公开(公告)号：CN108568383A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810181802.5

申请日：2018-03-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B41J2/04 ,  B41J2/1714 ,  B41J2/2135 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/137 ,  H05B33/10 ,  H05K3/10 ,  B05C5/027 ,  B05C5/0291 ,  B05C11/1039 ,  B05C13/02

Abstract: 本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

公开(公告)号：CN108569041B

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201810185855.4

申请日：2018-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

IPC: B41J3/407 ,  B41J3/44 ,  B41J29/393

Abstract: 本发明提供一种液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质，在对工件排出功能液的液滴进行描绘的液滴排出装置中，适当修正工件台相对于液滴排出头的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)在主扫描方向移动的Y轴线性电动机(13)；控制部(150)，一边使工件台(20)沿扫描线移动一边检测载置在工件台(20)的工件W的位置，使用该检测结果生成表示Y轴线性电动机(13)的位置与工件台(20)的位置的修正量的相关关系的修正表。上述扫描线是以在主扫描方向上延伸且在副扫描方向上排列多个的方式设置的。

公开(公告)号：CN108568383B

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN201810181802.5

申请日：2018-03-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02

Abstract: 本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

公开(公告)号：CN100541711C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200710087680.5

申请日：2007-03-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 梶原拓伸 ,  坂井光广 ,  柿野彰

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G49/05 ,  B65G49/07 ,  G05B19/04 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种即使基板大型其安全性也高并可避免颗粒物飞散而生产率高且能以想要顺序使退避的多个基板再进出搬送线的基板缓冲装置(36)，包括：具有多级能进出搬送线(A)且上下放置搬送线(A)上搬送的基板(G)的载置台(5a～5f)的搁板部(5)和使搁板部(5)升降以使任意载置台(5a～5f)进出搬送线(A)的升降机构(6)，各载置台(5a～5f)具有进出搬送线(A)时沿搬送方向搬送基板(G)的输送机构(50a～50f)并作为搬送线(A)的一部分工作，将搬送线(A)搬送的基板(G)放置在进出搬送线(A)的载置台(5a)，搁板部(5)由升降机构(6)升降使载置台(5a)与基板(G)从搬送线(A)退避。

公开(公告)号：CN108569041A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810185855.4

申请日：2018-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

IPC: B41J3/407 ,  B41J3/44 ,  B41J29/393

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05C5/0216 ,  B05D1/26 ,  B41J11/0095 ,  B41J11/06 ,  B41J11/42 ,  G01B11/002 ,  H01J9/02 ,  H01L21/681 ,  H01L22/12 ,  H01L27/1292 ,  H01L51/0004 ,  H01L51/0005 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5088 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/56 ,  B41J3/4073 ,  B41J3/445 ,  B41J29/393

Abstract: 本发明提供一种液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质，在对工件排出功能液的液滴进行描绘的液滴排出装置中，适当修正工件台相对于液滴排出头的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)在主扫描方向移动的Y轴线性电动机(13)；控制部(150)，一边使工件台(20)沿扫描线移动一边检测载置在工件台(20)的工件W的位置，使用该检测结果生成表示Y轴线性电动机(13)的位置与工件台(20)的位置的修正量的相关关系的修正表。上述扫描线是以在主扫描方向上延伸且在副扫描方向上排列多个的方式设置的。

公开(公告)号：CN101038858A

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200710087680.5

申请日：2007-03-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 梶原拓伸 ,  坂井光广 ,  柿野彰

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G49/05 ,  B65G49/07 ,  G05B19/04 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种即使基板大型其安全性也高并可避免颗粒物飞散而生产率高且能以想要顺序使退避的多个基板再进出搬送线的基板缓冲装置(36)，包括：具有多级能进出搬送线(A)且上下放置搬送线(A)上搬送的基板(G)的载置台(5a～5f)的搁板部(5)和使搁板部(5)升降以使任意载置台(5a～5f)进出搬送线(A)的升降机构(6)，各载置台(5a～5f)具有进出搬送线(A)时沿搬送方向搬送基板(G)的输送机构(50a～50f)并作为搬送线(A)的一部分工作，将搬送线(A)搬送的基板(G)放置在进出搬送线(A)的载置台(5a)，搁板部(5)由升降机构(6)升降使载置台(5a)与基板(G)从搬送线(A)退避。