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公开(公告)号：CN1203376C
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN00812569.4
申请日：2000-09-08
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托尔布约恩·桑德斯特罗姆 , 安德斯·索伦
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70508 , G03F7/70291 , G03F7/704 , Y10S707/99937 , Y10S707/99942
摘要： 公开一种高性能图形发生器的高速数据路径，例如，用于产生图像的模拟SLM。该数据路径有完全独立的并行数据流的装置，对于任意高的吞吐量给出真正的可缩放性。在一个优选实施例中，把SLM上的各个区域分配给特定的光栅化处理器和分块处理器。各个区段之间有重叠，用于混合图形中的边缘和计算图形中各个特征之间的交互作用。当出现差错条件时，该数据路径有数据完整性检查和恢复模式，在没有建立新差错的情况下，可以消除大部分的差错。
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公开(公告)号：CN1189794C
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN99803477.0
申请日：1999-03-02
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/06 , H01L21/027 , G03F1/00
CPC分类号： G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要： 本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件(象素)的空间调制器(SLM)。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图形顺序产生的分图象缝合成所述图形的电子控制系统。根据本发明，驱动信号能够将调制元件设定到多于2的多个状态。
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公开(公告)号：CN1292103A
公开(公告)日：2001-04-18
申请号：CN99803477.0
申请日：1999-03-02
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/207 , G02B26/06 , G03F1/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要： 本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件(象素)的空间调制器(SLM)。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图形顺序产生的分图象缝合成所述图形的电子控制系统。根据本发明,驱动信号能够将调制元件设定到多于2的多个状态。
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公开(公告)号：CN1227737C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN00816201.8
申请日：2000-11-24
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布乔恩·桑德斯托姆
IPC分类号： H01L23/544
CPC分类号： G03F7/70541 , G03B27/44 , G03F7/70291 , G03F7/7045 , G03F7/70466 , G03F7/70575 , H01L22/34 , H01L23/544 , H01L23/57 , H01L2223/5444 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 一种供对标线处理的半导体器件上的图案作小的修改用的系统。作这些修改以建立一个同一图案的与一个大的恒定部分对比为较小的可变部分。在一个优选实施例中可变部分与恒定部分的曝光在同一个组合的分步机与代码写入机中以相同的波长完成。本发明提供一种自动、廉价与无危险的写入芯片的可变部分的方法。还显示一个供自动设计与生产单元芯片唯一图案用的系统。
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公开(公告)号：CN1550902A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410035361.6
申请日：1999-03-02
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/06 , H01L21/027 , G03F1/00
CPC分类号： G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要： 本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件/象素的空间调制器。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图形顺序产生的分图象缝合成所述图形的电子控制系统。根据本发明，驱动信号能够将调制元件设定到多于2的多个状态。
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公开(公告)号：CN1173234C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN99803476.2
申请日：1999-03-02
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/207 , G02B26/00 , G03F1/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要： 本发明涉及到一种用来在工件上产生诸如半导体芯片上的图形之类的具有极高分辨率的图形的装置。此装置包含用来发射EUV波长范围的电磁辐射源、具有多个象素的空间调制器(SLM)、接受待要写入的图形的数字表述、从中提取分图形序列、将所述分图形转换成调制器信号并将所述信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来彼此相关地移动所述工件和/或投影系统的精密机械系统。它还包含对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图象缝合在一起形成所述图形的电子控制系统。
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公开(公告)号：CN1379866A
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：CN00814427.3
申请日：2000-11-17
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布乔恩·桑德斯卓姆 , 雷夫·奥德赛柳斯 , 彼得·埃克博格 , 斯蒂芬·古尔斯特兰德 , 马蒂尔斯·伊斯拉尔森 , 英瓦尔·安德森
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/66 , H01L21/027
摘要： 本发明涉及一种用于在感光基片上进行微刻写入和检查的系统和方法,特别是用极高的精度印刷和检查图案,例如用于半导体器件图案、显示面板、集成光设备以及电子互联结构的光掩膜。更加具体来说,本发明涉及通过改变位置数据或者把该数据传送到偏转器而补偿基片的偏移,并且使用直接数字分析(DDS)单元来产生扫频驱动信号。
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公开(公告)号：CN1373862A
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：CN00812569.4
申请日：2000-09-08
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托尔布约恩·桑德斯特罗姆 , 安德斯·索伦
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70508 , G03F7/70291 , G03F7/704 , Y10S707/99937 , Y10S707/99942
摘要： 公开一种高性能图形发生器的高速数据路径,例如,用于产生图像的模拟SLM。该数据路径有完全独立的并行数据流的装置,对于任意高的吞吐量给出真正的可缩放性。在一个优选实施例中,把SLM上的各个区域分配给特定的光栅化处理器和分块处理器。各个区段之间有重叠,用于混合图形中的边缘和计算图形中各个特征之间的交互作用。当出现差错条件时,该数据路径有数据完整性检查和恢复模式,在没有建立新差错的情况下,可以消除大部分的差错。
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公开(公告)号：CN1292102A
公开(公告)日：2001-04-18
申请号：CN99803476.2
申请日：1999-03-02
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布约姆·桑德斯特罗姆
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/207 , G02B26/06 , G03F1/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70725 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B41J2/465 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G02B27/4205 , G03F7/2022 , G03F7/70041 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/704 , G03F7/70475 , G09G3/2007 , G09G3/346 , H04N1/195 , H04N5/7458 , H04N2201/0414
摘要： 本发明涉及到一种用来在工件上产生诸如半导体芯片上的图形之类的具有极高分辨率的图形的装置。此装置包含用来发射EUV波长范围的电磁辐射源、具有多个象素的空间调制器(SLM)、接受待要写入的图形的数字表述、从中提取分图形序列、将所述分图形转换成调制器信号并将所述信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来彼此相关地移动所述工件和/或投影系统的精密机械系统。它还包含对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图象缝合在一起形成所述图形的电子控制系统。
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公开(公告)号：CN1204614C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN00814427.3
申请日：2000-11-17
申请人： 微激光系统公司
发明人： 托布乔恩·桑德斯卓姆 , 雷夫·奥德赛柳斯 , 彼得·埃克博格 , 斯蒂芬·古尔斯特兰德 , 马蒂尔斯·伊斯拉尔森 , 英瓦尔·安德森
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/027 , G03F7/20
摘要： 本发明涉及一种用于在感光基片上进行微刻写入和检查的系统和方法，特别是用极高的精度印刷和检查图案，例如用于半导体器件图案、显示面板、集成光设备以及电子互联结构的光掩膜。更加具体来说，本发明涉及通过改变位置数据或者把该数据传送到偏转器而补偿基片的偏移，并且使用直接数字分析(DDS)单元来产生扫频驱动信号。
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