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公开(公告)号：CN100375914C
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200410102355.8
申请日：2004-09-30
申请人： 日本航空电子工业株式会社
CPC分类号： G02B6/3584 , B81B3/0083 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , G02B6/122 , G02B6/136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3596 , G02B26/0841
摘要： 本发明涉及微光学装置。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。
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公开(公告)号：CN101004478A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710003929.X
申请日：2004-09-30
申请人： 日本航空电子工业株式会社
CPC分类号： G02B6/3584 , B81B3/0083 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , G02B6/122 , G02B6/136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3596 , G02B26/0841
摘要： 本发明涉及微光学装置制造方法。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。
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公开(公告)号：CN1226650C
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN00811629.6
申请日：2000-08-01
申请人： ADC电信股份公司
发明人： N·张
CPC分类号： G02B6/357 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , B81C2201/0109 , B81C2203/0136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/3584 , H02N1/008
摘要： 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100)，以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例，光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动，并且在不施加力时，梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。
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公开(公告)号：CN1555339A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
申请人： 株式会社尼康
CPC分类号： G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
摘要： 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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公开(公告)号：CN1319557A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN01112015.0
申请日：2001-03-27
申请人： 克罗诺斯集成微系统公司
发明人： 维加亚库马·鲁卓帕·德胡勒 , 爱德华·阿瑟·希尔
CPC分类号： G02B6/3564 , B81B3/0054 , B81B2201/045 , B81B2203/0118 , G02B6/353 , G02B6/3552 , G02B6/357
摘要： 一微型电子机械装置,包括有第一和第二光纤的基片。一光学快门以机械方式与由支承结构支承的多个第一拱形横梁相连。在该快门的第一侧提供多个第二拱形横梁。一第一制动部件与之相连,且在其松弛时接触并限制快门沿±y方向移动,但在其沿－x方向移动时释放该快门。最好在该快门的第二侧提供多个第三拱形横梁,与之相连的第二制动部件在其松弛时也接触并限制快门沿±y方向移动,但在其沿+x方向移动时释放该快门。
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公开(公告)号：CN106796347A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580054043.0
申请日：2015-09-25
申请人： 华为技术有限公司
发明人： 阿兰·弗兰克·格拉维斯
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B7/008 , B81B7/02 , B81B2201/045 , G01D5/30
摘要： 一种控制微机电系统(MEMS)光子交换机的方法，该方法包括：对所述MEMS光子交换机的第一镜阵列的初始镜的电极施加电压，并点亮控制光束。该方法还包括使所述控制光束从所述初始镜反射，以在MEMS光子交换机的第二镜阵列上形成控制束斑，检测所述控制束斑的初始位置以产生初始光响应。另外，该方法包括当所述控制束斑的速度不为零时，根据所述初始光响应调整所述电压。
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公开(公告)号：CN103336360B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310236708.2
申请日：2006-02-23
申请人： 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC分类号： G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
摘要： 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN105102371A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480007653.0
申请日：2014-01-15
申请人： 皮克斯特隆尼斯有限公司
发明人： 哈维尔·维拉里尔 , 蒂莫西·J·布罗斯尼汉 , 贾斯珀·洛德维克·斯泰恩 , 理查德·S·佩恩 , 斯蒂芬·R·刘易斯
CPC分类号： G02B26/02 , B81B3/007 , B81B2201/045 , B81B2203/0163 , B81B2203/051 , B81C2201/053 , B81C2201/112 , G02B26/023 , G09G3/22
摘要： 本发明提供用于快门组合件的相对较薄且不太硬的顺应性梁的系统、方法及设备。在将所述快门组合件从牺牲模具释放之前在所述快门组合件之上沉积保护涂层并图案化所述保护涂层，所述快门组合件形成于所述牺牲模具之上。因为所述顺应性梁的一些主要表面接触所述牺牲模具，所以这些主要表面并未涂布有所述保护涂层。因此，当最后释放所述快门组合件时，所述所得顺应性梁相对较薄且不太硬，从而提供用以操作所述快门组合件的致动电压的减小。在一些情况下，在释放之前将所述保护涂层图案化成不连续片段。
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公开(公告)号：CN103336362B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310236895.4
申请日：2006-02-23
申请人： 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC分类号： G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
摘要： 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN102841444B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210211366.4
申请日：2012-06-21
申请人： 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B7/007 , B81B2201/045 , B81C2201/0132 , B81C2201/016
摘要： 本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法，其不需要专用装置、不会使制造吞吐量降低而除去端子上的钝化膜。本发明的显示装置，包括在基板上以矩阵状配置的具有开关元件和用开关元件驱动的MEMS快门的多个像素，和在基板上配置的与外部端子连接的多个端子。MEMS快门包括：具有开口部的快门、与快门连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、和与第二弹簧连接的第二锚定部，在快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的与基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜，在多个端子的表面、以及快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的相对于基板的表面为平行方向且与基板相对的一侧的相反侧的面，不存在该绝缘膜。
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