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公开(公告)号：CN1644923A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200410093425.8
申请日：2004-12-23
申请人： 上海交通大学
摘要： 利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法，属于真空技术领域。该方法是利用气体协同交换原理，向容器内多次充入置换气体后对容器抽真空。首先在需要抽真空的容器内放入吸附剂，对容器加热，使温度保持在80℃～150℃，对容器抽真空，使该容器的真空度为3.0Pa～1.0Pa。然后向抽到上述真空度的容器内充入置换气体，当容器的压力达到小于或者等于1.01325×105Pa时停止充气，同时计时，经过一定时间后对充入气体后的容器再抽真空，当容器真空度为3.0Pa～1.0Pa时，重复充入置换气体后抽真空的步骤3～5次，使容器真空度为0.03Pa～0.01Pa时，停止加热，并停止抽真空。本发明与现有的容器抽真空技术相比，可以缩短抽真空的时间，并可以长时间保持容器的真空度。
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公开(公告)号：CN1184463C
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN00132778.X
申请日：2000-11-17
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 一种钛泵检漏仪，包括高压开关稳压电源、量程转换，特征在于还包括：电流取样电路，将来自高压开关稳压电源的电流增量转变为电压增量；运算放大器，放大电流取样电路的电压；负载电流指示，接在运算放大器的一端，用于显示电流量；所述运算放大器的另一端有零位调整器，用于减掉漏电流。该检漏仪具有灵敏度高、检漏效率高的特点。本发明还涉及利用上述钛泵检漏仪检漏的方法。
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公开(公告)号：CN1431397A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN03112860.2
申请日：2003-02-21
申请人： 朱雷
发明人： 朱雷
IPC分类号： F04B37/02
摘要： 本发明涉及一种腔体中实现高真空度的方法及其组合机组。其特征在于：将需抽真空的腔体密封状态下与活性吸气物接触，再使腔体内残留气体与激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到10－3pa以上；组合机组包括真空度测量装置、主抽提吸气仓、副抽提吸气仓、释气单元和真空泵，所述各独立单元通过控制阀与需抽真空的腔体接口相接。本发明的优点在于：它与传统的实现腔体中高真空度的方法相比，由于它是以钠、钾、磷、钡等及其合金类吸气物为主抽提物，以锆类吸气物为副抽提物，具有方法简单，效率高，能耗低，其组合机组体积小，携带方便，且抽速快，尤其是在电力不足的野外作业时，仅凭蓄电池或干电池组就能保证机组的正常运行。
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公开(公告)号：CN1097163C
公开(公告)日：2002-12-25
申请号：CN95197522.6
申请日：1995-11-30
申请人： 萨伊斯纯汽油有限公司
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/56 , C23C14/564 , F04B37/02 , F04B37/08
摘要： 一种吸气泵模件，其包括多个设有轴孔的吸气盘，和一个从该孔中贯穿延伸的、对该吸气盘进行支撑和加热的加热元件。该吸气盘最好是实心、多孔、烧结吸气盘，提供有与加热元件相接合的钛毂。提供有一绝热护板，保护吸气盘免受腔室内热源和散热的影响，且有助于吸气盘的快速恢复。在本发明的特定实施例中，该热护板是固定的，而在另一些实施例中，该热护板是活动的。在一个实施例中，提供有一个聚焦护板，将热能自外部加热元件反射给吸气材料，且提供高的泵抽速度。本发明的一个实施例还提供了一种旋转吸气元件以提高吸气材料的利用率。
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公开(公告)号：CN1217278A
公开(公告)日：1999-05-26
申请号：CN98116077.8
申请日：1998-07-16
申请人： 赖蒙德 , 安德里斯有限责任及两合公司
发明人： 京特·奥尔
CPC分类号： B05B11/3084 , B05C17/00516 , B65D81/325
摘要： 用于液体和/或膏状介质的双腔配料器(1)配备有两个位置平行地并排的塑料容器(2、3),它们各设有一个手操纵的配料泵和有一个密封地贴靠在它们内表面的整个周边上的随动活塞。为了在椭圆形的横截面外形的情况下一方面能最佳地利用空腔容积和另一方面保证随动活塞密封地贴靠在容器壁的内表面上,令这两个容器(2、3)构成一个公共的横截面椭圆形的外套(10),以及,它们通过两个对称于椭圆短轴(12)彼此相对拱起的中央壁(14、15)互相隔开。
