成膜方法及成膜装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107385413B

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201710260622.1

    申请日:2017-04-20

    Inventor: 饭塚和孝

    Abstract: 本发明提供成膜方法及成膜装置。成膜装置具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具具有第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,且在第一凹陷部的底部具备排气口,所述第二模具与第一模具对向而配置;密封部件,配置于第一模具的第一平面部与第二模具之间,保持成膜容器内的气密;及排气装置,连接于排气口,工件从第一平面部分离,且工件的成膜对象部分在成膜容器关闭的状态下朝向第一凹陷部内的空间,方法具备:工序(a),通过成膜装置对工件的一部分进行成膜;工序(b),在工序(a)之后,将成膜容器打开;及工序(c),在工序(b)开始时,通过排气装置经由排气口对成膜容器内进行排气。

    燃料电池
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101946348A

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN200980105308.X

    申请日:2009-02-12

    Abstract: 本发明提供一种具有密封结构的燃料电池,该密封结构即使在密封垫存在如以往那样的加工误差(偏差)的情况下也具有高的气体密封性能,而且不会被截断通路而能够向膜电极接合体供给气体。在设置于膜电极接合体的周缘的密封垫(5)中,在歧管(6)的周围形成有第1密封用突条(51),在气体流路层(3)的端部形成有切口(31),密封垫(5)的端部具有闭塞该切口(31)、并且从气体流路层(3)表面突出而具有与第1密封用突条(51)相同或更低的高度的1条以上的第2密封用突条(52),隔板(4)以将第1密封用突条(51)和第2密封用突条(52)压扁了的姿势与气体流路层(3)抵接,由第2密封用突条(52)和隔板(4)形成了1个以上的线状密封结构。

    燃料电池
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101946348B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN200980105308.X

    申请日:2009-02-12

    Abstract: 本发明提供一种具有密封结构的燃料电池,该密封结构即使在密封垫存在如以往那样的加工误差(偏差)的情况下也具有高的气体密封性能,而且不会被截断通路而能够向膜电极接合体供给气体。在设置于膜电极接合体的周缘的密封垫(5)中,在歧管(6)的周围形成有第1密封用突条(51),在气体流路层(3)的端部形成有切口(31),密封垫(5)的端部具有闭塞该切口(31)、并且从气体流路层(3)表面突出而具有与第1密封用突条(51)相同或更低的高度的1条以上的第2密封用突条(52),隔板(4)以将第1密封用突条(51)和第2密封用突条(52)压扁了的姿势与气体流路层(3)抵接,由第2密封用突条(52)和隔板(4)形成了1个以上的线状密封结构。

    成膜装置及成膜方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107304468B

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201710260831.6

    申请日:2017-04-20

    Inventor: 饭塚和孝

    Abstract: 本发明提供成膜装置及成膜方法。对工件的一部分进行成膜的成膜装置,具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具配置于工件的上方,具备从工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,所述第二模具与第一模具对向而配置于工件的下方,在与第一平面部对应的部分具备第二平面部;第一密封部件,配置于第一平面部与工件之间,在使工件从第一平面部分离的状态下与第一平面部及工件接触;及第二密封部件,配置于第二平面部与工件之间,在使工件从第二平面部分离的状态下与第二平面部及工件接触。第二密封部件设置于工件的下表面。

    成膜方法及成膜装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107385413A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:CN201710260622.1

    申请日:2017-04-20

    Inventor: 饭塚和孝

    Abstract: 本发明提供成膜方法及成膜装置。成膜装置具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具具有第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,且在第一凹陷部的底部具备排气口,所述第二模具与第一模具对向而配置;密封部件,配置于第一模具的第一平面部与第二模具之间,保持成膜容器内的气密;及排气装置,连接于排气口,工件从第一平面部分离,且工件的成膜对象部分在成膜容器关闭的状态下朝向第一凹陷部内的空间,方法具备:工序(a),通过成膜装置对工件的一部分进行成膜;工序(b),在工序(a)之后,将成膜容器打开;及工序(c),在工序(b)开始时,通过排气装置经由排气口对成膜容器内进行排气。

    成膜装置及成膜方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107304468A

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201710260831.6

    申请日:2017-04-20

    Inventor: 饭塚和孝

    Abstract: 本发明提供成膜装置及成膜方法。对工件的一部分进行成膜的成膜装置,具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具配置于工件的上方,具备从工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,所述第二模具与第一模具对向而配置于工件的下方,在与第一平面部对应的部分具备第二平面部;第一密封部件,配置于第一平面部与工件之间,在使工件从第一平面部分离的状态下与第一平面部及工件接触;及第二密封部件,配置于第二平面部与工件之间,在使工件从第二平面部分离的状态下与第二平面部及工件接触。第二密封部件设置于工件的下表面。

Patent Agency Ranking