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公开(公告)号：CN107615169B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201680030014.5
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明的物体保持装置具有：保持面部(60)，其具有保持基板的保持面；管路部(50)，其具有控制保持面与基板之间的气体的管路，且载置有保持面部(60)；以及基部(60)，其载置有管路部(50)。而且，在管路部(50)中，管路沿第一方向延伸，且沿与所述第一方向交叉的第二方向配置有多个。本发明的物体保持装置能够容易地进行气体管道路径的制作和基板载置面的平面度调整，具有基部(40)的结构简单，组装和维护容易的效果。
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公开(公告)号：CN111149059A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201780095240.6
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/677
Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置(100A)，其向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运所述基板(P2)，且基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在所述保持装置的上方保持所述基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向上所述保持面(TS)与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部(161A)保持的所述基板(P2)的一部分；以及驱动部(164)，以所述第一保持部(161A)自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部(184a)保持所述基板(P2)的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部(184a)与所述第一保持部(161A)相对移动。
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公开(公告)号：CN110520798A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880023081.3
申请日：2018-03-23
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。
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公开(公告)号：CN106415396B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201580027187.7
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108139680A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057222.4
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。
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公开(公告)号：CN108139678A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057195.0
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/20 , G03F7/203 , G03F7/2037 , G03F7/70475 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/7085 , H01L21/68
Abstract: 使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。
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公开(公告)号：CN103782239B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201280042608.X
申请日：2012-08-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70716
Abstract: 本发明的对基板(P)进行曝光处理的曝光装置，具备：具有将基板(P)的一部分在确保平坦度的状态下保持的基板保持具(PH)、相对曝光位置(曝光区域(IA))于X轴方向移动的微动载台与将基板(P)驱动于XY平面内的Y轴方向的基板Y步进运送装置(88)。此场合，以基板保持具(PH)在确保平坦度的状态下保持基板(P)的一部分的微动载台相对曝光区域(IA)的X轴方向移动，在使用基板Y步进运送装置(88)的基板(P)于Y轴方向移动的前后进行，据以进行对基板(P)上的多个区域的曝光处理。
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公开(公告)号：CN107015440A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201611143637.1
申请日：2013-08-05
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707
Abstract: 本发明提供移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法和器件制造方法。曝光方法包含如下步骤：使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。
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公开(公告)号：CN106873313A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201611001027.8
申请日：2012-05-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。
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