一种制备硅微悬梁无铅压电厚膜执行器的方法

    公开(公告)号:CN101323427A

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200810047178.6

    申请日:2008-03-28

    IPC分类号: B81C1/00 B01F3/08

    摘要: 本发明公开了一种制备硅微悬梁无铅压电厚膜执行器的方法,包括:①硅片清洗,生长二氧化硅和氮化硅层;②刻蚀硅片背面腐蚀窗口后刻蚀硅微桥;③采用剥离工艺制备Pt/Ti下电极;④印刷法制备无铅压电厚膜并进行抛光;⑤沉积Au上电极并对其湿法刻蚀,最后去掉微桥一端得到悬梁。本发明的优点是:结构、工艺简单,低的驱动电压,更大的位移,响应速率快,谐振频率高;采用致密的无铅压电膜,无毒环保,符合当前电子材料与器件的发展趋势;用途广泛,可用作各种微夹持、驱动的执行部件,改变尺寸参数也可用于微传感器。

    一种制备热释电陶瓷的方法

    公开(公告)号:CN1927766A

    公开(公告)日:2007-03-14

    申请号:CN200610124643.2

    申请日:2006-09-27

    IPC分类号: C04B35/493 C04B35/622

    摘要: 本发明公开了一种制备热释电陶瓷的方法,包括:①将MgO和Nb2O5按质量比1∶1混合均匀,保温合成MgNb2O6;②根据化学式Pb1+d[(ZrxTi1-x)1-y(Mg1/3Nb2/3)y]O3+z at%Mn,0.65≤x≤0.95,0≤y≤0.3,0≤d≤0.1,0≤z≤5,将MgNb2O6与PbO、ZrO2、TiO2和Mn(NO3)2溶液混合,Mn(NO3)2溶液的质量浓度为2%;③将混合物预烧后进行粉碎、过筛、预成型和成型,再保温烧结,烧结采用双坩埚密封气氛叠烧,使烧结过程在饱和铅气氛中进行;④将烧结后的材料进行磨片、清洗、被银和烧电极;⑤将材料放在100~120℃硅油中加3~5KV/mm电场极化15~30分钟,然后保压冷却至室温。本发明以Mn(NO3)2溶液的形式进行了有效的锰掺杂,制备出的PMN-PZT热释电陶瓷具有高的热释电系数,低的介电损耗和合适的介电常数,具有良好综合热释电性能,符合制作热释电红外探测器的要求。

    一种铌酸钾钠基压电陶瓷制备及烧结方法

    公开(公告)号:CN116102351A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211681299.2

    申请日:2022-12-27

    摘要: 本发明公开一种铌酸钾钠基压电陶瓷制备及烧结方法,包括以下步骤:准备原料K2CO3、Na2CO3、Nb2O5、CaCO3、ZrO2、Bi2O3、HfO2、Li2CO3;将全部原料进行一次球磨得到陶瓷粉体,再将陶瓷粉体烘干;将烘干后的陶瓷粉体进行预烧;将预烧后的陶瓷粉体进行二次球磨,再烘干得到陶瓷预烧粉体;将造粒后的陶瓷预烧粉体装入石墨模具中并压片;将石墨模具放置在SPS烧结炉中进行加压加热成型,形成陶瓷块体;冷却石墨模具;将得到的陶瓷块体退火,消除SPS烧结过程中表面产生的碳化层,最后得到高致密度的铌酸钾钠陶瓷。本发明的目的为针对陶瓷材料要求无铅化,铌酸钾钠陶瓷致密性差,烧结温度高的问题所提出。

    一种择优取向多孔压电陶瓷及其制备方法

    公开(公告)号:CN116096204A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211706710.7

    申请日:2022-12-29

    IPC分类号: H10N30/093 H10N30/853

    摘要: 本发明公开了一种择优取向多孔压电陶瓷及其制备方法,属于功能陶瓷材料领域,具体为将模板诱导压电陶瓷择优取向的流延成型工艺结合光固化3D打印技术。同时本发明还公开了利用上述工艺制备得到的择优取向多孔压电陶瓷。本发明基于择优取向压电陶瓷与数字光成型3D打印成型原理的相似性,通过压电陶瓷择优取向与有序多孔化显著提升压电陶瓷压电电压常数。

