静电射频微电机械系统开关

    公开(公告)号:CN1314063C

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN03154570.X

    申请日:2003-08-19

    CPC classification number: H01P1/127 H01H57/00 H01H59/0009 H01H2057/006

    Abstract: 一种微型开关,包括:形成在基底上的电介质层,该电介质层具有移动区;导电层,形成在移动区的预定部分上;电介质薄膜,形成在导电层上;第一和第二电导体,在电介质薄膜的上方的预定距离形成;一个或两个下电极,形成在移动区上;以及一个或两个上电极,在下电极上方的预定距离形成,当在上电极和下电极之间产生静电力时,两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动,并且使第一和第二电导体电容联接,以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高,结构简单,并且可以以非常简单的加工过程制造。

    静电射频微电机械系统开关

    公开(公告)号:CN1485873A

    公开(公告)日:2004-03-31

    申请号:CN03154570.X

    申请日:2003-08-19

    CPC classification number: H01P1/127 H01H57/00 H01H59/0009 H01H2057/006

    Abstract: 一种微型开关,包括:形成在基底上的电介质层,该电介质层具有移动区;导电层,形成在移动区的预定部分上;电介质薄膜,形成在导电层上;第一和第二电导体,在电介质薄膜的上方的预定距离形成;一个或两个下电极,形成在移动区上;以及一个或两个上电极,在下电极上方的预定距离形成,当在上电极和下电极之间产生静电力时,两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动,并且使第一和第二电导体电容联接,以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高,结构简单,并且可以以非常简单的加工过程制造。

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