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公开(公告)号:CN102484142A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080037329.5
申请日:2010-08-23
Applicant: 加利福尼亚大学董事会
IPC: H01L31/00
CPC classification number: H01L21/0254 , B82Y20/00 , H01L21/02389 , H01L21/0242 , H01L21/02433 , H01L33/0075 , H01L33/06 , H01L33/12 , H01L33/16 , H01L33/32 , H01S5/2009 , H01S5/2201 , H01S5/3201 , H01S5/3202 , H01S5/34333 , H01S2301/173
Abstract: 本发明涉及一种用于基于III氮化物的光学装置的外延结构,其包括在下伏层上的具有各向异性应变的作用层,其中所述下伏层中的晶格常数及应变由于存在错配位错而在至少一个方向上部分或完全驰豫,以便通过所述下伏层调制所述作用层中的所述各向异性应变。
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公开(公告)号:CN102484047A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080037288.X
申请日:2010-08-23
Applicant: 加利福尼亚大学董事会
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L21/0254 , B82Y20/00 , H01L21/02389 , H01L21/0242 , H01L21/02433 , H01L33/0075 , H01L33/06 , H01L33/12 , H01L33/16 , H01L33/32 , H01S5/2009 , H01S5/2201 , H01S5/3201 , H01S5/3202 , H01S5/34333 , H01S2301/173
Abstract: 本发明涉及一种通过在空间上限制异质界面周围的错配位错制作的具有驰豫晶格常数的无位错高质量模板。此可用作高In成份装置的模板层。具体来说,本发明制备高质量InGaN模板(In成份约为5%到10%),且可在这些模板上生长In成份比原本将可能的情况高得多的InGaN量子阱QW(或多量子阱MQW)。
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