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公开(公告)号：CN1988080A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN1831579A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610059745.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08 , H01L29/84 , G01P15/125 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/033
Abstract: 本发明提供梳齿电极对的制造方法。该方法由材料衬底制造一对梳齿电极，该材料衬底包括第一导电层、第二导电层以及位于第一导电层与第二导电层之间的绝缘层。该对梳齿电极包括第一梳齿电极和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体以及由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。
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公开(公告)号：CN1782778A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510125068.3
申请日：2005-11-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本发明提供一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括：振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合，还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。
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公开(公告)号：CN1650214A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN02829427.0
申请日：2002-08-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。
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公开(公告)号：CN103843089A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201180073760.X
申请日：2011-10-19
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01L28/60 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0078 , H01H2059/0045 , H01H2059/0072 , H01L21/6835 , H01L21/687 , H02N1/006
Abstract: 提供能够抑制因热膨胀而引起的可动电极位移的可动电气设备。可动电气设备具有：支撑衬底；第一以及第二固定电极，其形成于支撑衬底上，具有相对于支撑衬底的表面大致垂直的相向电极面，在相向电极面之间划定内腔；可动部，其具有可动电极和弯曲弹簧部，可动电极的第一端接近第一固定电极，第二端接近第二固定电极，弯曲弹簧部与可动电极的第一端、第二端的至少一方连续，且包含向可动电极的厚度方向弯曲的部分；第一、第二固定件，其配置在支撑衬底上，支撑可动部的两端。
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公开(公告)号：CN102074352B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010537486.4
申请日：2010-11-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2039 , H01P3/081
Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块，可变分布常数线路包括衬底；信号线路，其设置在该衬底上，且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分；可移动电极，其设置在该衬底上方，且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分；以及驱动电极，其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上，通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极，且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN101894808B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010184335.5
申请日：2010-05-21
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B7/007 , B81B2201/014 , H01L2224/16225 , H01L2924/1461 , H01L2924/16195 , H01L2924/19041 , H01L2924/30105
Abstract: 本发明提供了一种电子装置及其制造方法。该电子装置包括衬底；设置在衬底上方的可移动电极；设置为面向可移动电极的静止电极；设置在衬底上并且围绕可移动电极和静止电极的墙部分；膜构件，其固定到在可移动电极和静止电极上方的墙部分，并且膜构件密封包括可移动电极和静止电极的空间；以及支撑部分，除了可移动电极和静止电极之外，还将支撑部分设置在衬底上的墙部分的内侧，以从空间的内部支撑膜构件。
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公开(公告)号：CN101226856B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。
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公开(公告)号：CN101752088B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN200910221923.9
申请日：2009-11-23
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了可变电容元件。可变电容元件包括：基板；设置在基板上的信号线；设置为横跨信号线并且具有被固定到基板的第一端和第二端的可移动电极；以及设置在可移动电极两端中的至少一个与基板之间的固定电容部分。
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公开(公告)号：CN101552094B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200810185049.3
申请日：2008-12-26
Abstract: 本发明涉及一种电子组件，该电子组件包括：多层陶瓷基底，所述多层陶瓷基底具有在其中形成的穿透电极，并且具有在其上表面上提供的无源元件；绝缘膜，所述绝缘膜被提供在所述多层陶瓷基底上，并且具有在所述穿透电极上方的开口；第一连接端子，所述第一连接端子被提供在所述绝缘膜上以覆盖所述开口，并且被电连接到所述穿透电极；以及第二连接端子，所述第二连接端子被提供在所述绝缘膜的区域上，所述区域不同于所述开口区域。其中，所述穿透电极的上表面被定位为相比所述多层陶瓷基底的所述上表面具有一个突起量，该穿透电极的突起量差不多等于所述绝缘膜的膜厚度，从而使所述第一连接端子的高度差不多等于所述第二连接端子的高度。
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