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公开(公告)号：CN117525793A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311626372.0
申请日：2023-11-30
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出了一种太赫兹时域微分器，包括微分功能芯片和芯片封装盒，微分功能芯片包括回音壁模式微环波导、直波导、第一锥形耦合波导、第二锥形耦合波导和衬底，其中：直波导位于回音壁模式微环波导的一侧，回音壁模式微环波导和直波导构成了单跑道型的回音壁模式微环谐振腔，对直波导传输的特定频率的太赫兹信号产生谐振并进行时域微分；第一、二锥形耦合波导位于直波导两端，分别作为太赫兹时域微分器的输入和输出端口；衬底用于集成制备回音壁模式微环波导、直波导和第一、二锥形耦合波导。本发明提高了对太赫兹信号处理的速率，实现了对高速太赫兹信号的微分处理。
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公开(公告)号：CN116995112A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310765114.4
申请日：2023-10-08
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/024 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y40/00 , B82Y15/00
Abstract: 本发明公开了一种带有悬浮桥结构的高灵敏度SNSPD，在热氧化硅衬底上，使用反应磁控溅射制备NbN薄膜；在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ1500，使用深紫外曝光的方式绘制电极图形，使用Ti薄膜和Au薄膜来制备电极；在Ti薄膜和Au薄膜上，通过电子束曝光的方式绘制纳米线图形；利用反应离子刻蚀的方式，去除未被保护的NbN薄膜，进而制备出纳米线；在NbN薄膜上旋涂光刻胶AZ4620，利用深紫外曝光的方式制备刻蚀的窗口；根据所需要的灵敏度要求确定出悬浮桥的尺寸，通过控制刻蚀的时间，去除纳米线下方的硅衬底，从而形成具有不同尺寸悬浮桥的结构。本发明结构简单，能够明显调控SNSPD的探测灵敏度，并且这种结构也不会降低探测器的其他性能。
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公开(公告)号：CN116981341A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310700763.6
申请日：2023-06-13
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开一种超导约瑟夫森探针的制备方法，对带凹槽的石英毛细管进行表面处理；激光熔融拉制带槽石英纳米针尖；采用直流磁控溅射对带槽石英纳米针尖左侧和右侧分别进行超导薄膜的蒸镀，获得探针的左电极和右电极；采用直流磁控溅射正对纳米针尖顶部进行超导薄膜的蒸镀，形成两个并联的微桥型超导约瑟夫森结，完成超导约瑟夫森探针的制备。本发明有效解决了电子束蒸发难以制备高熔点超导材料如铌/氮化铌基约瑟夫森探针的问题，突破了直流磁控溅射制备约瑟夫森探针方向性差的限制，有效降低了直流磁控溅射制备约瑟夫森探针的难度，有效扩展了可用于制备超导约瑟夫森探针的超导薄膜种类，有效提高了约瑟夫森探针在高频检测方面的性能。
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公开(公告)号：CN116659672A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310403451.9
申请日：2023-04-17
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超导纳米线单光子探测器的光子偏振态测量系统及方法，包括：光学回路，用于将输入激光依次调制为水平偏振光、垂直偏振光，45°线偏振光、圆偏振光、以及八个不同四分之一波片偏置角度时的偏振光；读出电路部分，用于读取探测器在每种偏振光入射条件下的响应脉冲数量和光强值；系统效率计算模块，用于将响应脉冲数量和光强值转换为系统效率；入射光子偏振态计算模块，用于利用探测器在水平偏振光、垂直偏振光，45°线偏振光、圆偏振光入射条件下的系统效率，计算得到探测器和制冷机中光纤的双折射参数，再利用探测器和制冷机中光纤的双折射参数和探测器在八个不同四分之一波片偏置角度时的偏振光入射条件下的系统效率，得到入射光的偏振状态。
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公开(公告)号：CN116526092A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202211488028.5
申请日：2022-11-25
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法，所述滤波器由铝箔纸组成，铝箔纸上有重复结构单元，结构单元由三条槽孔组成，呈“Y”型，结构单元之间的距离为100‑200μm，槽孔的宽度为20‑70μm，长度为30‑80μm；制备方法为：(1)将铝箔纸的下表面粘接于衬底上，再在其上表面涂覆光刻胶，再进行加热固化；(2)再对加热固化后的铝箔纸进行曝光，将光掩模板置于铝箔纸上表面的光刻胶上；(3)采用显影液对曝光后的光刻胶进行显影；(4)将显影后的铝箔纸置于弱碱性溶液中进行刻蚀；(5)将经刻蚀处理后的铝箔纸下表面上的衬底进行剥离处理，即得太赫兹带通滤波器。相较于现有技术，本发明太赫兹带通滤波器具有成本低、制备工艺简单且损耗少的优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116047831A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211641812.5
