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公开(公告)号：CN103196568A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310001292.6
申请日：2013-01-05
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 日高和彦
IPC: G01J9/00
CPC classification number: G01J3/28 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14 , G01B2210/50
Abstract: 本发明提出一种波长检测器及使用波长检测器的接触探头，其中所述接触探头包括触针以及用于以光学方式检测触针姿势的光学检测器。照明对象部形成在触针上并具有三个或更多个反射面。光学检测器包括三个或更多个光纤、光源、聚光透镜组以及波长检测器。波长检测器基于由聚光透镜组和三个或更多个反射面之间的间隔变化分别引起的反射光束的波长变化来计算触针的姿势信息。接触探头基于光学检测器获得的姿势信息得到与待测物体的接触位置的坐标。
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公开(公告)号：CN1750389B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200510103453.8
申请日：2005-09-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量控制系统的控制电路的控制参数设定方法和测量装置，对控制电路(23)依次虚设N个增益Gi，将触针(131)与被测量物W接触地进行虚拟测量。将此时从传感检测电路(21)输出的传感检测信号由滤波器(31)进行滤波，只取出与包括控制电路(23)的闭环L中产生的振荡的频率对应的频率成分。抽取不使闭环L产生振荡的Gj，为了提高测量的快速性等将各Gj中最大的增益设于控制电路(23)。或相对于被测量物W下推触针(131)，测量表示下推量的位移信号和根据触针(131)受到的测量负载从传感器(13)输出的传感信号，基于这两个信号来计算传感器(13)的增益GS’。根据该GS’来校正控制电路的增益。
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公开(公告)号：CN1769860A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510117193.X
申请日：2005-11-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 日高和彦
Abstract: 一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。
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公开(公告)号：CN115409893A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210558634.3
申请日：2022-05-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供位置检测系统、位置检测方法和三维几何形状测量系统。位置检测系统(1)包括：多个距离检测设备(11)，其通过检测由预定三维空间中的物体反射的光来生成指示到物体上的多个位置的距离的距离数据；物体识别部(124)，其识别由多个距离检测设备(11)生成的多个距离数据中的一个或多于一个距离数据中所包括的物体；以及位置识别部(125)，其基于(i)生成了物体识别部(124)识别物体所利用的距离数据的距离检测设备(11)在三维空间中的位置以及(ii)距离数据中的物体的位置，来识别物体在三维空间中的位置。
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公开(公告)号：CN115047470A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210199794.3
申请日：2022-03-02
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量设备。通过使用激光跟踪器来正确地确定工件的空间坐标坐标测量设备(1)包括：测量部(10)，其测量工件；三个或多于三个接入点(20)，其设置在与测量部(10)分离的位置，并且使用无线电波与测量部(10)进行无线通信；激光跟踪器(30)，其利用激光束照射设置在各个接入点中的反射部，并且接收由反射部反射的激光束；以及控制部(54)，其通过激光跟踪器(30)接收由反射部反射的激光束来获得各个接入点(20)的第一坐标，基于接入点(20)和测量部(10)之间的无线通信来获得测量部(10)的第二坐标，使测量部(10)测量工件的第三坐标，并且基于第一坐标、第二坐标和第三坐标来获得工件的空间坐标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109115139B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201810654941.5
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种三维测量单元和测量探测器的识别方法。在具备测量探测器(300)和根据测量探测器(300)的输出运算被测量物(W)的形状坐标的处理装置(400)的三维测量装置(100)中，测量探测器(300)具有第一识别码(330)，处理装置(400)具备：第一判定部(431)，其判定从测量探测器(300)输出的第一识别码(330)是否与特定码(MC)匹配；以及后级判定部(435)，其在由第一判定部(431)判定为第一识别码与特定码匹配且测量探测器(300)还具有第二识别码(340)时，确定从测量探测器(300)输出的第二识别码(340)来识别测量探测器(300)。由此，能够高效地识别多个测量探测器。
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公开(公告)号：CN106054954B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种探针测量力调整器，包括能够在X方向上移动的触针支撑部，其与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN111141200A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911058456.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)，其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置，运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC)，以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X-Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如，包含所有或至少一部分扰动器)，并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中，导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积，且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。
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公开(公告)号：CN107631712A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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公开(公告)号：CN106197206B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510382532.0
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B3/008 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构(310)，其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括：探头主体(302)，其用于内置轴运动机构；以及探头模块(304)，其被支承于探头主体，并用于内置旋转运动机构，并支承触针，探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此，在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。
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