H01J37/3266
摘要： 本发明涉及一种电弧蒸发器，包括一阳极(1)和一阴极或靶(2)并用于产生准备施加到真空室内需涂覆部分(10)的蒸发材料。本发明的蒸发器还包括一磁引导装置，用于确保电弧以均匀的方式在靶的整个表面上运动。所述磁引导装置包括两个独立的磁系统，其中第一磁系统由一组永磁体(3)构成，该永磁体设置在阴极或靶(2)的周边并且以如下方式设置成或多或少地与靶(2)共面，即其磁化强度要垂直于所述靶(2)的表面；第二磁系统由一电磁体(4-5)构成，该电磁体设置在靶(2)的后部并且与所述靶间隔开一距离地放置在蒸发器电绝缘主体(6)内，其中至少一个磁极设置成与上述靶(2)的表面相平行。这样，两个磁系统的结合作用就确保了靶(2)被均匀地使用或消耗，同时又提高了蒸发器的稳定性。
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公开(公告)号：CN1285419A
公开(公告)日：2001-02-28
申请号：CN00126009.X
申请日：2000-08-18
申请人： 日新电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/325 , H01J37/32614
摘要： 本发明涉及一种电弧型蒸发源,该蒸发源拥有基本上呈柱状的阴极,其轴向长度大于其直径;阴极供料装置,用于沿该阴极的轴向向该阴极供料;阴极冷却装置,用于以冷却剂冷却该阴极的至少一侧表面;和磁线圈,用于产生基本垂直延伸到该阴极前端的蒸发表面或从该蒸发表面向外延伸的磁通。
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公开(公告)号：CN107723668B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201710666073.8
申请日：2017-08-07
申请人： 丰田自动车株式会社
IPC分类号： C23C14/32
CPC分类号： C23C14/325 , C23C16/45523 , C23C16/515 , C30B23/066 , C30B25/105 , H01J37/32055 , H01J37/32403 , H01J37/32568 , H01J37/32614
摘要： 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104004997B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201410063566.9
申请日：2014-02-25
申请人： 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司
CPC分类号： H01J37/32669 , C23C14/325 , C23C14/3407 , C23C14/35 , H01J37/32055 , H01J37/32614 , H01J37/3402 , H01J37/3432 , H01J37/345
摘要： 本发明涉及一种圆筒状蒸发源（1），所述蒸发源在圆筒外壁（2）处包括待蒸发的靶材（3）以及第一磁场源（401）和第二磁场源（402），所述第一磁场源和所述第二磁场源形成磁体系统（400）的至少一部分并且被布置在用于产生磁场的圆筒状蒸发源（1）的内部中。在这一方面，第一磁场源（401）和第二磁场源（402）被设置在载体系统（500）处，从而使得磁场的形状和/或强度能够根据预先定义的计划被设置在预先定义的空间区域中。根据本发明，所述载体系统（500）被构造用于设置所述载体系统（500）的所述磁场的形状和/或强度，从而使得所述第一磁场源（401）被布置在第一载体臂（501）处且能够相对于第一枢转轴线（5011）枢转预先定义的第一枢转角度（α1）。
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公开(公告)号：CN105308367B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480034311.8
申请日：2014-05-26
申请人： 株式会社理研
发明人： 辻胜启
CPC分类号： F16J9/26 , C23C14/0605 , C23C14/225 , C23C14/226 , C23C14/325 , C23C14/505 , F02F5/00 , F16J9/28 , H01J37/32055 , H01J37/32614 , H01J37/32715
摘要： 本发明的课题是，提供一种活塞环及其制造方法，对所述活塞环的外周面和侧面赋予不同的覆膜特性，能够在长期维持耐磨耗性的同时，抑制铝在所述活塞环与活塞环槽之间的粘着。解决方案是一种安装于铝合金制的活塞的、沿以Fe为主要成分的气缸套滑动的活塞环(10)，外周面(12a)和至少一个侧面(12b1、1262)形成有不含氢的硬质碳覆膜(3)，形成于外周面的硬质碳覆膜(3a)是没有柱状组织的覆膜，形成于侧面的硬质碳覆膜(3b)具有在与该侧面交叉的方向上伸展的柱状组织。
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公开(公告)号：CN102822938B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180019323.X
申请日：2011-01-10
申请人： 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/12 , C23C14/32
CPC分类号： C23C14/325 , H01J37/305 , H01J37/32614
摘要： 本发明涉及一种用于ARC源的靶，具有由要蒸发的材料构成的第一本体（3），该第一本体（3）基本上在平面中具有被设置用于蒸发的表面，其中平面中的该表面包围中心区域，其特征是，在中心区域中设置与第一本体（3）设计为电绝缘的、优选被构造为片状的第二本体（7），使得第二本体（7）基本上不能提供用于维持火花的电子。
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公开(公告)号：CN104004997A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410063566.9
申请日：2014-02-25
申请人： 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司
CPC分类号： H01J37/32669 , C23C14/325 , C23C14/3407 , C23C14/35 , H01J37/32055 , H01J37/32614 , H01J37/3402 , H01J37/3432 , H01J37/345
摘要： 本发明涉及一种圆筒状蒸发源（1），所述蒸发源在圆筒外壁（2）处包括待蒸发的靶材（3）以及第一磁场源（401）和第二磁场源（402），所述第一磁场源和所述第二磁场源形成磁体系统（400）的至少一部分并且被布置在用于产生磁场的圆筒状蒸发源（1）的内部中。在这一方面，第一磁场源（401）和第二磁场源（402）被设置在载体系统（500）处，从而使得磁场的形状和/或强度能够根据预先定义的计划被设置在预先定义的空间区域中。根据本发明，所述载体系统（500）被构造用于设置所述载体系统（500）的所述磁场的形状和/或强度，从而使得所述第一磁场源（401）被布置在第一载体臂（501）处且能够相对于第一枢转轴线（5011）枢转预先定义的第一枢转角度（α1）。
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公开(公告)号：CN103582720A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280002957.9
申请日：2012-06-05
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： C23C26/00
CPC分类号： B05C11/00 , H01J37/3255 , H01J37/32577 , H01J37/32614 , H01J37/32825 , H05H1/46 , H05H2001/4682
摘要： 放电电极及工件与电容器并联连接，在极间产生的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，通过在切换为随后的低电流值长脉宽的电流部分时，对反转电流进行抑制或阻止，从而使放电脉冲电流的波形形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形。
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公开(公告)号：CN103003466A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180034464.9
申请日：2011-07-12
申请人： 三斯特根股份有限公司 , 洪埃德科股份有限公司
发明人： O·凯赛
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0021 , C25B11/00 , H01J37/32055 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J37/32614 , H01J2237/332
摘要： 本发明涉及一种在低压电弧蒸发的情况下用于在真空室（10）中通过电弧涂布基材的方法和蒸发器（12，14，62，64，66，68），其中，所述真空室（10）具有至少一个含有标靶材料（20）的蒸发器（12，14，62，64，66，68）、用于供应反应性气体的反应性气体供应管线（53，54）和真空泵，其中，含有标靶材料（20）的所述蒸发器（12，14，62，64，66，68）用作阴极，而真空室（10）的内壁（36）用作阳极，在所述蒸发器（12，14，62，64，66，68）和所述真空室（10）的内壁（36）之间产生电弧。根据本发明，高熔融金属用作标靶材料（20），用于催化，并且在涂布期间真空室（20）中的压力为至少0.5Pa，特别是至少3Pa，优选5Pa。在基材上形成具有高氧含量的催化活性金属层。
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