公开(公告)号：CN1832899A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN03826880.9

申请日：2003-06-06

Applicant: 亨斯迈先进材料(瑞士)有限公司

Inventor： J·T·拉夫恩基尔德 ,  H·亨宁森

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81C3/008 ,  B81B2201/045 ,  B81C2203/0109 ,  G02B26/02

Abstract: 本发明涉及一种光学微机电结构(MEMS)，其包括：(至少一个)光学透射层(UTL)；(至少一个)中间层结构(IL)；(至少一个)器件层(DL)，所述中间层结构(IL)限定了在所述实质光学透射层(UTL)与所述器件层(DL)之间的一个或多个光路(OP)，所述中间结构层(IL)限定了所述光学透射层(UTL)与所述器件层(DL)之间的距离(d)。

公开(公告)号：CN1679140A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN03820692.7

申请日：2003-05-30

Applicant: 硅光机器公司

Inventor： J·A·亨特

IPC: H01L21/00 ,  H01L27/14 ,  H01L29/82 ,  H01L29/84

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00531 ,  B81C2201/0132 ,  G02B26/0841

Abstract: 在一种实施方案中，微型器件是通过在金属电极上沉积牺牲层(步骤304)，在牺牲层上成形可动结构(步骤306)，然后用稀有气体氟化物腐蚀牺牲层(步骤308)而制成的。由于金属电极由金属材料构成，它同时又在对牺牲层的腐蚀中起防腐的作用，因此在金属电极中不会累积显著数量电荷。这有助于稳定可动结构的驱动特性。在一种实施方案中，可动结构是光调制器中的带状物。

公开(公告)号：CN1619351A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410102355.8

申请日：2004-09-30

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦 ,  吉田惠 ,  森惠一 ,  近藤健治 ,  滨田义彦 ,  伊卷理

IPC: G02B26/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

CPC classification number: G02B6/3584 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3596 ,  G02B26/0841

Abstract: 本发明涉及微光学装置及其制造方法。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。

公开(公告)号：CN1178083C

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN02126312.4

申请日：2002-07-18

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 宇都宫基恭

IPC: G02B6/35 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/045 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556

Abstract: 一个用于连接和切换大量光学信号的模拟光束真空光学开关，包括大量的光学装置和用于驱动光学装置的静电驱动器。各个光学装置被以中枢轴方式支撑，在光学装置和驱动电极之间施加静电电压。大量驱动电极被排列成相对于电极中心的放射状图样。各个驱动电极被设计成这样一种形状，使得规定的外边部分的电极宽度随着相对于电极中心向着外边的推进而减小。另外，各个驱动电极被设计成这样一种形状，使得规定的里边部分的电极宽度随着相对于电极中心向着里边的推进而减小。用这种方式设计驱动电极提高了微型反射镜的驱动扭转力矩特性，扩大了低电压驱动进行稳定定位的转向角范围。

公开(公告)号：CN204740399U

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201520068392.5

申请日：2015-01-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  S·康蒂

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/14 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B3/0043 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/142 ,  G03B21/2033 ,  G03B21/28

Abstract: 本实用新型涉及MEMS器件和微型投影仪。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。根据本实用新型的方案，可以使得MEMS器件的制造所需要的面积能够大幅度降低并且因此包含它们的装置特别是微型投影仪能够小型化。另外，MEMS器件可以使用目前的MEMS制造技术进行制造并且它们的制造不需要额外的成本。