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公开(公告)号：CN110520798A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880023081.3
申请日：2018-03-23
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。
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公开(公告)号：CN106415396B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201580027187.7
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
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公开(公告)号：CN108139680A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057222.4
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。
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公开(公告)号：CN108139678A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057195.0
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/20 , G03F7/203 , G03F7/2037 , G03F7/70475 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/7085 , H01L21/68
Abstract: 使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。
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公开(公告)号：CN103782239B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201280042608.X
申请日：2012-08-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70716
Abstract: 本发明的对基板(P)进行曝光处理的曝光装置，具备：具有将基板(P)的一部分在确保平坦度的状态下保持的基板保持具(PH)、相对曝光位置(曝光区域(IA))于X轴方向移动的微动载台与将基板(P)驱动于XY平面内的Y轴方向的基板Y步进运送装置(88)。此场合，以基板保持具(PH)在确保平坦度的状态下保持基板(P)的一部分的微动载台相对曝光区域(IA)的X轴方向移动，在使用基板Y步进运送装置(88)的基板(P)于Y轴方向移动的前后进行，据以进行对基板(P)上的多个区域的曝光处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107015440A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201611143637.1
申请日：2013-08-05
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707
Abstract: 本发明提供移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法和器件制造方法。曝光方法包含如下步骤：使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。
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公开(公告)号：CN106873313A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201611001027.8
申请日：2012-05-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。
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公开(公告)号：CN106019852A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610497314.6
申请日：2011-03-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。
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公开(公告)号：CN105842994A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610289122.6
申请日：2011-09-05
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除装置(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除装置(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)系涵盖重量消除装置(40)于X轴方向的移动范围延设于X轴方向，因此重量消除装置(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。
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公开(公告)号：CN105388710A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510574172.4
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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