功率器件及其封装方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109037175A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810780535.3

    申请日:2018-07-17

    发明人: 郑琼如

    摘要: 本发明提供一种功率器件,其包括基板及设置在所述基板上的芯片,所述芯片包括衬底和形成在所述衬底的导热组件,所述导热组件包括多个间隔形成在所述衬底下表面的沟槽、形成在所述沟槽内的第一金属层、形成在所述衬底上与所述基板相连的第二金属层,所述沟槽的深度小于所述衬底的厚度,所述第一金属层和所述第二金属层均与所述衬底形成欧姆接触。本发明还提供功率器件的封装方法,增强芯片的散热效率和驱动性能,缩小芯片封装后的尺寸,降低了制造成本。

    一种功率器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN108962848A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810782322.4

    申请日:2018-07-17

    发明人: 徐立根

    摘要: 本发明提供了一种功率器件及其制作方法,包括:在硅片上表面形成第一沟槽,在所述硅片下表面形成第二沟槽;在所述第一沟槽内形成源极和栅极结构;在所述第二沟槽内形成背面电极;在所述硅片上表面所述第一沟槽两侧形成第三沟槽和第四沟槽,在所述硅片下表面所述第二沟槽两侧形成第五沟槽和第六沟槽;在所述第三沟槽、所述第四沟槽、所述第五沟槽和所述第六沟槽的侧壁和底面形成介质层;在所述第三沟槽、所述第四沟槽、所述第五沟槽和所述第六沟槽内形成第一金属层;在所述正面电极的上表面和所述背面电极的下表面分别形成第一防水层和第二防水层;将所述硅片上表面连接第一散热结构,将所述硅片下表面连接第二散热结构,增加功率器件的热耗散。

    一种柔性膜片散热器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108766948A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810943207.0

    申请日:2018-08-17

    发明人: 王政玉 王华涛

    IPC分类号: H01L23/367

    CPC分类号: H01L23/3672 H01L23/367

    摘要: 一种柔性膜片散热器,涉及传热散热领域,由导热膜片组、骨架、隔离栅组成,导热膜片组置于骨架内,隔离栅固定在骨架上。导热膜片组是由两片及以上小面积的柔性导热膜片与两片及以上大面积的柔性导热膜片交错排列叠置;骨架上设有夹板和螺栓,夹板设在大导热膜片组两高度侧面,所述隔离栅是安装在向外凸出的各大面积膜片之间的隔离体及固定隔离体的板条。该柔性膜片散热器,不仅可在任意方向安装,保证柔性导热膜不弯折、不堆积,而且可实现大热容量、快传热速度、高散热效率,制造工艺简单,生产成本低的效果。广泛应用于电力电子、微电子、光电子的散热系统。