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公开(公告)号:CN102016514A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200980114104.2
申请日:2009-04-21
申请人: 瑞尼斯豪公司
发明人: 马库斯·阿德龙 , 理查德·约翰·霍德莱斯 , 戴维·乔纳森·沃尔肖
CPC分类号: B05C11/1005 , B05C9/12 , B05C9/14 , B32B37/12 , B32B41/00 , B32B2041/04 , B41J3/407 , B41J11/002 , B41J11/46 , B41P2200/31 , B41P2233/50 , G01D5/347 , G01D5/34707 , G01D5/34746 , G01D5/34776 , G01D5/34784
摘要: 本发明公开了一种在度量标尺上施加标记的方法。所述方法包括:在临时状态下在标尺基底上定位一个或多个标记;检查定位在标尺基底上的一个或多个标记是否是可接受的;以及,最终确定可以接受的一个或多个标记,从而将可以接受的一个或多个标记转变成完成状态。
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公开(公告)号:CN1841027A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610071676.5
申请日:2006-03-28
申请人: 索尼株式会社
发明人: 田宮英明
CPC分类号: G01D5/38 , G01D5/347 , G01D5/34723
摘要: 本申请涉及位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置。通过将由光纤的弯曲和/或应力引起的偏振的单模光纤影响降至最低,位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置能够高精度地探测定点或位移,光纤用来将从光源发出的光传输到探测器。本发明提供一种位移探测装置,包括发出光的光源,聚集从光源发出的光的聚光透镜,传输由聚光透镜聚集的光的光纤,消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件,安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅,以及接收由衍射光栅衍射的光的光接收部,所测量目标的位移用光接收部接收到的衍射光的量来探测。
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公开(公告)号:CN1198113C
公开(公告)日:2005-04-20
申请号:CN01123182.3
申请日:2001-05-30
申请人: 株式会社三丰
IPC分类号: G01B11/00
CPC分类号: G01B11/002 , G01B3/205 , G01D5/347 , G01D5/34715
摘要: 斑点读出头包括向光学粗糙表面发出光的光源。从该表面散射的光包含斑点。散射光在图像检测器上成象,并被捕获和存储。接着,捕获并存储第二图像。在位移方向上以不同偏移反复地比较这两个图像。具有最高值的比较表示两次取象间产生的读出头与表面之间的位移量。读出头的光学系统包括透镜和孔径,选择孔径直径使斑点的平均尺寸约等于或大于图像检测器元件的尺寸。透镜可以是柱形透镜,该透镜能放大位移方向上的相对运动,但不会放大垂直于位移方向的方向上的相对运动。
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公开(公告)号:CN1548963A
公开(公告)日:2004-11-24
申请号:CN200310102788.9
申请日:1999-03-09
申请人: OTM技术有限公司
CPC分类号: G06F3/0317 , G01D5/347 , G01P3/366 , G01P3/806 , G01S7/4811 , G01S17/50 , G06F3/0312 , G06F3/03543 , G06F3/03545 , G06F3/03547 , G06F3/03548 , G06F3/042 , G06F3/0421 , G06F2203/0338
摘要: 一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法,它包括:用入射照明光照明表面;探测从表面反射的光以形成至少一个探测信号;以及根据上述至少一探测信号确定平行于表面的相对运动的量,其特征在于:上述的确定包含了对垂直于表面的相对运动的影响的校正。
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公开(公告)号:CN1247972A
公开(公告)日:2000-03-22
申请号:CN99110494.3
申请日:1999-07-16
申请人: 惠普公司
发明人: B·J·图利斯
IPC分类号: G01B7/04
CPC分类号: G01D5/347
摘要: 本发明一般涉及一种用来测量一物体位移的系统。在一个实施例中,本发明利用莫尔效应来精确测量一物体的位移。在这方面,将一可视图案设置于一物体上,而多个光敏传感器距可视图案均匀间隔开。光敏传感器之间的间隔稍不同于形成可视图案投影或图像的线条间隔。这使得本发明能利用莫尔效应来准确计算物体的精确位移或运动。而且,一个或更多光敏传感器列阵的各种结构和某些相互成夹角的光学器件用来测量三维的物体位移和旋转。
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公开(公告)号:CN109724635A
公开(公告)日:2019-05-07
申请号:CN201811264212.5
申请日:2018-10-26
申请人: 精工爱普生株式会社
发明人: 小西晃雄
IPC分类号: G01D5/347 , G01D5/32 , H01L21/306 , H01L21/3065
CPC分类号: G01D5/347 , G01D5/34707 , G01D5/35354 , G01D5/366
摘要: 本发明提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器,另外,提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于,具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案,所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜,所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成,所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。
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公开(公告)号:CN108603772A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201780011068.1
申请日:2017-02-10
申请人: 株式会社国际电气通信基础技术研究所
摘要: 旋转构造(10)在轴体(12)周围形成有基部部件(11)和旋转部件(13)相对的空心部(X)。设置在空心部(X)中的编码器(20)具有被检测物(21)和检测部(22)。其中,被检测物(21)与旋转部件(13)和基部部件(11)中的一部件一体旋转,物理量在圆周方向上发生变化,检测部(22)能够检测被检测物(21)的物理量,与旋转部件(13)和基部部件(11)中的另一部件一体旋转。
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公开(公告)号:CN104236606B
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201410360863.X
申请日:2014-05-16
申请人: 株式会社三丰
发明人: 木村彰秀
IPC分类号: G01D5/36
CPC分类号: G01D5/347 , G01D5/24438 , G01D5/366 , G01D5/38
摘要: 基准点检测光接收单元通过第一到第五光接收元件从基准点检测图案接收光。该第一到第五光接收元件布置在第一方向上并分别地输出第一到第五信号。基准信号发生电路输出一基准信号,该基准信号在其中通过将第一与第二信号相加而得到的信号的电平与通过将第三与第四信号相加而得到的信号的电平变为相等的周期处开始,以及在通过将该第二与第三信号相加而得到的信号与通过将该第四与第五信号相加而得到的信号的电平变为相等的周期处结束。
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