反作用力补偿系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102349147A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201080011565.X

    申请日:2010-02-26

    摘要: 激光束沿着束轴传播以入射在安装于支撑件上的工作表面上。所述支撑件操作地连接到定位系统,所述定位系统使所述激光束及目标试样中的至少一者相对于彼此移动以将所述激光束定位于所述工作表面上的选定位置处。至少一个反作用力补偿电机位于与对应载物台电机共有的力平面中,且位于尽可能靠近于所述对应载物台电机处。减小或消除所述补偿电机与所述对应载物台电机之间的任何力矩臂,从而允许所述补偿电机以近乎为零的力矩臂直接耦合到并反作用于载物台力。可借助仅四个电机来控制六个自由度,因为每一补偿电机直接耦合到并对准于对应载物台电机。

    电阻体的修整方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107077933A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580053469.4

    申请日:2015-07-22

    IPC分类号: H01C17/242

    摘要: 为了提供一种能进行超高精度的电阻值调整且生产效率良好的电阻体的修整方法,使探针接触一对表电极(3)来测量电阻体(4)的电阻值,并对远离电阻体(4)的开始点(S1)照射激光,扫描该激光的照射位置,形成沿着与电阻体(4)的电流方向正交的方向延伸的第1修整槽(5),之后,将激光的照射位置从第1修整槽(5)的结束点(第1转弯点(T1))返回规定量来作为第2转弯点(T2),通过以该第2转弯点(T2)作为开始点来扫描切割第2修整槽(6),从而将电阻体(4)的电阻值高精度地调整为目标电阻值。