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公开(公告)号：CN103373701B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310147950.2
申请日：2013-04-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： S·平特
CPC分类号： B81C1/00134 , B81B3/0018 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C1/00317
摘要： 本发明提供一种用于制造用于MEMS装置的光学窗装置的方法，其具有以下步骤：在具有凹槽的衬底上施加由透明材料构成的层；使所述层变形，从而所述层被折叠并且所述层的经变形的区域构成光学窗。
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公开(公告)号：CN106461936A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580031689.7
申请日：2015-05-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/004 , B81B3/0051 , B81B2201/042 , G02B26/105 , H04N9/312 , B81B2201/04
摘要： 本发明公开了一种微镜组件，所述微镜组件具有弹性悬挂的镜；具有至少一个止挡装置，该止挡装置构造成用于在所述镜从该镜的静止位置出发沿预给定方向运动时限制所述镜的运动。此外，本发明公开了一种投影装置。
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公开(公告)号：CN106415328A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580032930.8
申请日：2015-05-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： S·平特
IPC分类号： G02B1/11
摘要： 用于在透明衬底(10)中制造纳米结构(11)的方法，该方法具有如下步骤：a)以限定的厚度将第一结构载体层(20)涂覆到衬底(100)的至少一个表面上；b)将纳米结构(21)构造到第一结构载体层(20)中；和c)氧化第一结构载体层(20)。
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公开(公告)号：CN102313986B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201110133059.4
申请日：2011-05-18
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/008 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154
摘要： 本发明涉及一种用于微振动装置、尤其是微振动镜的连接结构，其中，所述连接结构一方面能与微振动结构并且另一方面能与弹簧元件至少间接地连接，以测量所述微振动结构的扭转，所述微振动结构包括：至少一个、尤其至少两个、优选三个平行于所述微振动结构的旋转轴线布置的臂；和至少一个另外的垂直于所述旋转轴线布置的臂，其中，所述连接结构的平行于所述旋转轴线的延伸尺寸具有所述连接结构的垂直于所述旋转轴线的延伸尺寸的至少两倍半、尤其至少三倍；和至少一个用于测量所述连接结构的扭转的电阻元件，其中，所述电阻元件布置在连接结构的在扭转时机械应力提高的区域中。
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公开(公告)号：CN103373701A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310147950.2
申请日：2013-04-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： S·平特
CPC分类号： B81C1/00134 , B81B3/0018 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C1/00317
摘要： 本发明提供一种用于制造用于MEMS装置的光学窗装置的方法，其具有以下步骤：在具有凹槽的衬底上施加由透明材料构成的层；使所述层变形，从而所述层被折叠并且所述层的经变形的区域构成光学窗。
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公开(公告)号：CN102570766A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110404045.1
申请日：2011-12-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G02B26/085 , G02B26/105 , H02K33/18 , H02K41/0354
摘要： 本发明涉及一种具有板(3)和磁体弓形件的磁性致动器，板绕至少一个第一旋转轴线(4)可旋转地被支承，磁体弓形件设置在板(3)下方，其中，板(3)具有主延伸平面，旋转轴线(4)平行于主延伸平面，板(3)平行于主延伸平面具有至少一个导体回线(10，10a，10b)，磁体弓形件具有U形的、传导磁通的轨(1)和硬磁体(2)，硬磁体的磁化垂直于U形开口，磁体弓形件和板(3)相互对齐，使得磁体弓形件的开口指向板(3)的主延伸平面，U形的、传导磁通的轨(1)具有平行于第一旋转轴线(4)的主延伸方向，板(3)通过对至少一个导体回线(10，10a，10b)的通电能绕至少一个旋转轴线(4)偏转。本发明此外涉及一种具有这样的磁性致动器的微镜以及一种具有至少一个这样的微镜的双镜系统。
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公开(公告)号：CN101512200B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200780032495.4
申请日：2007-07-10
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： F16K7/00
CPC分类号： F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0057 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , F16K2099/0094 , Y10T29/49405
摘要： 本发明涉及一种用于加工控制流体流的微机械结构部件的方法以及按照这种方法加工的结构部件。用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法包括下列步骤：通过在载体层(2)的表面(2a)上构成位于薄膜下面的从相同表面开始的空穴(3，3a)来加工可振动薄膜(4，4a)，通过中间层(6)覆盖载体层(2)，形成中间层(6)结构并通过封闭微机械结构部件(1)的盖层(11)而覆盖中间层(6)。其特征在于，这样形成中间层(16)的结构，使得在薄膜(4，4a)上产生流体阀(14，17)的密封部件(8，18)，它封闭和/或包围在盖层(11)中构成的阀孔(12，22)。
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公开(公告)号：CN102026909A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200880129170.2
申请日：2008-12-02
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 提出一种用于制造芯片(1，2)的方法，其中，首先在半导体衬底(10)的表面层中生成至少一个跨越空穴(13)的薄膜(11，12)。随后将芯片(1，2)的功能性集成到所述薄膜(11，12)中。为了将芯片(1，2)分成单个，将薄膜(11，12)从衬底接合部脱开。根据本发明，应当在将芯片(1，2)从衬底接合部脱出之前在电镀工艺中对芯片背面进行金属化。
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公开(公告)号：CN101990737A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200880128512.9
申请日：2008-12-04
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： 本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82)，该电极梳具有至少一个电极指，对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a，90a)的第一电极指子单元(88，90)和具有第二中心纵轴线(88a，90a)的第二电极指子单元(88，90)，其中，所述第二中心纵轴线(88a，90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a，90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜，本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号：CN118202434A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202280072919.4
申请日：2022-10-20
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供一种继电器，其具有：壳体；具有MEMS开关的微机电部件，即MEMS部件，所述MEMS开关能够在两个稳定状态之间切换。此外，继电器包括专用集成电路部件，即ASIC部件，所述ASIC部件与所述MEMS部件一起布置在所述壳体中。所述ASIC部件构造为用于，控制所述MEMS开关和/或监测所述MEMS开关的功能性。
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