一种桥臂无错位对称型Lange桥

    公开(公告)号:CN102610893A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210000528.X

    申请日:2012-01-04

    IPC分类号: H01P5/16

    摘要: 本发明公开一种桥臂无错位对称型Lange桥,包括第一端口平衡馈入结构、第二端口平衡馈入结构、第一桥臂耦合结构、第二桥臂耦合结构、输入端馈入网络、平衡吸收负载网络、直通端、耦合端和桥臂连接网络;所述的第一端口平衡馈入结构、第二端口平衡馈入结构和桥臂连接网络均采用X型交叉桥接;桥臂连接网络的X型交叉桥接使桥臂耦合结构和桥臂耦合结构形成布局无错位连接;所述第一桥臂耦合结构与第二桥臂耦合结构、输入端馈入网络与平衡吸收负载网络、直通端与耦合端的空间布局完全镜像对称。本发明改善lange桥耦合端和直通端的阻抗不平衡、提高lange桥耦合端和直通端的隔离度、减小lange桥耦合端和直通端的相位不平衡、改善了端口驻波特性。

    分散式镜像高功率管芯
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102522378A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110385749.9

    申请日:2011-11-29

    IPC分类号: H01L23/367 H01L27/02 H03F1/02

    摘要: 本发明涉及一种分散式镜像高功率管芯,所述管芯包括基板、HEMT晶胞1a、1b、1c、1d、功率分配网络、功率合成网络及源条接地散热通孔,所述HEMT晶胞1a、1b、1c、1d、功率分配网络、功率合成网络及源条接地散热通孔均设置在基板上,且所述的HEMT晶胞1a、1b、1c、1d的源极通过源条接地散热通孔接地,所述HEMT晶胞1a、1b、1c、1d在基板上均匀分布,且采用源条接地通孔将HEMT晶胞进一步分散隔离。本发明通过源条接地散热通孔实现HEMT晶胞源极良好接地,实现良好的电性能;在散热性能上一方面通过把源条接地散热通孔置于管芯中间,在水平方向上把管芯进行均匀分隔;同时利用功率分配/合成网络的尺寸在纵向把管芯进行均匀分隔,从而实现把所有的发热源均匀分布,避免了局部热斑,大大改善了管芯的散热均匀性,确保器件高功率下的稳定性。

    钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的湿法刻蚀方法

    公开(公告)号:CN101694012B

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN200910232938.5

    申请日:2009-10-19

    IPC分类号: C30B33/10 C30B29/30 C30B29/32

    摘要: 一种钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的加工方法,其特征是①在BST+BZN复合薄膜样品表面制备光刻胶掩膜图形;②配制刻蚀溶液:A为硝酸(HNO3)、氢氟酸(HF)、柠檬酸溶液(CA)的水溶液,B为盐酸(HCl)、氢氟酸(HF)的水溶液;③BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A、B中按一定顺序刻蚀,刻蚀时间由BST与BZN分别的厚度决定;④用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,重新制备光刻胶掩膜;⑤BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A中进行小功率超声处理;⑥用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,清洗样品,用氮气(N2)吹干。本发明刻蚀过的地方表面无残留物,刻蚀完全,图形转化精度高。

    钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的湿法刻蚀方法

    公开(公告)号:CN101694012A

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200910232938.5

    申请日:2009-10-19

    IPC分类号: C30B33/10 C30B29/30 C30B29/32

    摘要: 一种钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的加工方法,其特征是①在BST+BZN复合薄膜样品表面制备光刻胶掩膜图形;②配制刻蚀溶液:A为硝酸(HNO3)、氢氟酸(HF)、柠檬酸溶液(CA)的水溶液,B为盐酸(HCl)、氢氟酸(HF)的水溶液;③BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A、B中按一定顺序刻蚀,刻蚀时间由BST与BZN分别的厚度决定;④用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,重新制备光刻胶掩膜;⑤BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A中进行小功率超声处理;⑥用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,清洗样品,用氮气(N2)吹干。本发明刻蚀过的地方表面无残留物,刻蚀完全,图形转化精度高。