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公开(公告)号：CN109787080A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910189235.2
申请日：2019-03-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明公开了一种可控多脉冲被动锁模的皮秒激光器，包括：泵浦源，用于提供泵浦光；耦合装置，其输入端与泵浦源的输出端连接；激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上，其包括激光分束装置、被动锁模器和激光反射器；其中，所述激光分束装置位于激光运行光路上；所述被动锁模器位于所述激光分束装置的一延伸光路上；所述激光反射器位于所述激光分束装置的另一光路上。当激光分束器不发生工作时，不提供附加的强光信号，则激光谐振腔内只有一个强光信号，实现稳定的调Q锁模激光输出；当激光分束器工作时，激光反射器返回光向激光谐振腔中提供了更多的强信号光，则可以产生多脉冲，则产生可控调Q锁模的激光脉冲输出。
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公开(公告)号：CN109787080B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201910189235.2
申请日：2019-03-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明公开了一种可控多脉冲被动锁模的皮秒激光器，包括：泵浦源，用于提供泵浦光；耦合装置，其输入端与泵浦源的输出端连接；激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上，其包括激光分束装置、被动锁模器和激光反射器；其中，所述激光分束装置位于激光运行光路上；所述被动锁模器位于所述激光分束装置的一延伸光路上；所述激光反射器位于所述激光分束装置的另一光路上。当激光分束器不发生工作时，不提供附加的强光信号，则激光谐振腔内只有一个强光信号，实现稳定的调Q锁模激光输出；当激光分束器工作时，激光反射器返回光向激光谐振腔中提供了更多的强信号光，则可以产生多脉冲，则产生可控调Q锁模的激光脉冲输出。
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公开(公告)号：CN114985990B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN113708204B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202111132248.X
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供一种多腔复合脉冲激光器，包括：外谐振腔，包括：泵浦源，用于产生泵浦光；外腔增益光纤，用于吸收泵浦源产生的泵浦光并辐射外腔信号激光；外腔反射型布拉格光栅，用于将外腔信号激光在外腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光振荡；内谐振腔，包括：内腔增益光纤，用于吸收外腔信号激光，形成外腔脉冲激光；内腔增益光纤能够吸收外腔激光脉冲，并辐射内腔信号激光；内腔反射型布拉格光栅，用于将内腔信号激光在内腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光脉冲并输出。本公开提供一种多腔复合脉冲激光放大器。
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公开(公告)号：CN115770964A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202111059052.2
申请日：2021-09-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明提供一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，包括激光器、光束扩束准直系统、衍射元件以及光束聚焦系统；激光器用以发射激光，光束扩束准直系统设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件用以使激光产生多个衍射级次；光束聚焦系统用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点。本发明是通过引入特定衍射光学元件，并在聚焦光路上加上高频振荡的滤光片，控制在材料内部焦点的聚焦先后顺序，在材料纵向位置上激光一次扫描即可形成多个改质层，从而提高大大提高冷裂效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114985990A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN110635354A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910922497.5
申请日：2019-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01S5/40
Abstract: 一种光纤耦合半导体激光器模块，包括：若干个绿光单管半导体激光器、快轴准直镜、慢轴准直镜、小45度反射镜、大45度反射镜、夹具以及耦合聚焦镜；其中，在每一个所述绿光单管半导体激光器发出的激光光束的光路上依次设置有用于对光束进行准直的快轴准直镜和慢轴准直镜、用于使光束彼此成为平行等间距的小45度反射镜和大45度反射镜、用于使所有光束聚焦为耦合光束的耦合透镜，所述耦合光束进入光纤中；所述光纤耦合半导体激光器模块使用的单管为TO封装。本发明的基于TO封装的绿光单管的光纤耦合半导体激光器模块具有体积小、功率高、易调节等优点。
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公开(公告)号：CN110535029A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910870213.2
申请日：2019-09-12
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种基于多叠阵的光束整形结构，包括：多个水平间隔设置的多叠阵结构，每个多叠阵结构包含至少n个沿着竖直方向错位放置的半导体激光器叠阵，n≥2，每个半导体激光器叠阵包含若干个沿慢轴方向排列的激光巴条；自偏振合束棱镜，设置于每个多叠阵结构的输出光路上，用于将所述半导体激光器叠阵的输出光束进行偏振合束后得到一次输出光束，所述一次输出光束在慢轴方向的光斑宽度减小为所述半导体激光器叠阵的输出光束宽度的一半；以及整形镜片组，实现快轴方向的光束重排。该光束整形结构使得慢轴方向光束质量变为原来一半，快轴方向光束质量不变，与传统方法相比，具有设计简单，结构紧凑、调节方便、成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN106549294B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201710016969.1
申请日：2017-01-10
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种固体激光器的腔镜及应用其的谐振腔和固体激光器，腔镜包括一后腔镜和一输出镜，分别位于固体激光器谐振腔的左右两侧，后腔镜和输出镜朝向谐振腔内侧的表面中心分别镀有高反膜和部分反射膜，高反膜和部分反射膜的直径为1～3mm。本发明中高反膜和部分反射膜的直径为固体激光器最高功率输出时腔镜上光斑直径的1.2～2倍。因此本发明的固体激光器对激光器最高功率的损耗极小；激光器输出处于中功率段时，由于腔镜内侧面上的光斑直径大于镀膜直径，将限制光斑直径大于镀膜直径的多阶横模起振，将腔镜上的光斑大小限制为镀膜直径大小，同时高阶模数量减少会使得光束发散角变小，从而改善了中功率段的光束质量。
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公开(公告)号：CN104280878B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201410504742.8
申请日：2014-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有高抗损伤能力的激光器关闸系统，其包括偏转控制系统、全反镜、位于全反镜光路上的吸收体；其中，所述偏转控制系统利用旋转的方式控制全反镜移入和移出激光光路；所述吸收体为空心柱体结构，其一端为封闭端，另一端为激光入射端，所述封闭端内部底端具有一凸起的圆锥体，所述激光入射端固定有光束发散元件，使入射的激光预先发散；所述光束发散元件的表面、空心柱体的内部侧壁及圆锥体表面构成一冷却体，其内部注入冷却水，用于冷却光束发散元件、空心圆柱体内部侧壁及圆锥体表面。
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