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公开(公告)号：CN1170441A
公开(公告)日：1998-01-14
申请号：CN95196957.9
申请日：1995-10-30
申请人： 萨伊斯纯汽油有限公司
CPC分类号： C23C14/564 , C23C14/54 , C23C14/56 , F04B37/02 , F04B37/08
摘要： 一种晶片处理系统,它包括:处理室,连到处理室用于抽吸惰性和非惰性气体的低压泵,将惰性气体源连到处理室的阀门机构,配置在处理室内的现场吸气泵、此泵在惰性气体流入处理室的过程中抽吸某些非惰性气体,处理机构、用于处理设置在处理室内的晶片。优选地是,现场吸气泵可在几个不同的温度下运行,使得能在这些温度下优选地抽吸不同种类的气体。气体分析器用于自动控制吸气泵的温度,以便控制从处理室中抽吸的气体种类。本发明的处理晶片的方法包括以下步骤:在处理室内放置晶片并密封处理室、惰性气体流入处理室而利用外部低压泵和配置在室内抽吸非惰性气体的现场吸气泵同时抽吸处理室,并且处理室内的晶片而惰性气体继续流动。该方法优选地还包括以下步骤:监测室内的气体组成并在组成分析的基础上控制吸气剂材料的温度。
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公开(公告)号：CN118891129A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380028424.6
申请日：2023-03-17
发明人： 金正生 , 彼得·卢卡斯·威廉·马恩斯
IPC分类号： B23K31/02 , F04B37/02 , G06N10/40 , B23K101/36
摘要： 本公开的各方面总体上涉及用于实现和/或操作量子信息处理(QIP)系统的系统和方法，更具体地说，涉及用于提高紧凑型室温封装中的真空的方法和系统。用于为QIP系统制备真空室的示例性方法包括：将光学窗口上具有荫罩的盖子插入处理真空室中；用吸气材料涂覆盖子的内侧；从光学窗口移除荫罩；以及在处理真空室中提供离子阱封装，并将盖子焊接在离子阱封装的顶部上以制备真空室。
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公开(公告)号：CN116066323B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202211627463.1
申请日：2022-12-16
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。
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公开(公告)号：CN118541544A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202380017116.3
申请日：2023-01-16
申请人： 托卡马克能量有限公司
摘要： 一种在处于部分真空的腔室中操作蒸发泵系统(100)的方法包括以下步骤：加热吸气剂源(102)以形成吸气剂蒸气；将所述吸气剂蒸气沉积到布置在所述腔室内的第一目标表面(106)上以形成吸气剂层(107)；和在所述腔室内提供更新的目标表面，并且所述吸气剂蒸气可以沉积到所述更新的目标表面上。在最后一步中，所述更新的目标表面通过以下步骤提供：(i)从所述第一目标表面(106)至少部分地移除所述吸气剂层(107)和存在于所述吸气剂层(107)内的任何化学吸附的产物和/或物理吸附的产物，在所述腔室内执行所述步骤；和/或(ii)在所述腔室内布置第二目标表面，其中，所述吸气剂源(102)包括锂。
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公开(公告)号：CN118030446A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410179267.5
申请日：2024-02-18
申请人： 有研工程技术研究院有限公司
摘要： 本发明公开了属于真空技术领域的一种紧凑型离子吸气复合泵。其中，离子泵单元高压电极与离子泵单元阳极筒以中圆柱孔间隙配合，并通过螺钉挤压紧密连接；离子泵单元高压电极与离子泵单元壳体连接；离子泵单元磁铁与离子泵单元屏蔽磁钢通过磁力紧密贴合；离子泵单元阴极板的四个引脚安装于离子泵单元壳体内；吸气剂泵单元吸气元件模块内部串有吸气剂泵单元加热组件，吸气剂泵单元壳体分别与离子泵单元壳体、吸气剂泵单元吸气元件模块焊接；吸气剂泵单元电极安装于吸气剂泵单元加热组件上。本发明实现了非氢气体、氢气分级吸收，可以充分发挥两个功能单元的吸气特性，降低了加工难度，且便于装配。
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