申请日：2022-12-20
Applicant: 南京大学
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明公开了一种基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，包括器件部件和器件部件前的光学控制系统，所述器件部件包括石英衬底，生长在石英衬底上表面的二氧化钒薄膜，用于加热的铜板和所述的石英衬底与铜板间用于优化热接触的导热硅脂，所述光学控制系统包括用于产生泵浦激光驱动所述二氧化钒薄膜相变的泵浦激光器，用于会聚泵浦激光光束为准平行光束的会聚透镜和用于调制泵浦激光的可切换掩模。本发明还公开了一种制备上述基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的方法以及基于上述基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的光学控制方法。本发明的太赫兹波束调控器件具有工作频带宽、可重构的特点。
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公开(公告)号：CN114709579B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210353291.7
申请日：2022-04-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出了一种片上集成太赫兹功能芯片的波导封装，包括：金属上腔体封装盖、金属下腔体载片盒、置于金属下腔体载片盒上的太赫兹功能芯片，其中金属下腔体载片盒上设置波导矩形通道，与所述金属上腔体封装盖组装形成含有金属矩形波导封闭金属封装盒；所述太赫兹功能芯片安装在金属矩形波导的中心，功能芯片的传输端口置入矩形波导，将电磁场信号耦合到太赫兹功能芯片中。本发明加工简单，工艺成熟，显著降低了太赫兹集成系统的信号传输损耗，组成一体化封装的每个模块非常灵活，可以根据需要灵活调节尺寸参数，适用于多场景下的太赫兹信号片上探测与处理。
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公开(公告)号：CN112456434B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202011226273.X
申请日：2020-11-05
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于悬空微桥工艺的太赫兹探测器的制备方法，在Si和SiO2双层衬底上进行磁控溅射，生长Nb5N6热敏薄膜；在Nb5N6薄膜上旋涂光刻胶，通过深紫外曝光的方式绘制天线图形，磁控生长Au薄膜后，剥离出电极；在Nb5N6薄膜上旋涂光刻胶，通过深紫外曝光的方式绘制微桥图形，通过反应离子刻蚀法刻蚀多余的Nb5N6，形成Nb5N6薄膜微桥；在衬底表面旋涂AZ4620光刻胶，通过紫外光刻的方式在微桥两侧形成窗口，通过湿法刻刻蚀掉窗口中的SiO2，通过反应离子分步刻蚀法，先刻蚀掉窗口的部分Si，再横向刻蚀微桥下方，形成空气腔。本发明提高了工艺的稳定性和太赫兹阵列探测器的良品率。
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公开(公告)号：CN114744407A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210349957.1
申请日：2022-04-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面，包括蓝宝石衬底，生长在所述蓝宝石衬底上表面的金属结构和二氧化钒微桥，生长在所述蓝宝石衬底下表面的金属接地面及所述金属接地面和加热铜板间用于优化热接触的导热硅脂。本发明还公开了一种上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面的制备方法以及基于上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面所搭建的波束自适应调控的测试系统。本发明的智能超表面同时具有太赫兹检测和调控功能，具备尺寸小、集成度高和功能可编程定制等特点。
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公开(公告)号：CN113252167B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110544264.3
申请日：2021-05-19
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法，包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤，光纤包括纤芯和包层；光纤嵌入在玻璃插芯内，玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内，该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上；超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯；电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧；本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面，可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器，大幅度提高了超导单光子探测器的集成度，降低了工艺制作步骤，从而扩展了应用领域。
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