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公开(公告)号:CN100562784C
公开(公告)日:2009-11-25
申请号:CN200710182037.0
申请日:2007-10-24
申请人: 爱德牌工程有限公司
IPC分类号: G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
摘要: 本发明公开了一种用于附着基板的设备,该设备在上腔室与下腔室之间设置有缓冲件。该缓冲件减少了对腔室之间的密封空间进行真空排气期间施加于升降装置的载荷。因此,可以减小施加于升降螺杆以及支撑腔室的框架上的力,从而延长基板附着设备的使用寿命,并延长更换部件的周期。而且,通过利用固定装置将升降部件连接于外框架,可以增大升降部件的下腔室支撑力。结果,下腔室被稳定地固定,从而可以减少基板附着过程中的不足。
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公开(公告)号:CN100550283C
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200510107980.6
申请日:2005-09-30
申请人: 爱德牌工程有限公司
摘要: 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备,用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖,以确保所述上盖的容易的开/闭操作。
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公开(公告)号:CN100526949C
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200710151646.X
申请日:2004-11-24
申请人: 爱德牌工程有限公司
IPC分类号: G02F1/1333 , G02F1/13
摘要: 基片组合设备和方法使用由于重力而导致的下降和由于压力差而导致的吸收。基片组合设备包括:真空室,其内部压力通过对闸阀的操作来控制;上基板,用于通过真空吸收将基片安装在真空室内部的顶部上;以及下基板,用于将上表面施加了密封材料的基片固定于真空室内部的底部。所述上基板包括基片下落装置,其使基片下降。
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公开(公告)号:CN100521080C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200710138189.0
申请日:2005-09-30
申请人: 爱德牌工程有限公司
摘要: 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备,用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖,以确保所述上盖的容易的开/闭操作。
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公开(公告)号:CN101452870A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200810172097.9
申请日:2008-10-30
申请人: 爱德牌工程有限公司
发明人: 黄载锡
IPC分类号: H01L21/683 , G02F1/1333
CPC分类号: H01L21/6831 , H01L21/67092
摘要: 本发明提供了一种静电夹具和具有该静电夹具的设备。该静电夹具可以在制造平板显示器面板的衬底组装工艺中吸引衬底。用弹性材料制成的弹性层可以设在静电夹具的基底部中,防止由于外力造成的非均匀应力分布在衬底上,因此保持衬底的平整度,提高组装后衬底的质量。该静电夹具可包括设在基底部上表面上面的静电力发生部,该静电力发生部包括绝缘层、电极层和介电层。基底部可设有用具有弹性恢复力的弹性材料制成的弹性层。
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公开(公告)号:CN101382683A
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200810126716.0
申请日:2008-06-20
申请人: 爱德牌工程有限公司
IPC分类号: G02F1/1333 , B32B37/12
摘要: 一种衬底贴合设备,包括:第一室,第一室包括第一表面板,在第一表面板上接收第一衬底;表面板升降机,用于升起第一表面板;第二室,第二室包括第二表面板,在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底;至少一处胶粘剂,包含于第一表面板用来附着到第一衬底;以及胶粘剂升降机,用于独立地升起胶粘剂。
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