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公开(公告)号：CN101443788B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN200780017335.2
申请日：2007-05-14
CPC分类号： B23K26/046 , B23K26/048 , B23K26/0613 , B23K26/351 , G02F1/136259
摘要： 一种设备，包括：集成检查、材料去除和材料沉积功能。该设备沿着相同光轴执行检查、材料去除和材料沉积的操作。该设备部分地包括：一个照相机、一组透镜，以及一个或多个激光器。第一透镜用于经历检查时在目标基板上形成的结构上使照相机沿着光轴聚焦。如果确认为被检查结构为需要去除材料，则第一透镜还用于将激光束聚焦到该结构上以便去除其上出现的材料。如果确认被检查结构为需要材料沉积，则第二透镜用于将激光束聚焦到色带上以便从色带中形成的凹陷阱中将流变化合物转移到该结构。
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公开(公告)号：CN101536011B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN200680002968.1
申请日：2006-01-20
申请人： 光子动力学公司
发明人： 哈瑞·加拉尔达 , 史蒂文·巴恩斯 , 拉克什曼·斯瑞尼瓦森 , 韦恩·王
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G02F1/1309 , G02F1/136259 , G02F2001/136263 , G06K9/628 , G06T7/001 , G06T2207/10024 , G06T2207/30121 , G09G3/006 , G09G2330/08
摘要： 一种用于平板显示器(FPD)基底的修复系统执行多个操作，例如自动图像捕获和处理、自动缺陷分类、自动修复分类、以及修复宏(指令)产生软件。缺陷分类、修复分类和修复宏的产生基于开放的架构，并且，通过使用多层分类器可处理任何数量的使用情况，并因此可在单一的修复工具中实现对多种面板设计的修复。分类器的多层集合，例如缺陷分类器和修复分类器，能够实现具有定制能力的高效的判定修复过程。多层分类器可在支持缺陷和相关工具的数据库的情况下，任意地扩展以支持统计学习(在线与批学习)和主动学习。通过将操作者学习到的判断缺陷或修复时所需要的经验进行合并，分类器和方案规则可随时间自动或半自动地改进。
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公开(公告)号：CN102662269A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210102540.1
申请日：2008-01-30
申请人： 光子动力学公司
发明人： 陈仙海
IPC分类号： G02F1/1334 , C09K19/52 , C09D4/02
CPC分类号： C09K19/544 , G02F1/1334 , Y10T428/10 , Y10T428/1059
摘要： 一种具有改善的灵敏度和使用寿命的调制器。一种电光调制器组件，包括由包含封装在聚合物矩阵中的液晶微滴的电光调制器材料制成的传感层。传感层材料包含界面剂，例如，消泡剂，消泡剂的量足够使传感层透光时的固有工作电压降低。消泡剂可包含约1％至10％重量比的电光调制器材料，并且，消泡剂可包含反应性组分，以与聚合物矩阵反应，例如，具有反应性端基的硅酮、反应性氟化聚合物或者非离子型嵌段共聚物中的至少一个，以与聚合物矩阵反应。该组件也可包含保护传感层的硬涂层。
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公开(公告)号：CN101441337B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200810171179.1
申请日：2004-03-31
申请人： 光子动力学公司
CPC分类号： G02F1/136259 , B65G49/061 , B65G49/063 , B65G2249/04 , G01N21/896 , G01N21/95 , G01N2021/8867 , G01N2021/9513 , H01L21/67721
摘要： 提供了一种传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台。模块化的分轴台被用于检测和/或修复适用于LCD/TFT应用领域的大型扁平玻璃介质。将低精度的气动工作台部分可拆卸地安装到中心定位的、高精度的花岗岩检测/修复部分。由真空接触器把持的玻璃介质在气垫上从上连接板气动工作台传送到中心检测/修复部分。真空吸嘴一体形成在多孔介质衬垫上，用于在检测或修复过程中精确控制柔性介质在中心部分之上的高度。实施例包括在检测/修复过程中使介质静止不动或移动的结构。在流水线操作模式中，第一介质可在第二介质受到检测或修复的同时被装载/卸载。
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公开(公告)号：CN101821111A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200880111559.4
申请日：2008-08-27
申请人： 光子动力学公司 , 由海军部长代表的美利坚合众国
IPC分类号： B42D15/00
CPC分类号： C23C14/28 , H05K3/046 , H05K3/225 , H05K2203/0528 , H05K2203/107
摘要： 激光印花转印被用于通过引导非常低能量的激光脉冲在靶衬底的后面照射覆盖该靶前表面的高粘性流变流体薄层的一个区域来产生薄膜特征。通过以该激光束为中心的光圈来成形和限定被照射的区域。该印花转印处理允许与激光辐射区域的形状和尺寸相同的均匀连续层从靶衬底释放并转印到接收衬底。释放层几乎不改变其最初尺寸和形状越过间隙被转印。所得到的转印到接收衬底上的图案在厚度和形态上高度均匀，具有清晰的边缘特征并且表现出高度附着性，与接收衬底的表面能、湿润或疏水性无关。
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公开(公告)号：CN100445808C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200410030734.0
申请日：2004-03-31
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/677 , B65G49/06
CPC分类号： G02F1/136259 , B65G49/061 , B65G49/063 , B65G2249/04 , G01N21/896 , G01N21/95 , G01N2021/8867 , G01N2021/9513 , H01L21/67721
摘要： 模块化的分轴台被用于检测和/或修复适用于LCD/TFT应用领域的大型扁平玻璃介质。将低精度的气动工作台部分可拆卸地安装到中心定位的、高精度的花岗岩检测/修复部分。由真空接触器把持的玻璃介质在气垫上从上连接板气动工作台传送到中心检测/修复部分。真空吸嘴一体形成在多孔介质衬垫上，用于在检测或修复过程中精确控制柔性介质在中心部分之上的高度。实施例包括在检测/修复过程中使介质静止不动或移动的结构。在流水线操作模式中，第一介质可在第二介质受到检测或修复的同时被装载/卸载。
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公开(公告)号：CN1852770A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200480026437.7
申请日：2004-10-13
申请人： 光子动力学公司
CPC分类号： G02F1/1334
摘要： 在受控的溶剂蒸发条件下，通过将水基乳状液或溶剂型传感材料(优选为溶剂型聚合物分散液晶(PDLC))旋转涂覆到基底上，来形成光电结构。在特定的工艺中，通过以下步骤获得均匀的PDLC覆层：1)在半密封的腔室中进行旋转涂覆；2)通过使用固定装置将方形的基底“转化”为圆形的基底；3)使所述基底和旋转涂覆器的顶部盖之间具有可控制的距离；4)提供可控制的溶剂蒸发率。
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公开(公告)号：CN1536349A
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN200310103440.1
申请日：2003-11-03
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G01N21/956 , G06T7/00
摘要： 本发明公开了一种并发低分辨率/高分辨率平行扫描系统和方法以作为对检查系统的扫描过程的改进，所述检查系统用于平的物体，如在平板显示器中使用的大平板，由此使低分辨率缺陷检测阶段有效地与其中缺陷被自动定义和解决的高分辨率缺陷复查和分类阶段重叠和并行。虽然本发明对于光学检查平物体表面的缺陷的更一般的问题来说是有效的解决方案，但是本发明对检测在为形成LCD平面板显示器的淀积有集成电路的大玻璃板上的图样缺陷特别有用。
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