    应用于空气耦合压电超声探头的背衬材料、背衬及其制备方法

    公开(公告)号:CN115508456A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202210918013.1

    申请日:2022-08-01

    IPC分类号: G01N29/24 G01N29/22

    摘要: 本发明公开了一种应用于空气耦合压电超声探头的背衬材料、背衬及其制备方法,其由以下质量百分比的组分组成:E51环氧树脂40~70wt%,固化剂10~20wt%,谷氨酸钠20~40wt%。其制备方法为:(1)将E51环氧树脂、固化剂与谷氨酸钠搅拌均匀,得到悬浮液;(2)放置于0.08MPa的真空干燥箱中15min,除去气泡;(3)将压电陶瓷片放入模具中,再将除去气泡后的悬浮液倒入模具,在80℃烘干3h使将E51环氧树脂固化,制得压电陶瓷片的背衬,然后对背衬进行打磨;(4)将打磨后复合了背衬的陶瓷片放入温水中,背衬中的谷氨酸钠溶解,制得应用于超声探头的背衬。本发明所制的背衬中有较低的声阻抗,拥有较高的灵敏度,声学性能佳。

    一种光固化陶瓷3D打印材料铺料装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN113878690B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202111142894.4

    申请日:2021-09-28

    摘要: 本发明提供了一种光固化陶瓷3D打印材料铺料装置及其使用方法,包括料槽和活动机构以及驱动机构,料槽内底部连接有四个结构相同的条形楔块,条形楔块上设有斜面;活动机构包括第一刮刀、第一弹性机构、第一伸缩杆、第二刮刀、第二弹性机构、第二伸缩杆、承接板以及按压式弹性自锁装置,第一刮刀上固接有两个第一球头柱销,第二刮刀上固接有两个第二球头柱销;第一弹性机构包括第一光轴、第一弹性件以及第一直线承轴,第二弹性机构包括第二光轴、第二弹性件以及第二直线承轴,两个按压式弹性自锁装置连接于承接板上,第一伸缩杆一端和第一刮刀固接,第二伸缩杆一端和第二刮刀固接;驱动机构和承接板连接。本发明能够提高打印精度。

    一种用于骨肿瘤治疗的磁电耦合支架及其制备方法

    公开(公告)号:CN114085097A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111394579.0

    申请日:2021-11-23

    摘要: 本发明属于骨肿瘤医疗设备相关技术领域,其公开了一种用于骨肿瘤治疗的磁电耦合支架及其制备方法,该方法包括以下步骤:(1)基于待制备支架的三维模型增材制造压电陶瓷素坯,并将所述压电陶瓷素坯进行极化处理以得到压电陶瓷支架;(2)将压电陶瓷支架浸入涂覆浆料中,待压电陶瓷支架的表面附着涂覆浆料后进行烧结以得到磁电耦合支架;其中,所述涂覆浆料的组分包括高分子聚合物溶液及具有磁热效应的磁性材料。本发明大大地提升了治疗效率,且制备方法简单,易于操作,材料来源广,可实现骨肿瘤的无创性治疗,其热‑电协同治疗机制将显著增强骨肿瘤治疗效果。

    一种湿式含氨酸性气体中氨和硫化氢的检测方法

    公开(公告)号:CN102539569B

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201210001012.7

    申请日:2012-01-04

    IPC分类号: G01N30/02

    摘要: 本发明提供了一种湿式含氨酸性气体中氨和硫化氢的检测方法,本发明用氢气稀释样气,使样气中氨和硫化氢组份的浓度降到饱和结晶浓度以下,解决了生成复合铵盐固体而堵塞系统的问题,同时因为稀释气体氢气为色谱用载气,在色谱图中不出峰,其对样气的稀释度不会影响分析结果,可以分析高含量气体。由于对样气进行了深度脱水处理,大大减小了样气中硫化氢组份对分析系统的腐蚀,保证了仪器长期稳定操作。采用高分子多孔微球色谱柱,使混合气体中的氨和硫化氢含量可以用气相色谱仪一步分析完成,分析快速,结果准确可靠,操作简便安全,可用于炼油厂硫磺回收装置含氨酸性原料气中氨和硫化氢含量的测定,以及焦化厂和氮肥厂等相关气体体系的分析。