公开(公告)号：CN106165064A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017358.8

申请日：2015-04-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  A·切若拉 ,  叶正茂 ,  吕晓明 ,  罗康 ,  川原信途 ,  宫岛义一

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C43/58 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3222 ,  B29C2043/3652 ,  B29C2043/5866 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。