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公开(公告)号：CN101807536A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010002839.0
申请日：2010-01-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/6715 , H01L21/67017 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , Y10T408/29 , Y10T408/559 , Y10T408/5612
Abstract: 本发明提供基板输送装置及基板处理系统。在输送基板时，能抑制在基板上附着微粒，能提高由基板处理系统制造出的产品的成品率。基板输送装置具有：在内部收容基板且在侧面形成有基板的输入输出口(98)的基板收容容器(91)；朝向基板收容容器内(91)内的基板(W)的背面喷射规定气体的气体喷射部(92)；调整从气体喷射部(92)供给的上述规定气体的供给量而将上述基板收容容器(91)内的基板(W)控制在规定的高度的控制部(93)。
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公开(公告)号：CN101807536B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201010002839.0
申请日：2010-01-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/6715 , H01L21/67017 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , Y10T408/29 , Y10T408/559 , Y10T408/5612
Abstract: 本发明提供基板输送装置及基板处理系统。在输送基板时，能抑制在基板上附着微粒，能提高由基板处理系统制造出的产品的成品率。基板输送装置具有：在内部收容基板且在侧面形成有基板的输入输出口(98)的基板收容容器(91)；朝向基板收容容器内(91)内的基板(W)的背面喷射规定气体的气体喷射部(92)；调整从气体喷射部(92)供给的上述规定气体的供给量而将上述基板收容容器(91)内的基板(W)控制在规定的高度的控制部(93)。
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公开(公告)号：CN115132628A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210263570.4
申请日：2022-03-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687 , G01D21/02
Abstract: 本发明提供基片输送装置、状态判断方法和计算机存储介质，能够不依赖于干扰物的周围的气氛的湿度、温度，而正确地进行关于构成基片处理装置的一部分的功能部与干扰物之间的距离的状态之判断。处理基片的基片处理装置包括：构成上述基片处理装置的一部分的功能部；设置于上述功能部的表面的、使气体通过的喷嘴；与上述功能部的喷嘴连接并使上述气体流通的喷嘴用流路；流量传感器，其测量在上述喷嘴用流路中流动的气体的流量；和控制部，其基于上述流量传感器的测量结果，进行关于干扰物与上述功能部之间的距离的状态之判断。
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公开(公告)号：CN113614664B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202080021847.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
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公开(公告)号：CN117856702A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311242255.4
申请日：2023-09-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H02P29/60
Abstract: 本发明提供能够在基片处理装置中将被输送体高精度地向输送目标位置输送的电动机控制方法、输送装置和计算机程序产品。电动机控制方法用于利用在电动机的驱动下移动的移动体来输送基片处理装置中的被输送体，所述电动机控制方法的特征在于，包括：数据获取步骤，在不同的时间获取关于所述电动机的驱动的驱动数据，该驱动数据会因该电动机的发热而改变；和输送步骤，基于所述各驱动数据来控制向所述电动机供给的电流，以补偿由该电动机的发热引起的所述被输送体相对于输送目标位置的偏移，并输送所述被输送体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113614664A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202080021847.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
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公开(公告)号：CN119725185A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411298853.8
申请日：2024-09-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供能够高精度地将基片输送到所希望的载置位置的基片输送装置、基片输送方法和存储介质。基片输送装置包括：第一基片保持部，其具有用于吸引并保持基片的第一吸引孔；吸引力变更部，其用于针对上述第一吸引孔的吸引力，切换为对上述基片作用第一吸引力的第一状态和对上述基片作用比第一吸引力小的第二吸引力的第二状态；检测部，其用于检测吸引力的状态；和移动机构，其使以上述第一状态保持上述基片的上述第一基片保持部在从第一高度向载置部的上方的第二高度下降的中途减速，接着在检测到变更为上述第二状态之后使上述第一基片保持部从上述第二高度下降至比上述载置部的上端靠下方的第三高度，由此使该第一基片保持部移动以将上述基片从上述第一基片保持部移动到该载置部。
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公开(公告)号：CN114361085A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111158264.6
申请日：2021-09-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基片处理装置、状态判断方法和计算机存储介质，不取决于干扰物的周围的气氛的湿度、温度地准确地进行关于构成基片处理装置的一部分的功能部与干扰物之间的距离的状态的判断。本发明的用于对基片进行处理的基片处理装置包括：构成所述基片处理装置的一部分的功能部；设置于所述功能部的表面的、用于使气体通过的喷嘴；与所述功能部的喷嘴连接的、用于使所述气体流通的喷嘴用流路；测量在所述喷嘴用流路中流动的气体的流量的流量传感器；和基于所述流量传感器的测量结果，进行关于干扰物与所述功能部之间的距离的状态的判断的控制部。
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公开(公告)号：CN103177992B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210487648.7
申请日：2012-11-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: G06F17/00 , B25J13/085 , H01L21/67288 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。
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公开(公告)号：CN103177992A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210487648.7
申请日：2012-11-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: G06F17/00 , B25J13/085 , H01L21/67288 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。
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