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公开(公告)号：CN103335632B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310236763.1
申请日：2013-06-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01C9/00
摘要： 一种高精度高频响的平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法，涉及一种平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法。它是为了解决现有倾角测量传感器对平台倾角的测量精度低、频响低的问题。在平台运动基座边缘的一个圆周上均匀安装一定数量的线阵CCD，安装在平台上的旋转光源通过扫描线阵CCD在其屏幕上留下一系列光点，线阵CCD输出的光点高度信号输入到CPU中，将当前平台平面为相邻三个CCD上光点构成的平面，在CPU中通过空间几何关系计算获得平台在两个相互垂直方向的倾角。本发明适用于超精密仪器设备平台技术领域的应用。
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公开(公告)号：CN104360639A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410469166.8
申请日：2014-09-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B19/414
CPC分类号： G05B19/414
摘要： 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输出同步时钟信号，当VME自定义总线产生的读信号为低电平，发送所需光栅尺数据的地址，并通过VME自定义总线接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；其他运动控制卡读取同步时钟信号，当同步时钟信号为上升沿，获取所需光栅尺数据的地址，且与单一运动控制卡同步接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；当VME自定义总线接收到时钟信号时，生成采样保持信号、读取信号和地址信号的步骤。它用于控制多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据。
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公开(公告)号：CN103425553B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201310403241.6
申请日：2013-09-06
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种双机热备份系统及该系统的故障检测方法，属于自动控制领域，本发明为解决现有双机热备份系统出现故障时，无法判定系统故障的类型的问题。本发明包括DSP主机、DSP备份机和电源控制板；它还包括复用GPIO端口、一号时钟同步模块、二号时钟同步模块和三号选择开关SW；对该系统进行同步时钟故障检测，该检测是由DSP主机1来检测，同步时钟作为DSP主机1与DSP备份机2的外部中断源使用，在DSP主机1中通过设置标志量来表示同步时钟是否有中断信号进入；通过检测此标志量实现同步时钟故障检测。该系统还可进行存储器故障检测、程序性故障检测、串口故障检测和DSP主机和DSP备份机的A/D、D/A自检。用在数据处理系统中。
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公开(公告)号：CN104133802A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410400093.7
申请日：2014-08-14
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 双工件台扫描光刻机的Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法，属于两个物理板卡或两个系统之间的数据交换技术领域。本发明是为了解决现有双工件台扫描光刻机的操作系统与运动控制卡在进行数据交换时，存在DSP和Vxworks同时读写同一块内存，导致数据交换效率低的问题。它采用FPGA的双口RAM的两个数据区用来交替保存向上位机发送的数据，Vxworks读板卡任务监测两个数据区的写满标志位，在写满标志位置0时，表示读数据任务完成，Vxworks的读板卡任务实时监控数据区的写满标志寄存器，发现哪一块数据区写满就读哪一块数据。本发明用于Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换。
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公开(公告)号：CN104019940A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277199.2
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
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公开(公告)号：CN103869833A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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公开(公告)号：CN103309355A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310187795.7
申请日：2013-05-20
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05D3/00
摘要： 多轴支撑气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它首先设定质心偏移量阈值，然后将质心偏移量G(x0，y0)与质心偏移量阈值进行比较，当质心偏移量G(x0，y0)小于质心偏移量阈值时，对支撑腿的伸缩长度进行补偿；当质心偏移量G(x0，y0)大于质心偏移量阈值时，通过控制气足的喷嘴喷气使承载平台在水平混凝土基座上平动，跟随承载平台上负载的运动以调整相对位移量(x2，y2)，直到将质心偏移量G(x0，y0)调至质心偏移量阈值范围之内。本发明用于气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控。
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公开(公告)号：CN103279034A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310179857.X
申请日：2013-05-15
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B13/04
摘要： 一种分数阶鲁棒控制器的参数整定方法，本发明属于分数阶自动控制技术领域，主要涉及的是一种PDμ结构的分数阶鲁棒控制器的参数整定方法。本发明是要解决现有方法由于不确定因素的影响使得常规的PD控制不能达到满意效果的问题。一、给定待整定系统的各项参数；二、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(1)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；三、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(2)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；四、利用图解法求出步骤二和步骤三所确定的曲线的交点坐标(μ，Kd)；五、将步骤四所求得的Kd和μ代入公式(3)求出Kp。本发明应用于分数阶自动控制技术领域。
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公开(公告)号：CN103277644A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310187887.5
申请日：2013-05-20
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16M11/32
摘要： 多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。
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公开(公告)号：CN103268381A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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