公开(公告)号：CN102753509A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201080038690.X

申请日：2010-08-27

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 越后雅敏 ,  林宏美

IPC: C07C39/17 ,  C07C37/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  C07B61/00

CPC classification number: C07C43/23 ,  C07C37/20 ,  C07C41/16 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/0382 ,  C07C39/17

Abstract: 本发明提供一种下述式(1)所示的环状化合物。(式(1)中，L、R1、R′和m如说明书中所定义的那样)。式(1)所示的环状化合物对安全溶剂的溶解性高、高灵敏度、且可赋予良好的抗蚀图案形状，因此是有用的辐射敏感组合物的成分。

公开(公告)号：CN102597034A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080038687.8

申请日：2010-08-27

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 越后雅敏 ,  林宏美

IPC: C08G8/32 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08G8/32 ,  C07C69/21 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/0382

Abstract: 本发明提供一种下述式(1)所示的环状化合物。(式(1)中，L、R1、R′和m如说明书中所定义的那样)。式(1)所示的环状化合物对安全溶剂的溶解性高、高灵敏度、且可赋予良好的抗蚀图案形状，因此是有用的辐射敏感组合物的成分。

公开(公告)号：CN102596874A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080040034.3

申请日：2010-08-30

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 林宏美 ,  越后雅敏 ,  小黑大

IPC: C07C39/17 ,  C07C37/20 ,  C07C47/546 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C37/20 ,  C07C39/17 ,  C07C47/546 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382

Abstract: 下述式(1)所示的环状化合物。(式中，L、R1、R′及m如说明书中所定义的)。式(1)所示的环状化合物由于相对于安全溶剂的溶解性高，灵敏度高，并且可赋予良好的抗蚀图案形状，所以作为辐射敏感组合物的成分是有用的。

公开(公告)号：CN102754033A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201180009314.2

申请日：2011-01-18

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 林宏美 ,  越后雅敏

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明公开的是：在安全溶剂中高度可溶的、具有优异的耐蚀刻性、并且基本上不引起任何升华产物的产生的用于形成抗蚀剂底层膜的底层膜材料；以及使用所述底层膜材料形成抗蚀图案的方法。具体公开的是：包括可具有两种或多种特定结构的环状化合物的底层膜材料；以及使用所述底层膜材料形成抗蚀图案的方法。

公开(公告)号：CN102498104A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080038719.4

申请日：2010-08-26

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 越后雅敏 ,  林宏美

IPC: C07D303/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  C07C39/15

CPC classification number: C07D303/26 ,  C07C39/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/0382

Abstract: 本发明提供一种式(1)所示的环状化合物。该化合物对安全溶剂的溶解性高、高灵敏度、且可赋予良好的抗蚀图案形状，因此是有用的辐射敏感组合物的成分。式(1)中，L：单键，C1-20的直链/支链亚烷基，C3-20的环亚烷基，C6-24的亚芳基，-O-，-OCO-，-OCOO-，-NR5CO-、-NR5COO- ，-S-，-SO-，-SO2-及它们的任意组合；R1：C1-20的烷基、C3-20的环烷基、C6-20的芳基、C1-20的烷氧基、-CN-、-NO2、-OH、杂环基、卤素、-COOH、缩水甘油基、C1-20的烷基甲硅烷基或H(其中，1个以上的R1为缩水甘油基，且其他的1个以上的R1为H)；m：1-4；R′：C2-20的烷基或(取代)苯基。

公开(公告)号：CN102971281A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201180025752.8

申请日：2011-05-20

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 冈田悠 ,  林宏美 ,  越后雅敏

IPC: C07C37/72 ,  C07C39/15

CPC classification number: C07C29/86 ,  C07C37/72 ,  C07C39/15

Abstract: 本发明提供以工业上有利的方式纯化具有特定结构的环状化合物的方法。所述环状化合物纯化方法的特征在于其包括使包含具有特定结构的环状化合物和有机溶剂的溶液与水或酸性水溶液接触的处理。

公开(公告)号：CN102648173A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201080055311.8

申请日：2010-09-27

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 林宏美 ,  越后雅敏 ,  小黑大

IPC: C07C39/17 ,  C07C37/20 ,  C08G8/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038

CPC classification number: G03F7/0382 ,  C07C37/20 ,  C08G8/04 ,  C07C39/17

Abstract: 公开的是：在安全溶剂中具有高溶解度、高灵敏度并能够提供具有良好形状抗蚀图案的环状化合物；生产该环状化合物的方法；包含该环状化合物的放射线敏感性组合物；和使用该放射线敏感性组合物形成抗蚀图案的方法。具体公开的是：具有特定结构的环状化合物；包含该化合物的放射线敏感性组合物；和使用该组合物形成抗蚀图案的方法。