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公开(公告)号：CN106370172A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN106289213A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610693599.0
申请日：2016-08-18
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明提供一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统，所述系统包括：谐振陀螺、分立电极、环形电极、前置级模块、角度输出模块、振幅控制模块、频率控制模块和正交控制模块；本发明实现谐振陀螺驱动信号的实时锁频以及智能调幅、调相功能；统能够为谐振陀螺工作在全角度时，提供稳幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号，保证陀螺时刻都处于谐振状态，减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差，系统稳定性好。本发明通过对谐振陀螺信号的有效控制，从而实现对谐振陀螺的全角度控制。
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公开(公告)号：CN106003979A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610327601.2
申请日：2016-05-17
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种对材料进行层压叠合和加热的装置，包括一体化支架、千斤顶、固定板、软垫片、上压头、下压头、凹槽金属板、石英板、硅胶加热片，其中：一体化支架的上下部分与左右部分为一整体；千斤顶底部与一体化支架下部紧密接触并固定在一体化支架下部内侧面上；固定板套在千斤顶中间位置并固定在一体化支架的左右部分；下压头固定于千斤顶顶部；软垫片设置在下压头与千斤顶顶部之间；上压头固定于凹槽金属板上；硅胶加热片设置于凹槽金属板的凹槽内；凹槽金属板固定于一体化支架的上部内侧；石英板设置于凹槽金属板与一体化支架之间。本发明实现对多层材料的层压叠合和加热，具有稳定性高、精度高、抗外界冲击力强、误差小等优越特性。
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公开(公告)号：CN106370172B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN106323260A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610635065.2
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5684 , G01C19/5691
摘要： 本发明提出一种侧分立相邻面环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，其中：中心固定支撑柱一端与单晶硅基底连接，另一端与微型谐振子连接；侧面电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；相邻电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；单晶硅基底与玻璃基底键合。本发明结合MEMS体硅加工和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中，利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN105060241A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510423707.8
申请日：2015-07-17
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B81C99/00
摘要： 本发明提供了一种湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法，包括：杯形容器、导流槽、磁力转子、基板、基片、若干插槽、若干不同形状滤网、若干插槽盖，其中：导流槽顶端的半环形挂钩处紧挂杯形容器的杯壁口并固定，磁力转子紧贴杯形容器的底部，且磁力转子的转轴与杯形容器的中心轴相同；基板面上均匀紧贴一基片；基板插入若干插槽中的任意一个，若干不同形状滤网随机选择一个或多个插入其他插槽中；插槽没有插满的用插槽盖盖上；其中一个插槽两侧均匀布满小孔。本发明提供了一种使溶液及其流速更加均匀的可替换的滤网装置，实现了基片在插槽不同位置不同的腐蚀效果。
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公开(公告)号：CN106323262B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201610635063.3
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明提出了一种内分立外环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，其中：中心固定支撑柱一端与单晶硅基底连接，另一端与微型谐振子连接；外电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；内电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；单晶硅基底与玻璃基底键合；本发明结合MEMS体硅加工和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；可利用内电极和环形一体式外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106323260B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201610635065.2
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5684 , G01C19/5691
摘要： 本发明提出一种侧分立相邻面环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，其中：中心固定支撑柱一端与单晶硅基底连接，另一端与微型谐振子连接；侧面电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；相邻电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；单晶硅基底与玻璃基底键合。本发明结合MEMS体硅加工和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中，利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN105060241B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510423707.8
申请日：2015-07-17
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B81C99/00
摘要： 本发明提供了一种湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法，包括：杯形容器、导流槽、磁力转子、基板、基片、若干插槽、若干不同形状滤网、若干插槽盖，其中：导流槽顶端的半环形挂钩处紧挂杯形容器的杯壁口并固定，磁力转子紧贴杯形容器的底部，且磁力转子的转轴与杯形容器的中心轴相同；基板面上均匀紧贴一基片；基板插入若干插槽中的任意一个，若干不同形状滤网随机选择一个或多个插入其他插槽中；插槽没有插满的用插槽盖盖上；其中一个插槽两侧均匀布满小孔。本发明提供了一种使溶液及其流速更加均匀的可替换的滤网装置，实现了基片在插槽不同位置不同的腐蚀效果。
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公开(公告)号：CN106114098A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610523470.5
申请日：2016-07-05
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B60F5/02 , B64C33/02 , B62D57/032 , B64D27/24 , B60L11/00
摘要： 本发明提供了一种仿水黾压电驱动式超微扑翼两栖机器人，包括：两个翅膀、两个纵向骨架、两个横向面板、一个压电驱动器、两个包含被动铰链的翅膀固定件、一个压电驱动器固定件、四个高弹性腿部支撑件，其中：四个腿部支撑件与两个横向面板连接固定；两个翅膀分别通过一个翅膀固定件连接固定；压电驱动器沿中心轴线放置并通过压电驱动器固定件连接固定；两个横向面板分别和两个纵向骨架连接固定。本发明可以通过翅膀的拍打在空中飞行，也可以通过腿部支撑件的斥水特性在水面保持平衡，并通过翅膀的拍打在水面运动。本发明采用水黾式的仿生结构，其体积小，重量轻，稳定性好，可以在水面与空中可控地运动，具有两栖特性，能够适应不同的环境。
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