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公开(公告)号：CN108073036B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201711118552.2
申请日：2017-11-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了模板复制。用于执行以下步骤的方法、系统和装置：识别模板的第一有效区的尺寸属性；至少部分地基于所述第一有效区的尺寸属性，确定基板的第二有效区的期望的倍率校正；确定所述模板、基板或这二者的面外变形；将背压力施加于所述模板、基板或这二者，以补偿所述模板、基板或这二者的面外变形；在补偿所述模板、基板或这二者的面外变形之后：i)使定位在所述基板上的压印抗蚀剂与所述模板接触，使得所述第一有效区中的图案特征被所述压印抗蚀剂填充，并且ii)将另外的背压力施加于所述模板、基板或这二者，其中，所述另外的背压力被选择使得所述第二有效区呈现所述期望的倍率校正。
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公开(公告)号：CN110320741A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910226016.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及用于形成自适应层的装置及其使用方法。一种装置可以包括逻辑元件，所述逻辑元件被配置为至少部分地基于与第一衬底卡盘和第二衬底卡盘相关联的平坦度分布的差异来生成与要在当前衬底上方形成的自适应层相对应的信息。在另一方面中，一种方法可以包括使用先前的衬底获得第一卡盘和第二卡盘的厚度分布的差异，以及在形成与先前形成的图案化层对准的图案化抗蚀剂层之前并且在当前衬底的先前形成的图案化层上方形成自适应层。在一个实施例中，自适应层的厚度分布是衬底卡盘的平坦度分布的差异的倒数的函数。自适应层可以帮助减少与衬底卡盘的不同平坦度分布相关联的重叠误差。
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公开(公告)号：CN106165064A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580017358.8
申请日：2015-04-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C43/58 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/3222 , B29C2043/3652 , B29C2043/5866 , G03F7/0002
Abstract: 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。
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公开(公告)号：CN110320741B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN201910226016.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及用于形成自适应层的装置及其使用方法。一种装置可以包括逻辑元件，所述逻辑元件被配置为至少部分地基于与第一衬底卡盘和第二衬底卡盘相关联的平坦度分布的差异来生成与要在当前衬底上方形成的自适应层相对应的信息。在另一方面中，一种方法可以包括使用先前的衬底获得第一卡盘和第二卡盘的厚度分布的差异，以及在形成与先前形成的图案化层对准的图案化抗蚀剂层之前并且在当前衬底的先前形成的图案化层上方形成自适应层。在一个实施例中，自适应层的厚度分布是衬底卡盘的平坦度分布的差异的倒数的函数。自适应层可以帮助减少与衬底卡盘的不同平坦度分布相关联的重叠误差。
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公开(公告)号：CN108073036A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711118552.2
申请日：2017-11-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B29C43/58 , B29C59/022 , B29C2043/5808
Abstract: 本发明公开了模板复制。用于执行以下步骤的方法、系统和装置：识别模板的第一有效区的尺寸属性；至少部分地基于所述第一有效区的尺寸属性，确定基板的第二有效区的期望的倍率校正；确定所述模板、基板或这二者的面外变形；将背压力施加于所述模板、基板或这二者，以补偿所述模板、基板或这二者的面外变形；在补偿所述模板、基板或这二者的面外变形之后：i)使定位在所述基板上的压印抗蚀剂与所述模板接触，使得所述第一有效区中的图案特征被所述压印抗蚀剂填充，并且ii)将另外的背压力施加于所述模板、基板或这二者，其中，所述另外的背压力被选择使得所述第二有效区呈现所述期望的倍率校正。
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