一种二氧化钒薄膜低温沉积方法

    公开(公告)号:CN105132877A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510590007.8

    申请日:2015-09-16

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08

    CPC分类号: C23C14/08 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种低温沉积二氧化钒薄膜的方法,采用磁控溅射技术,以金属钒或钒合金为靶材,以氧气为反应气体,氩气为溅射气体;制备薄膜前,先将真空室抽至低于1×10-3Pa本底真空,然后通入氧气和氩气混合气体,氧分压保持为0.01—0.06Pa,在沉积薄膜过程中,控制沉积温度为240~260℃,并在基底添加负偏压,靶表面溅射功率密度为2-3W/cm2,在基底表面得到高性能的VO2薄膜。本发明的低温沉积方法将VO2薄膜的沉积温度低,并配合适当的负偏压及其他工艺参数制备出的薄膜均匀致密、二氧化钒相变温度低,具有良好相变性能的高性能VO2薄膜;大大降低了生产成本。