用于附着基板的设备
    41.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100562784C

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200710182037.0

    申请日:2007-10-24

    发明人: 黄载锡 金东建

    摘要: 本发明公开了一种用于附着基板的设备,该设备在上腔室与下腔室之间设置有缓冲件。该缓冲件减少了对腔室之间的密封空间进行真空排气期间施加于升降装置的载荷。因此,可以减小施加于升降螺杆以及支撑腔室的框架上的力,从而延长基板附着设备的使用寿命,并延长更换部件的周期。而且,通过利用固定装置将升降部件连接于外框架,可以增大升降部件的下腔室支撑力。结果,下腔室被稳定地固定,从而可以减少基板附着过程中的不足。

    基片组合设备和方法
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100526949C

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200710151646.X

    申请日:2004-11-24

    IPC分类号: G02F1/1333 G02F1/13

    摘要: 基片组合设备和方法使用由于重力而导致的下降和由于压力差而导致的吸收。基片组合设备包括:真空室,其内部压力通过对闸阀的操作来控制;上基板,用于通过真空吸收将基片安装在真空室内部的顶部上;以及下基板,用于将上表面施加了密封材料的基片固定于真空室内部的底部。所述上基板包括基片下落装置,其使基片下降。

    静电夹具和具有该静电夹具的设备

    公开(公告)号:CN101452870A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200810172097.9

    申请日:2008-10-30

    发明人: 黄载锡

    IPC分类号: H01L21/683 G02F1/1333

    CPC分类号: H01L21/6831 H01L21/67092

    摘要: 本发明提供了一种静电夹具和具有该静电夹具的设备。该静电夹具可以在制造平板显示器面板的衬底组装工艺中吸引衬底。用弹性材料制成的弹性层可以设在静电夹具的基底部中,防止由于外力造成的非均匀应力分布在衬底上,因此保持衬底的平整度,提高组装后衬底的质量。该静电夹具可包括设在基底部上表面上面的静电力发生部,该静电力发生部包括绝缘层、电极层和介电层。基底部可设有用具有弹性恢复力的弹性材料制成的弹性层。

    荧光灯的焙烧设备
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101391863A

    公开(公告)日:2009-03-25

    申请号:CN200810127013.X

    申请日:2008-06-18

    发明人: 李俊浩

    IPC分类号: C03C17/00 C03B35/26

    摘要: 一种焙烧设备包括:至少一个炉;至少一个运输器,用于在所述炉附近传送包含至少一个荧光灯泡的石英管;以及石英管保持件,用于保持所述运输器上的所述石英管。所述设备还可以包括旋转器件,用于旋转由石英管保持件保持的石英管。该旋转器件可以包括与所述石英管滚动接触的至少一个辊。

    衬底贴合设备和方法
    50.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101382683A

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200810126716.0

    申请日:2008-06-20

    IPC分类号: G02F1/1333 B32B37/12

    摘要: 一种衬底贴合设备,包括:第一室,第一室包括第一表面板,在第一表面板上接收第一衬底;表面板升降机,用于升起第一表面板;第二室,第二室包括第二表面板,在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底;至少一处胶粘剂,包含于第一表面板用来附着到第一衬底;以及胶粘剂升降机,用于独立地升起胶粘剂。