公开(公告)号：CN115410912A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210578234.9

申请日：2022-05-25

申请人： 佳能株式会社

发明人： 史蒂文·C·沙克尔顿 ,  塞思·J·巴梅斯伯格 ,  吕晓明 ,  崔炳镇

IPC分类号： H01L21/3105 ,  H01L21/67

摘要： 本发明提供平坦化处理、平坦化系统和制造物品的方法。对基板进行平坦化的方法包括：将可成形材料分配到基板上；使由覆板卡盘保持的覆板与所述基板上的所述可成形材料接触，以形成包括所述覆板、所述可成形材料的膜和所述基板的多层结构；从所述覆板卡盘释放所述多层结构；在所述释放之后，在所述覆板卡盘与所述多层结构之间提供空间；将光源定位到，在所述覆板卡盘与所述多层结构之间所提供的空间中；以及通过使所述多层结构的所述膜暴露于从所述光源发射的光，来固化所述膜。

公开(公告)号：CN106165064A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017358.8

申请日：2015-04-07

申请人： 佳能株式会社

发明人： 崔炳镇 ,  A·切若拉 ,  叶正茂 ,  吕晓明 ,  罗康 ,  川原信途 ,  宫岛义一

IPC分类号： H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC分类号： B29C43/58 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3222 ,  B29C2043/3652 ,  B29C2043/5866 ,  G03F7/0002

摘要： 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。