公开(公告)号：CN107121794B

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201710097803.7

申请日：2017-02-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀口裕一郎 ,  西川智志 ,  秋山浩一 ,  林周作 ,  外间洋平 ,  榎健太郎 ,  田中俊行

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 本发明的目的在于提供光调制器元件、具备该光调制器元件的光调制模块以及光调制器元件的制造方法，所述光调制器元件使芯片面积比以往缩小。光调制器元件具备第1、第2光调制器、光输入部以及分支耦合器，第1、第2光调制器分别具备：一组马赫－曾德尔型波导路；第1光耦合器，使来自分支耦合器的光分别分支到一组马赫－曾德尔型波导路；以及第2光耦合器，合成分别通过一组马赫－曾德尔型波导路的光，在第1、第2光调制器中，第1光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向与第2光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。

公开(公告)号：CN111684344A

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201880088214.5

申请日：2018-10-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀口裕一郎 ,  西川智志 ,  秋山浩一 ,  福永圭吾 ,  外间洋平 ,  铃木洋介

IPC: G02F1/025

Abstract: 具备：半导体基板(2)；第1半导体层(3)，设置于半导体基板(2)上；台面波导(44)，设置于第1半导体层(3)的主面上；埋入层(5)，以使第1半导体层(3)的上表面的一部分露出的方式，覆盖第1半导体层(3)的上表面；以及台面构造(8)，设置于第1半导体层(3)的被埋入层(5)覆盖的部分和第1半导体层(3)露出的部分的边界，一方的侧面被埋入层(5)覆盖，另一方的侧面露出，通过降低在埋入层(5)中发生的应力，例如，能够抑制向埋入层(5)发生裂纹，提高可靠性。

公开(公告)号：CN105509885B

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201510659493.4

申请日：2015-10-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小岛启介 ,  秋浓俊昭 ,  堀口裕一郎

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

CPC classification number: H04B10/0795

Abstract: 一种用于测量光信号的线宽的系统，包括光学传感器，该光学传感器确定传播通过不同距离的光信号的线宽的一组测量值。各测量值对应于不同距离，并且包括白调频(FM)噪声和低频FM噪声。该系统还包括处理器，该处理器用于确定白FM噪声和LF FM噪声的值，从而减小测量值与用白FM噪声和LF FM噪声的值针对不同距离而计算出的光信号的线宽的值之差。

公开(公告)号：CN111684344B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN201880088214.5

申请日：2018-10-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀口裕一郎 ,  西川智志 ,  秋山浩一 ,  福永圭吾 ,  外间洋平 ,  铃木洋介

IPC: G02F1/025

Abstract: 具备：半导体基板(2)；第1半导体层(3)，设置于半导体基板(2)上；台面波导(44)，设置于第1半导体层(3)的主面上；埋入层(5)，以使第1半导体层(3)的上表面的一部分露出的方式，覆盖第1半导体层(3)的上表面；以及台面构造(8)，设置于第1半导体层(3)的被埋入层(5)覆盖的部分和第1半导体层(3)露出的部分的边界，一方的侧面被埋入层(5)覆盖，另一方的侧面露出，通过降低在埋入层(5)中发生的应力，例如，能够抑制向埋入层(5)发生裂纹，提高可靠性。

公开(公告)号：CN102569246A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110418784.6

申请日：2011-12-15

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀口裕一郎 ,  杉原浩平 ,  岛仓泰久 ,  宫原利治 ,  加治屋哲 ,  西川智志 ,  柳生荣治

IPC: H01L23/498 ,  H01L25/16

CPC classification number: G02B6/4274 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/49433 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/30111 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种元件载体以及受光模块。元件载体(100)具有配置输出高频信号的至少1个元件的安装面(MS)。第1电介体层(11)具有部分地形成安装面的第1侧面(S1)和与第1侧面相连且在与安装面交叉的交叉方向(DR)上延伸的第1主面(P1)。第1布线图案(21)设置在第1主面上，从第1侧面(S1)延伸。第2电介体层(12)具有部分地形成安装面的第2侧面(S2)和与第2侧面相连且在交叉方向上延伸的第2主面(P2)，设置在设置有第1布线图案的第1电介体层的第1主面的一部分上。第2布线图案(22)设置在第2电介体层的第2主面上，从第2侧面延伸。

公开(公告)号：CN110914745A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880040231.1

申请日：2018-08-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭吾 ,  堀口裕一郎 ,  前田和弘 ,  津波大介

IPC: G02F1/025

Abstract: 包括：在半导体基板上依次堆积活性层、包层及接触层的工序；对所述层进行蚀刻而形成台面结构的工序；形成绝缘膜而将台面结构覆盖的工序；将绝缘膜的膜厚减少至接触层的上表面露出为止，将残留的绝缘膜作为侧壁的工序；形成电介质树脂层而埋入台面结构及侧壁的工序；对电介质树脂层选择性地进行蚀刻而形成开口部，使接触层的上表面露出的工序；在开口部内形成电极的工序。

公开(公告)号：CN107121794A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710097803.7

申请日：2017-02-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀口裕一郎 ,  西川智志 ,  秋山浩一 ,  林周作 ,  外间洋平 ,  榎健太郎 ,  田中俊行

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 本发明的目的在于提供光调制器元件、具备该光调制器元件的光调制模块以及光调制器元件的制造方法，所述光调制器元件使芯片面积比以往缩小。光调制器元件具备第1、第2光调制器、光输入部以及分支耦合器，第1、第2光调制器分别具备：一组马赫－曾德尔型波导路；第1光耦合器，使来自分支耦合器的光分别分支到一组马赫－曾德尔型波导路；以及第2光耦合器，合成分别通过一组马赫－曾德尔型波导路的光，在第1、第2光调制器中，第1光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向与第2光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。

公开(公告)号：CN105509885A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510659493.4

申请日：2015-10-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小岛启介 ,  秋浓俊昭 ,  堀口裕一郎

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

CPC classification number: H04B10/0795 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28

Abstract: 一种用于测量光信号的线宽的系统，包括光学传感器，该光学传感器确定传播通过不同距离的光信号的线宽的一组测量值。各测量值对应于不同距离，并且包括白调频(FM)噪声和低频FM噪声。该系统还包括处理器，该处理器用于确定白FM噪声和LF FM噪声的值，从而减小测量值与用白FM噪声和LF FM噪声的值针对不同距离而计算出的光信号的线宽的值之差。