一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜

    公开(公告)号:CN107815645A

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201710972599.9

    申请日:2017-10-18

    申请人: 吉林大学

    发明人: 王文权 曹明 刘亮

    摘要: 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜,由下述原子百分比的成分组成:Cu 2at%~38at%,Al 0~12at%,MoS2余量;制备方法包括以下步骤:在磁控溅射镀膜前,在基底表面预沉积Ti或Al预结合层;金属靶材和MoS2靶材进行磁控溅射,得到低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜。本发明改良了二硫化钼固体润滑膜与金属添加剂结合的成分体系,解决了二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题,提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性,并延长了薄膜的使用寿命。

    一种金属复合硬质膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106011753A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610555563.6

    申请日:2016-07-15

    申请人: 沈阳大学

    摘要: 一种金属复合硬质膜的制备方法,涉及一种金属膜制备方法,所述方法包括以下过程:沉积技术的确定、弧源靶材的确定、弧源个数的确定、待镀膜金属基体的选择与前处理、预烘烤工艺的确定、预轰击清洗工艺的确定、钛铝铬合金过渡层的制备工艺的确定、沉积时间的确定、与沉积时间对应的反应气体分压的控制、与沉积时间对应的弧源靶弧电流的确定、与沉积时间对应的基体负偏压的确定、镀膜室温度的控制、工件架旋转镀膜;该方法保证了膜层成分从金属基体到膜层表面的准线性连续变化,降低了膜层中成分差异界面由于成分变化较大而导致的内应力,从而保证了高附着力、高硬度和高热震性的同时实现,并具有良好的稳定性。