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公开(公告)号：CN115148630A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210303380.0
申请日：2022-03-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及信息获取系统和信息获取方法。防止位于在基板处理装置处理的基板附近的构件被配置在不适当的位置而产生处理不良的情况。构成一种信息获取系统，其用于获取与对保持于基板保持部的基板进行处理的基板处理装置相关的信息，其中，该信息获取系统构成为包括：基座体，由所述基板保持部保持该基座体来代替保持所述基板；以及多个位置传感器，其为了检测位于所述基座体的外侧的共用的检测对象物的位置，以检测方向互相成为不同方向的方式设于该基座体。
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公开(公告)号：CN110291624A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201880011695.X
申请日：2018-02-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , H02P29/024
Abstract: 提供一种在通过利用马达的旋转驱动力使支承着被搬送体的支承部移动来搬送该被搬送体时能够可靠地检测搬送状态的异常的技术。搬送装置(F3)利用支承部(21)来支承并搬送被搬送体(W)，搬送装置(F3)构成为具备：驱动机构(3)，其包括马达(35)和直动体(30)，所述支承部(21)设置于该直动体(30)，并且该直动体(30)通过该马达(31)的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部(6)，其在所述支承部(21)移动的期间获取关于所述马达(31)的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。
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公开(公告)号：CN119173982A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202380038760.9
申请日：2023-05-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , G01B11/02 , H01L21/677
Abstract: 目的在于提供一种能够获取基板处理装置中的功能构件与基板之间的距离信息的技术。一种信息收集系统，获取与具有保持基板的基板保持部以及位于基板的背面侧的环状构件(26)的基板处理装置有关的信息，信息收集系统具有：圆板状的主体部(7)，其具有能够由基板保持部保持的底面；照射部(71、74)，其相对于主体部(7)固定，照射部(71、74)对环状构件(26)照射测定波；检测部(72)，其相对于主体部固定，检测部(72)检测对来自照射部的测定波的响应；以及运算部(73)，其基于在检测部(72)中检测出的响应，来获取主体部(7)与环状构件(26)之间的间隔的信息。
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公开(公告)号：CN111199901B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN201911143969.3
申请日：2019-11-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检测搬送单元的异常的征兆的搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质。搬送单元搬送被搬送体，且具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持被搬送体并进行搬送；以马达，其驱动搬送部，该监视方法包括以下工序：计算工序，在将作为马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的关系模型和关于作为监视对象的搬送单元得到的多种的状态值，来计算作为该监视对象的所述搬送单元的健康度；以及输出工序，根据通过计算工序计算出的健康度，来输出与作为监视对象的搬送单元的状态有关的信息。
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公开(公告)号：CN109148330A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810680660.7
申请日：2018-06-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质。当在热板上载置晶圆来进行热处理时，对热处理装置运转时发生的异常采取恰当的应对。从紧挨着将晶圆载置到热板(3)上之前起以规定的采样间隔采集热板(3)的温度的检测值、对热板(3)进行加热的加热器的供给电力的指令值、在热板(3)的表面开口的吸引口的吸引压的检测值，获取直到例如热板(3)的温度稳定的时点为止的各检测值的时间序列数据。将这些时间序列数据输入到神经网络(5)的输入层，针对装置异常或者晶圆翘曲的异常求出每个异常模式发生的概率。基于这些概率，从预先决定的多个应对处理中决定应该采取的应对处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102456601A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201110328464.1
申请日：2011-10-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67265 , H01L21/67742
Abstract: 本申请提供能够可靠且容易地检测出保持部件的形状是否存在异常的保持部件的形状判定装置和方法。在使作为保持部件的叉(3A)前进时，按照使该叉(3A)通过其前方的方式，在叉(3A)的行进方向的侧面设置行传感器(4)。在使叉(3A)相对于行传感器(4)进退时，取得使该叉(3A)的上下方向的位置与叉(3A)的进退方向的位置对应的数据。根据该取得的数据，计算上下方向的位置对上述进退方向的位置取二次微分的值，根据该微分值来判定保持部件的形状有无异常。
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公开(公告)号：CN113614664B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202080021847.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
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公开(公告)号：CN109148330B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201810680660.7
申请日：2018-06-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质。当在热板上载置晶圆来进行热处理时，对热处理装置运转时发生的异常采取恰当的应对。从紧挨着将晶圆载置到热板(3)上之前起以规定的采样间隔采集热板(3)的温度的检测值、对热板(3)进行加热的加热器的供给电力的指令值、在热板(3)的表面开口的吸引口的吸引压的检测值，获取直到例如热板(3)的温度稳定的时点为止的各检测值的时间序列数据。将这些时间序列数据输入到神经网络(5)的输入层，针对装置异常或者晶圆翘曲的异常求出每个异常模式发生的概率。基于这些概率，从预先决定的多个应对处理中决定应该采取的应对处理。
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公开(公告)号：CN110291624B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201880011695.X
申请日：2018-02-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , H02P29/024
Abstract: 提供一种在通过利用马达的旋转驱动力使支承着被搬送体的支承部移动来搬送该被搬送体时能够可靠地检测搬送状态的异常的技术。搬送装置(F3)利用支承部(21)来支承并搬送被搬送体(W)，搬送装置(F3)构成为具备：驱动机构(3)，其包括马达(35)和直动体(30)，所述支承部(21)设置于该直动体(30)，并且该直动体(30)通过该马达(31)的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部(6)，其在所述支承部(21)移动的期间获取关于所述马达(31)的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。
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公开(公告)号：CN107230656B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201710183530.8
申请日：2017-03-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法。在吸引并输送基板的基板输送装置中，高精度地检测基板的输送的异常。基板输送装置构成为具备：基板保持部，其具备用于吸引并保持基板的吸引孔；移动机构，其用于使所述基板保持部移动；压力检测部，其对与所述吸引孔连通的吸引通路的压力进行检测；以及控制部，其基于所述压力检测部的压力检测值的微分值来检测输送的异常。通过像这样获取微分值，能够高精度地掌握吸引通路的压力的变化，因此能够高精度地检测基板的输送的异常。
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