公开(公告)号：CN115621360A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202211151992.9

申请日：2022-09-21

申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院

发明人： 俞深 ,  李伟民 ,  苑欣业 ,  唐玮 ,  李松 ,  王赛强 ,  赵晨晨 ,  祁同庆 ,  马明 ,  宁德 ,  吴唯 ,  杨春雷

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/032

摘要： 本发明提供了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法，其包括：提供衬底，在衬底上制备形成金属背电极层；在金属背电极层上制备形成铜铟镓硒吸收层；将铜铟镓硒吸收层置于含有碱金属元素的电解液中，通过电化学离子提取工艺使电解液中的碱金属元素扩散至铜铟镓硒吸收层；在铜铟镓硒吸收层上制备形成缓冲层；在缓冲层上制备形成窗口层；在窗口层上制备形成金属顶电极层，获得铜铟镓硒薄膜太阳能电池。本发明的技术方案，通过电化学离子提取工艺对CIGS吸收层进行碱金属后处理，使得电解液中的碱金属元素扩散到CIGS吸收层的表层及内部，增加了CIGS吸收层的载流子浓度，提高了器件的开路电压和填充因子，从而提高了铜铟镓硒薄膜太阳能电池的效率。

公开(公告)号：CN115498054A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202211156879.X

申请日：2022-09-22

申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院

发明人： 王赛强 ,  李伟民 ,  李松 ,  唐玮 ,  苑欣业 ,  俞深 ,  赵晨晨 ,  祁同庆 ,  李文杰 ,  杨春雷

IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/18 ,  H01L21/02 ,  C23C14/06

摘要： 本申请提供的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法，包括依次层叠设置的衬底、Mo背电极、CIGS吸收层、ZnxIn1‑xS缓冲层、透明导电层以及Ni‑Al栅电极，所述ZnxIn1‑xS缓冲层通过中频磁控溅射法沉积得到，本申请提供的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法，以中频磁控溅射法沉积ZnxIn1‑xS(0

公开(公告)号：CN115332147A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210964616.5

申请日：2022-08-12

申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院

发明人： 周鸿飞 ,  郑雪 ,  杨春雷 ,  冯叶 ,  赵晨晨 ,  严振 ,  徐泽林

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L31/18 ,  H01L21/67 ,  C30B33/02

摘要： 本发明提供一种高温退火炉设备，包括样品支撑台、炉体和旋转驱动机构，样品支撑台连接旋转驱动机构并位于炉体内。其中，炉体为上部开口的容置腔室，容置腔室内与开口的相对的容置腔室的底面设置有石墨加热盘，炉体的上方设置有与炉体配合将容置腔室封闭的炉盖；旋转驱动机构包括驱动电机和传送组件，传送组件设置在容置腔室内，驱动电机设置在炉盖背离容置腔的一侧，驱动电机的输出端贯穿炉盖并于容置腔内与传送组件连接，样品支撑台与传送组件连接并位于石墨加热盘上方，通过驱动电机驱动旋转驱动机构带动样品支撑台旋转，从而实现样品在升温过程中均匀加热。