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公开(公告)号：CN117438354A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311461393.1
申请日：2023-11-06
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及机械制造的技术领域，公开了一种智能化半导体晶圆搬运可变机械手结构，其特征在于：包括自上而下依次设置的多个执行器，每个所述执行器均与等间距调节机构，所述等间距调节机构用于通过不同尺寸的从动带轮驱动相同导程的多对滚珠丝杠，以带动各个执行器同时向处于中间的执行器做等间距靠近或远离运动，实现各个执行器之间的等间距调整；在每个所述执行器上均设置有连杆伸缩机构，每个所述连杆伸缩机构均与同一驱动器相连，所述驱动器用于带动连杆伸缩机构做伸缩运动，以实现晶圆在对应执行器上的夹持或者解除夹持。
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公开(公告)号：CN117245675A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311461394.6
申请日：2023-11-06
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： B25J11/00
摘要： 本发明公开一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，包括自上而下设置的多个执行器，从中间同时向上下两边数，每两个执行器分别设置在同一对滚珠丝杠的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上，左旋滚珠丝杠在上，右旋滚珠丝杠在下，它们的导程相同且同轴相连，其右旋滚珠丝杠的自由端与对应的从动带轮的中心轴同轴连接，这些从动带轮的周长均对应呈整倍数增加，它们通过同步带与主动带轮连同，主动带轮与电动机连接，电动机用于带动主动带轮转动，并通过同步带带动各个从动带轮转动，进而带动与之连接的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠同步转动，从而带动对应的两个执行器同步向上/向下运动，实现半导体晶圆搬运机械手中各个执行器的等间距可变调整。
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公开(公告)号：CN116946611A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202311053261.5
申请日：2023-08-21
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： B65G1/14
摘要： 一种整体式调整层距的晶圆存储设备，包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元。骨架单元包括底板、中板、顶板、八个高度调节块和左右层间滑动支撑轴；左右层间滑动支撑轴垂直固定在所述底板上；晶圆承载单元以中板为界限分为上和下晶圆承载组，每个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT，用于将一片晶圆平行放置于左右插槽SLOT上；左右插槽SLOT分别通过由固定在左右层间滑动支撑轴贯穿的方式堆叠在一起；当动力驱动单元工作时，上晶圆承载组中的插槽SLOT处于存储模式，下晶圆承载组中的插槽SLOT处于取放模式；当动力驱动单元处于放松状态时，下晶圆承载组处于存储模式；上晶圆承载组中的插槽SLOT处于取放模式。
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公开(公告)号：CN116344413A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310313058.0
申请日：2023-03-28
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
摘要： 本发明涉及半导体设备的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆传输系统的晶圆暂存单元结构，包括腔体，呈方形结构，在其内部承载自上而下、均匀间隔设置的多个晶圆；整流机构和百叶窗机构，均设置在腔体内部，分列在晶圆相对的两侧，所述整流机构用于对进入腔体的气体进行整流，使其能够均匀稳定地流过晶圆，所述百叶窗机构中的每个叶片与晶圆一一对应设置，用于自适应调整叶片的张开幅度，以允许相应流量的气体流出至腔体外部；开门机构，其与百叶窗机构相连，用于有选择地强制打开或者关闭对应的叶片，以允许对应的晶圆离开腔体。
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公开(公告)号：CN113990784A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111246252.9
申请日：2021-10-26
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , G01R31/28
摘要： 本发明公开了一种多兼容性的晶圆载具上料站，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M‑1个发射端传感器、2M‑1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M‑2个侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本发明提供的一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题。
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公开(公告)号：CN116344413B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310313058.0
申请日：2023-03-28
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
摘要： 本发明涉及半导体设备的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆传输系统的晶圆暂存单元结构，包括腔体，呈方形结构，在其内部承载自上而下、均匀间隔设置的多个晶圆；整流机构和百叶窗机构，均设置在腔体内部，分列在晶圆相对的两侧，所述整流机构用于对进入腔体的气体进行整流，使其能够均匀稳定地流过晶圆，所述百叶窗机构中的每个叶片与晶圆一一对应设置，用于自适应调整叶片的张开幅度，以允许相应流量的气体流出至腔体外部；开门机构，其与百叶窗机构相连，用于有选择地强制打开或者关闭对应的叶片，以允许对应的晶圆离开腔体。
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公开(公告)号：CN117198978A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311206642.2
申请日：2023-09-19
申请人： 上海广川科技有限公司
发明人： 王贺明 , 刘恩龙 , 杨琦 , 武一鸣 , 中岛隆志 , 川辺哲也 , 曲泉铀 , 张平 , 周伟强 , 张菊 , 贾豪 , 李家璇 , 焦子洋 , 西超博 , 方指东 , 苗义 , 朱骏驰 , 王晨旭 , 张文磊 , 徐圳
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种间距可变的晶圆搬运器，包括：沿着第一方向堆叠设置M个末端手指，末端手指的前端设置有晶圆放置位，末端手指的后端滑动安装在限位导轨中；末端手指远离晶圆放置位的一端还设置有凸轮；凸轮槽板位于所述凸轮远离末端手指的一侧，凸轮槽板中设置有M个不平行设置的凸轮滑槽，凸轮一一对应位于凸轮滑槽内部；驱动件连接凸轮滑槽；驱动件带动凸轮滑槽沿着第二方向滑动时，凸轮带动对应的末端手指同时沿着限位导轨和对应的凸轮滑槽滑动，使得相邻的末端手指之间的间距变化。本发明通过限位滑轨和凸轮滑槽同时限定末端手指的移动轨迹，以实现末端手指的平稳精准变距，进而适配不同尺寸的晶圆存储单元。
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公开(公告)号：CN117191255A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311168592.3
申请日：2023-09-11
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： G01L21/00
摘要： 一种多量程真空计数据采集方法，用于真空腔体的真空度测量，其包括设定第一真空计和第二真空计的测量范围，以及所述第一真空计和第二真空计的重叠测量范围；分别获取所述第一真空计的电压测量值V1和第二真空计的电压测量值V2；输出多量程真空计数据采集的结果值；以及两个量程真空计断线屏蔽的步骤。因此，本发明可以实现大跨度应用场景中的真空值的采集，保证较高的采集精度，且该方法能够实现断线的自动检测，较好的处理真空计的电压输出很小与真空计断线的场景。
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公开(公告)号：CN117067243A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311247425.8
申请日：2023-09-26
申请人： 上海广川科技有限公司
发明人： 李家璇 , 刘恩龙 , 杨琦 , 武一鸣 , 中岛隆志 , 古市昌稔 , 川辺哲也 , 曲泉铀 , 张平 , 周伟强 , 张菊 , 贾豪 , 王贺明 , 焦子洋 , 西超博 , 苗义 , 朱骏驰 , 王晨旭 , 张文磊
摘要： 本公开的实施例提供了一种用于晶圆传输系统的机器人末端执行器，适用于高温环境，所述机器人末端执行器包括手臂转接单元和手指单元，其中，所述手臂转接单元连接在所述机器人的手臂和所述手指单元之间；以及所述手指单元，所述手指单元由陶瓷材料一体成型并包括手掌部分和手指，其中，所述手掌部分连接所述手臂转接单元，所述手掌部分上固定有一个吸附式石英垫，所述手指从所述手掌部分向外延伸，所述手指远离所述手掌部分的一端设置有石英支撑垫。还提供了一种用于晶圆传输系统的机器人。
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