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公开(公告)号：CN103420324B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201310177825.6
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02 , G01P15/125 , G01C19/5733 , H01L23/50 , H01L25/16
CPC classification number: B81B7/008 , B81C1/0023 , B81C1/00238 , B81C2203/0792
Abstract: 提出一种具有MEMS构造元件和ASIC构造元件的混合集成构件，其微机械功能基于电容探测原理和激励原理。MEMS构造元件的功能性在半导体衬底上的层结构中实现。MEMS构造元件的层结构包括半印制导线层面和功能层，在该功能层中MEMS构造元件的微机械结构构造有可偏转结构元件。印制导线层面一方面通过绝缘层相对于半导体衬底绝缘、另一方面通过绝缘层相对于功能层绝缘。ASIC构造元件面朝下安装在MEMS构造元件的层结构上并且对于MEMS构造元件的微机械结构起盖的作用。根据本发明，MEMS构造元件的可偏转结构元件构造有电容装置的电极。在MEMS构造元件的印制导线层面中构造有电容装置的固定反电极，ASIC构造元件包括电容装置的另外的反电极。
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公开(公告)号：CN105314589A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510328917.9
申请日：2015-06-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B7/0038 , B81B7/007 , B81B2201/025 , B81B2207/092
Abstract: 一种微机械构件包括传感器芯片和与所述传感器芯片连接的盖芯片。在所述传感器芯片和所述盖芯片之间构造空腔。所述传感器芯片具有布置在所述空腔中的活动元件。所述盖芯片具有布线层，所述布线层具有导电电极。所述盖芯片具有布置在所述空腔中的吸气元件。
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公开(公告)号：CN101786591B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201010103994.1
申请日：2010-01-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森
IPC: B81B5/00 , B81C99/00 , G01P15/097
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , H04R19/016 , H04R31/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械装置，其包括：具有一些限界面(A)的活动元件(2)；和具有一些限界面(B)的止挡(4)，该止挡限制所述活动元件(2)的运动。在此，所述活动元件(2)由至少一个第一层(2a)和一个第二层(2b)组成，所述第一层(2a)和第二层(2b)这样地布置，使得它们分割至少一个限界面(A)，至少一个仅仅设置在所述第一层(2a)中的横销(3)从所述限界面(A)中伸出，所述横销(3)用于限制所述活动元件(2)的运动。替代地或附加地，所述止挡(4)类似于所述活动元件(2)地构造。最后也涉及一种用于制造按本发明的微机械装置(1)的方法。
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公开(公告)号：CN102292614B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN200980155170.4
申请日：2009-12-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 旋转速率传感器包括：具有衬底表面的衬底；设置在该衬底表面上面的第一活动元件，该第一活动元件具有驱动框架和第一检测质量；第一电极和第二电极，该第一电极在该第一检测质量下方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接，该第二电极在该第一检测质量上方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接。在此，该驱动框架通过至少一个驱动弹簧与该衬底连接，该检测质量通过至少一个检测弹簧与该驱动框架连接，该第一活动元件能被激励至平行于该衬底表面的驱动振动，并且该第一检测质量能垂直于该衬底表面偏移。
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公开(公告)号：CN104627946A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410642584.2
申请日：2014-11-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森
Abstract: 一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10EP)；至少一个第二功能层(20VP)；和至少一个第三功能层(30FP)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少逐区段地完全免于氧化物材料(40)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103213934A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310021006.2
申请日：2013-01-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森
IPC: B81B3/00 , B81B7/00 , B81C1/00 , G01P15/125 , G01C19/5747
CPC classification number: G01P15/02 , G01C19/5747 , G01C19/5769 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0871 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构，具有一包括主延伸平面的衬底和一相对于衬底可运动的质量块，其中，可运动的质量块通过至少一个耦合弹簧弹簧弹性地悬挂，其中可运动的质量块的一个第一部分区域沿着一相对于主延伸平面基本上垂直的竖直方向至少部分地布置在衬底和耦合弹簧之间。
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公开(公告)号：CN102292614A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200980155170.4
申请日：2009-12-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 旋转速率传感器包括：具有衬底表面的衬底；设置在该衬底表面上面的第一活动元件，该第一活动元件具有驱动框架和第一检测质量；第一电极和第二电极，该第一电极在该第一检测质量下方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接，该第二电极在该第一检测质量上方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接。在此，该驱动框架通过至少一个驱动弹簧与该衬底连接，该检测质量通过至少一个检测弹簧与该驱动框架连接，该第一活动元件能被激励至平行于该衬底表面的驱动振动，并且该第一检测质量能垂直于该衬底表面偏移。
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公开(公告)号：CN101563616B
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN200780047165.2
申请日：2007-10-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0814
Abstract: 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。
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公开(公告)号：CN101443665B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200780017616.8
申请日：2007-04-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0831
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，具有一振动质量(1)及一基底(13)，该振动质量具有一个第一翼及第二翼(2，3)，这些翼可绕至少一个扭转桥接件(4)转动，其中，这些翼(2，3)的构造使得基于这些翼的质量分布在所述至少一个扭转桥接件(4)上施加不同的转矩。所述振动质量(1)及基底(13)的构造使得对于一扭转及对于在相反方向上的一量值上相等的扭转在所述至少一个扭转桥接件(4)上引起量值上相等的阻尼转矩。
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公开(公告)号：CN101903740A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880121428.4
申请日：2008-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种具有衬底和第一科氏元件的偏航率传感器，其中，设有用于激励所述第一科氏元件在第一方向上振动的激励装置，其中，设有用于检测所述第一科氏元件在与所述第一方向基本上垂直的第三方向上的第一偏移的第一检测装置，其特点在于，所述第一科氏元件构造为等臂梁。
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