生产光学波导的方法
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1627108A

    公开(公告)日:2005-06-15

    申请号:CN200410100185.X

    申请日:2004-12-03

    CPC classification number: G02B6/138 C03C17/3405 C08L79/08 G02B1/045

    Abstract: 本发明提供一种生产光学波导的方法,其包括以下步骤:连续地将聚酰亚胺树脂前体层涂覆到长片基片上,然后固化该层以形成下部包层;连续地将光敏性聚酰亚胺树脂前体层涂覆到下部包层上;通过具有预定图案的光掩模连续地将涂覆了的光敏性聚酰亚胺树脂前体层曝光;连续地将曝光了的聚酰亚胺树脂前体层进行曝光后加热;在加热后连续地将聚酰亚胺树脂前体层显影,由此除去其未曝光的区域并且得到预定的图案;将显影了的聚酰亚胺树脂前体层固化,由此在下部包层上形成具有预定图案的芯层;并连续地将聚酰亚胺树脂前体层涂覆到下部包层的上方以覆盖芯层,然后将该前体层固化以由此形成上部包层。

    光波导路的制造方法
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102313927B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201110186064.1

    申请日:2011-07-01

    Inventor: 内藤龙介

    CPC classification number: G02B6/138 G02B2006/12069

    Abstract: 本发明提供一种光波导路的制造方法。该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模。通过将透光性树脂(20A)和透光性支承板(G)作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件(40)进行模具成形,一体地制作上敷层形成用的成形模(M)。在该成形模(M)的制作中,上述模具构件(40)的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21)。并且,在形成上敷层时,向上述成形模(M)的凹部(21)内填充上敷层形成用的感光性树脂,在将图案形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内的状态下,透过上述成形模(M)而使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化。

    光波导路的制造方法
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102313926B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201110186062.2

    申请日:2011-07-01

    CPC classification number: G02B6/138

    Abstract: 本发明提供一种将不使毛刺产生的成形模用于形成上敷层的光波导路的制造方法。通过将透光性树脂(20A)作为形成材料、并使用具有形状与上敷层的形状相同的突起部分(41)和形成在该突起部分的周围的突条部分(42)的模具构件(40)进行模具成形,制作上敷层形成用的成形模(20)。该成形模的突起部分的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21),突条部分的脱离痕迹被形成为槽部(22)。并且,在形成上敷层时,向凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂,在将形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内、并将从凹部溢出的感光性树脂积存在槽部(22)中的状态下,透过成形模(20)而使感光性树脂曝光并使感光性树脂硬化。

    光波导路的制造方法
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101887146B

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201010139662.9

    申请日:2010-03-22

    Inventor: 内藤龙介

    CPC classification number: G02B6/1221 G02B6/138

    Abstract: 本发明提供一种光波导路的制造方法。以往,公知有在芯上涂敷固化性的液状树脂、利用紫外线或者热量使液状树脂固化而形成上敷层的制造方法。以往的制造方法在上敷层较薄时生产率较佳,但在上敷层较厚(500μm以上)时,在芯周围附着有气泡,因此,难以获得品质较佳的上敷层。该制造方法包括:工序A,向下敷层上滴下液状树脂而形成液状树脂块;工序B,在液状树脂块上按压模而将其涂敷摊开在下敷层上,形成覆盖芯的液状树脂层;工序C,使液状树脂层固化后剥离模;滴下的液状树脂的粘度为500mPa·s~2000mPa·s,液状树脂的涂敷摊开速度为10mm/s~50mm/s。

    光波导路的制造方法
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102565941A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110411253.4

    申请日:2011-12-12

    CPC classification number: G02B6/132 G03F9/7042

    Abstract: 本发明提供一种光波导路的制造方法,其能够在使用成型模具形成上包层的情况下利用CCD摄像机等识别装置容易地识别定位该成型模具时所使用的对准标记。在形成于基板(10)上的下包层(1)的上表面上,利用光刻法突出形成芯(2)和对准标记,使用将该对准标记作为记号进行定位的成型模具形成上包层,其中,在形成上述对准标记时,作为光掩模(20),使用对准标记形成用的开口图案(23)由开口部(23a)和该开口部(23a)周围的、开口率被设定在大于10%且小于80%的范围内的透光量减少区域(23b)构成的光掩模,对准标记的周侧面形成为倾斜面。

    光波导路的制造方法
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102313927A

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN201110186064.1

    申请日:2011-07-01

    Inventor: 内藤龙介

    CPC classification number: G02B6/138 G02B2006/12069

    Abstract: 本发明提供一种光波导路的制造方法。该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模。通过将透光性树脂(20A)和透光性支承板(G)作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件(40)进行模具成形,一体地制作上敷层形成用的成形模(M)。在该成形模(M)的制作中,上述模具构件(40)的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21)。并且,在形成上敷层时,向上述成形模(M)的凹部(21)内填充上敷层形成用的感光性树脂,在将图案形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内的状态下,透过上述成形模(M)而使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化。

    光波导路的制法
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102269843A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110144091.2

    申请日:2011-05-30

    Inventor: 内藤龙介

    Abstract: 本发明提供一种光波导路的制法。该制法采用尺寸精度优良的具有透光性的成形模具形成上包层。将透光性树脂(20A)作为形成材料,使用与上包层的形状相同形状的模具构件(40)来将上包层形成用的成形模具(20)模具成形,从而一体地制作成形模具(20)。另外,在该成形模具(20)的制作过程中,能够将上述模具构件(40)的脱离痕迹形成为上包层形成用的凹部(21)。而且,在形成上包层时,向上述成形模具(20)的凹部(21)内填充上包层形成用的感光性树脂,在将在下包层的表面形成图案的芯浸入该感光性树脂内的状态下,透过上述成形模具(20)对上述感光性树脂曝光使其固化。

Patent Agency Ranking