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公开(公告)号：CN112863981B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110041148.X
申请日：2021-01-13
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/305
摘要： 本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。
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公开(公告)号：CN111933503B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202010802515.9
申请日：2020-08-11
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。
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公开(公告)号：CN112863981A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110041148.X
申请日：2021-01-13
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/305
摘要： 本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。
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公开(公告)号：CN111933503A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010802515.9
申请日：2020-08-11
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。
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公开(公告)号：CN117826230A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311851909.3
申请日：2023-12-29
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G01T1/29
摘要： 本申请涉及一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备；所述方法包括：在对真空设备的离子源输出的离子束进行测量时，根据离子源的空间模型确定测量点序列及其位置参数，并计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，然后根据控制参数依次控制探测装置移动至各个测量点位置测量束流参数，再根据束流参数生成离子源的离子束束流分布图；该技术方案，采用移动式的探测装置对各个位置点进行测量束流参数，相对于法拉第筒阵列测量方式，可以提升测量数据一致性，能够获得准确的性能参数；而且可以根据需求设置测量点数量，可以在空间模型中任意位置选点来测量，适合不同应用场景下的测量需求。
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公开(公告)号：CN117749121A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311834429.6
申请日：2023-12-27
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统，所述方法包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电容进行微调；在微调过程中，根据射频网络匹配器实时采集的第二阻抗值控制所述第一电容和第二电容的调节方向，以使得第二阻抗值向目标阻抗值靠近；当第二阻抗值达到目标阻抗值时，控制射频网络匹配器与负载端保持匹配平衡状态；该技术方案，提升了对射频网络匹配的调节速度，提升了射频功率源启动成功率，适应各种异常场景匹配，且匹配度高，可以确保输出的射频功率源更加稳定，效率更高。
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公开(公告)号：CN221240536U
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202322946100.0
申请日：2023-10-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种射频网络匹配器及射频离子源系统，所述射频网络匹配器包括：连接在射频功率源与离子源负载之间的射频传输线，连接在射频传输线上的射频耦合器，串联在射频传输线上的第一电容，并联在射频传输线上的第二电容，以及主控板；其中，射频传输线的射频输入端连接射频功率源，射频传输线的射频输出端连接离子源负载，所述第一电容和第二电容为可调电容；射频耦合器连接所述主控板，主控板连接至第一电容和第二电容；射频耦合器从射频传输线检测出射频信号发送至主控板，控板输出控制信息调整所述第一电容和第二电容，使得射频网络匹配器达到阻抗匹配状态。该技术方案，提升了射频功率源的匹配效率，并增强了射频离子源的性能。
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公开(公告)号：CN111785599A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010659238.0
申请日：2020-07-09
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源装置，包括：多个霍尔离子源，至少一个中空阴极以及基座；所述霍尔离子源分布安装在所述基座上，所述中空阴极设于距离所述霍尔离子一设定位置处；多个所述霍尔离子源同时进行覆盖，所述中空阴极为至少一个霍尔离子源提供中和电子，且至少一个中空阴极为多个霍尔离子源提供中和电子。本申请的技术方案，通过多个霍尔离子源的设计方案，可以提高覆盖范围，且采用共用中空阴极设计，也降低了设备成本。
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公开(公告)号：CN111063598A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201911417964.5
申请日：2019-12-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。
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公开(公告)号：CN210866111U
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201922500049.4
申请日：2019-12-31
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。
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